申请/专利权人：合肥京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司

申请日：2019-02-18

公开（公告）日：2020-12-01

公开（公告）号：CN109692843B

主分类号：B08B3/14(20060101)

分类号：B08B3/14(20060101);B01D35/02(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-未缴年费专利权终止

法律状态：2024.03.01#未缴年费专利权终止;2019.05.28#实质审查的生效;2019.04.30#公开

摘要：本发明提供一种基板清洗装置和基板生产设备。该基板清洗装置包括清洗腔和连接清洗腔的过滤系统，过滤系统用于对清洗腔内的清洗液进行过滤，并将过滤后的清洗液提供给清洗腔，过滤系统包括预处理单元和过滤单元，预处理单元连接清洗腔和过滤单元，过滤单元连接清洗腔；预处理单元用于对清洗腔内输出的清洗液中的固体进行粉碎，并将粉碎后的固体与液体进行分离；过滤单元用于对预处理单元输出的清洗液进行过滤，并将过滤后的清洗液输入至清洗腔内。该基板清洗装置能够有效避免大量的尺寸较大的固体异物直接流入过滤单元导致其堵塞，有效延长了过滤单元的使用寿命，还能使再次回流输入至清洗腔中的清洗液更加清洁，提高了基板清洗装置的清洗质量。

主权项：1.一种基板清洗装置，包括清洗腔和连接所述清洗腔的过滤系统，所述过滤系统用于对所述清洗腔内的清洗液进行过滤，并将过滤后的清洗液提供给所述清洗腔，其特征在于，所述过滤系统包括预处理单元和过滤单元，所述预处理单元连接所述清洗腔和所述过滤单元，所述过滤单元连接所述清洗腔；所述预处理单元用于对所述清洗腔内输出的清洗液中的固体进行粉碎，并将粉碎后的固体与液体进行分离；所述过滤单元用于对所述预处理单元输出的清洗液进行过滤，并将过滤后的清洗液输入至所述清洗腔内；所述预处理单元包括粉碎部和分离部，所述粉碎部连接所述分离部；所述粉碎部用于将所述清洗腔内输出的清洗液中的固体粉碎为较其原体积小的固体颗粒；所述分离部用于将清洗液中的所述固体颗粒与液体分离；所述粉碎部包括壳体、设置于所述壳体内的轴、设置于所述轴上的叶轮以及设置于所述壳体外的驱动件；所述壳体上开设有第一开口和第二开口，清洗液能从所述第一开口进入到所述壳体内，并能从所述第二开口输出至所述分离部；所述驱动件用于驱动所述轴自转，以使所述轴带动所述叶轮转动，从而实现对清洗液中固体的粉碎；所述分离部包括腔体和过滤管道；所述过滤管道包括位于所述腔体外的主管道和位于所述腔体内的子管道，所述主管道与所述子管道连通；所述主管道连接所述第二开口，所述子管道的自由端端部封闭，且所述子管道的管壁上开设有多个第三开口；所述第三开口的口径小于所述固体颗粒的最小直径。

全文数据：一种基板清洗装置和基板生产设备技术领域本发明涉及显示技术领域，具体地，涉及一种基板清洗装置和基板生产设备。背景技术在面板行业生产过程中，涉及大量基板清洗设备，清洗设备中的过滤器是主要消耗性备件。在生产中常由于过滤器滤芯堵塞造成宕机，需要停机进行过滤器滤芯清洁或更换，并且滤芯长期堵塞时会严重缩短其使用寿命。这不仅降低了设备稼动率，并且增加设备维护的工作量及耗材的使用量。另外，过滤器滤芯堵塞以后主要依靠人工进行过滤器拆卸和清洁，整体作业时间长，体力劳动大。尤其一些清洗设备采用高浓度酸碱或有机药液，人工清洁时需要穿戴全身防护服进行清洁，安全风险较大。发明内容本发明针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种基板清洗装置和基板生产设备。该基板清洗装置能够有效避免大量的尺寸较大的固体异物直接流入过滤单元导致其堵塞，有效延长了过滤单元的使用寿命，还能使再次回流输入至清洗腔中的清洗液更加清洁，提高了基板清洗装置的清洗质量。本发明提供一种基板清洗装置，包括清洗腔和连接所述清洗腔的过滤系统，所述过滤系统用于对所述清洗腔内的清洗液进行过滤，并将过滤后的清洗液提供给所述清洗腔，所述过滤系统包括预处理单元和过滤单元，所述预处理单元连接所述清洗腔和所述过滤单元，所述过滤单元连接所述清洗腔；所述预处理单元用于对所述清洗腔内输出的清洗液中的固体进行粉碎，并将粉碎后的固体与液体进行分离；所述过滤单元用于对所述预处理单元输出的清洗液进行过滤，并将过滤后的清洗液输入至所述清洗腔内。优选地，所述预处理单元包括粉碎部和分离部，所述粉碎部连接所述分离部；所述粉碎部用于将所述清洗腔内输出的清洗液中的固体粉碎为较其原体积小的固体颗粒；所述分离部用于将清洗液中的所述固体颗粒与液体分离。优选地，所述粉碎部包括壳体、设置于所述壳体内的轴、设置于所述轴上的叶轮以及设置于所述壳体外的驱动件；所述壳体上开设有第一开口和第二开口，清洗液能从所述第一开口进入到所述壳体内，并能从所述第二开口输出至所述分离部；所述驱动件用于驱动所述轴自转，以使所述轴带动所述叶轮转动，从而实现对清洗液中固体的粉碎。优选地，所述分离部包括腔体和过滤管道；所述过滤管道包括位于所述腔体外的主管道和位于所述腔体内的子管道，所述主管道与所述子管道连通；所述主管道连接所述第二开口，所述子管道的自由端端部封闭，且所述子管道的管壁上开设有多个第三开口；所述第三开口的口径小于所述固体颗粒的最小直径。优选地，所述子管道的数量为多个。优选地，所述过滤单元包括过滤器，所述过滤器包括腔室和设置在所述腔室中的滤芯；所述滤芯用于过滤清洗液中的固体；所述腔室壁上开设有第一入口、第一出口、第二入口和第二出口，所述第一入口用于向所述腔室内输入清洗液；所述第一出口用于输出经所述滤芯过滤后的清洗液；所述第二入口用于输入自清洁液体，以对所述滤芯进行清洁；所述第二出口用于输出自清洁液体。优选地，所述第一入口和所述第二入口设置于所述腔室的第一侧，所述第一出口和所述第二出口对称分设于所述腔室的第二侧和第三侧，且所述第二侧和所述第三侧相对设置。优选地，所述过滤器为两套，两套所述过滤器并联连接；所述过滤单元还包括切换结构，所述切换结构用于切换两套所述过滤器中的其中一套开启，另一套关闭。优选地，所述过滤单元还包括监测控制模块，所述切换结构包括第一开关和第二开关，所述第一开关和所述第二开关分别连接其中一套所述过滤器的所述第一入口和所述第一出口；所述切换结构还包括第三开关和第四开关，所述第三开关和所述第四开关分别连接另一套所述过滤器的所述第一入口和所述第一出口；所述监测控制模块连接所述第一开关、所述第二开关、所述第三开关和所述第四开关，所述监测控制模块用于控制所述第一开关、所述第二开关、所述第三开关和所述第四开关的开启和关闭，以在监测到一套所述过滤器的清洗液输出流量未达到设定流量值时控制关闭该套所述过滤器并开启另一套所述过滤器。优选地，所述切换结构还包括第五开关和第六开关，所述第五开关和所述第六开关分别连接其中一套所述过滤器的所述第二入口和所述第二出口；所述切换结构还包括第七开关和第八开关，所述第七开关和所述第八开关分别连接另一套所述过滤器的所述第二入口和所述第二出口；所述监测控制模块连接所述第五开关、所述第六开关、所述第七开关和所述第八开关，所述监测控制模块还用于控制所述第五开关、所述第六开关、所述第七开关和所述第八开关的开启和关闭，以在监测到开启的所述过滤器的清洗液输出流量未达到设定流量值时控制该所述过滤器进行自清洁。本发明还提供一种基板生产设备，包括上述基板清洗装置。本发明的有益效果：本发明所提供的基板清洗装置，通过设置预处理单元，可将清洗液中的尺寸较大的固体异物粉碎为尺寸较小的固体颗粒，并能将尺寸较小的固体颗粒与液体分离开，从而有效避免大量的尺寸较大的固体异物直接流入过滤单元导致其堵塞，有效延长了过滤单元的使用寿命，通过设置过滤单元，能够对经预处理单元预处理后的清洗液进行进一步过滤，从而过滤掉清洗液中尺寸更小的固体异物，使再次回流输入至清洗腔中的清洗液更加清洁，提高了基板清洗装置的清洗质量。本发明所提供的基板生产设备，通过采用上述基板清洗装置，提高了该基板生产设备的稼动率，并且减少了设备维护的工作量和耗材的使用量，能够全面实现产线精细化和自动化管理。附图说明图1为本发明实施例中基板清洗装置的结构示意图；图2为本发明实施例中基板清洗装置的粉碎部的结构示意图；图3为本发明实施例中基板清洗装置的分离部的结构示意图；图4为本发明实施例中分离部的过滤管道的结构示意图；图5为本发明实施例中过滤单元中过滤器的结构示意图；图6为本发明实施例中过滤单元中两套过滤器的结构示意图。其中的附图标记说明：1.清洗腔；2.预处理单元；21.粉碎部；210.壳体；211.轴；212.叶轮；213.驱动件；214.第一开口；215.第二开口；22.分离部；220.腔体；221.主管道；222.子管道；223.第三开口；224.第四开口；3.过滤单元；30.过滤器；301.腔室；302.滤芯；303.第一入口；304.第一出口；305.第二入口；306.第二出口；31.第一开关；32.第二开关；33.第三开关；34.第四开关；4.供液坛。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明所提供的一种基板清洗装置和基板生产设备作进一步详细描述。本发明实施例提供一种基板清洗装置，如图1所示，包括清洗腔1和连接清洗腔1的过滤系统，过滤系统用于对清洗腔1内的清洗液进行过滤，并将过滤后的清洗液提供给清洗腔1，过滤系统包括预处理单元2和过滤单元3，预处理单元2连接清洗腔1和过滤单元3，过滤单元3连接清洗腔1；预处理单元2用于对清洗腔1内输出的清洗液中的固体进行粉碎，并将粉碎后的固体与液体进行分离；过滤单元3用于对预处理单元2输出的清洗液进行过滤，并将过滤后的清洗液输入至清洗腔1内。其中，预处理单元2和过滤单元3之间还连接有供液坛4，供液坛4用于向过滤系统中补充提供干净的清洗液，以便过滤系统将经预处理和过滤后的清洗液和新补充提供的清洗液输入至清洗腔1内，以供清洗腔1内进行基板清洗。本实施例中，基板清洗装置如彩膜基板清洗装置，通常是将彩膜基板上的PR胶片状剥离，通过清洗腔1内的清洗液将片状PR胶清洗掉并将带有PR胶的清洗液输出进行过滤，过滤掉清洗液中的PR胶。清洗液通常采用20％浓度的KOH药液，清洗液通常无法将PR胶完全溶解为小尺寸固体颗粒，因此，较大尺寸的PR胶通常会导致该装置原有的过滤单元堵塞，以致清洗液无法正常回流至清洗腔1内进行基板清洗。通过设置预处理单元2，可将清洗液中的尺寸较大的固体异物粉碎为尺寸较小的固体颗粒，并能将尺寸较小的固体颗粒与液体分离开，从而有效避免大量的尺寸较大的固体异物直接流入过滤单元3导致其堵塞，有效延长了过滤单元3的使用寿命，通过设置过滤单元3，能够对经预处理单元2预处理后的清洗液进行进一步过滤，从而过滤掉清洗液中尺寸更小的固体异物，使再次回流输入至清洗腔1中的清洗液更加清洁，提高了基板清洗装置的清洗质量。本实施例中，预处理单元2包括粉碎部21和分离部22，粉碎部21连接分离部22；粉碎部21用于将清洗腔1内输出的清洗液中的固体粉碎为较其原体积小的固体颗粒；分离部22用于将清洗液中的固体颗粒与液体分离。粉碎部21和分离部22的设置，能够将清洗液中尺寸较大的固体异物分离出去，从而避免尺寸较大的固体异物流入到后续的过滤单元3中，进而避免尺寸较大的固体异物将过滤单元3堵塞。其中，如图2所示，粉碎部21包括壳体210、设置于壳体210内的轴211、设置于轴211上的叶轮212以及设置于壳体210外的驱动件213；壳体210上开设有第一开口214和第二开口215，清洗液能从第一开口214进入到壳体210内，并能从第二开口215输出至分离部22；驱动件213用于驱动轴211自转，以使轴211带动叶轮212转动，从而实现对清洗液中固体的粉碎。叶轮212对清洗液中的固体进行切割粉碎。驱动件213可以采用电机。如图3所示，分离部22包括腔体220和过滤管道；过滤管道包括位于腔体220外的主管道221和位于腔体220内的子管道222，主管道221与子管道222连通；主管道221连接第二开口，子管道222的自由端端部封闭，且子管道222的管壁上开设有多个第三开口223；第三开口223的口径小于固体颗粒的最小直径。如此，子管道222能将90％的固体颗粒都过滤在其中，只允许清洗液从第三开口223流出至腔体220中，腔体220中的清洗液通过管道流至过滤单元3，从而降低了过滤单元3的过滤压力，有效延长了过滤单元3的使用寿命。其中，主管道221连接至粉碎部，腔体220上开设有第四开口224，第四开口224连接至供液坛，第四开口224能将腔体220内的清洗液输出至供液坛。另外，子管道222内的固体异物能够在腔体220内清洗液的浸泡作用下充分分解，分解不掉的固体异物可以直接在清理子管道222时被清理掉。如彩膜基板清洗时，从基板上剥离下来的PR胶在分离部22的子管道222内高浓度KOH药液的作用下可慢慢降解。本实施例中，如图4所示，子管道222的数量为多个。如此能够对清洗液进行更加充分的过滤。需要说明的是，子管道222的数量以及子管道222管壁上第三开口223的孔径规格和数量可以根据实际生产过程中的分离需求具体设置，这里不做具体限制。不同子管道222管壁上的第三开口223的孔径规格可以不同，数量也可以不同。另外需要说明的是，主管道221与过滤单元3连通。也可以在子管道222内设置过滤网，此种情况下，子管道222的自由端端部不封闭，且子管道222的管壁上也不设置第三开口223，子管道222通过其中的过滤网对尺寸较小的固体颗粒进行过滤。本实施例中，如图5所示，过滤单元3包括过滤器30，过滤器30包括腔室301和设置在腔室301中的滤芯302；滤芯302用于过滤清洗液中的固体；腔室301壁上开设有第一入口303、第一出口304、第二入口305和第二出口306，第一入口303用于向腔室301内输入清洗液；第一出口304用于输出经滤芯302过滤后的清洗液；第二入口305用于输入自清洁液体，以对滤芯302进行清洁；第二出口306用于输出自清洁液体。过滤器30具有过滤作用和自清洁功能，过滤器30的工作流程为：当过滤器30正常过滤时，第一入口303和第一出口304开启，此时清洗液从第一入口303进入腔室301中滤芯302进行过滤，然后从第一出口304流出，实现清洗液过滤功能；当过滤器30发生堵塞时，第一入口303和第一出口304关闭，第二入口305和第二出口306自动开启，自清洁液体从第二入口305流入腔室301中滤芯302进行自清洁，然后从第二出口306流出，实现过滤器30自清洁功能。其中，自清洁液体如水。该结构的过滤器30既能实现过滤功能，又能在堵塞时在线完成自清洁，从而能够较大程度地提高基板清洗装置稼动率，并减少人工清洗工作量，提高基板清洗效率。本实施例中，第一入口303和第二入口305设置于腔室301的第一侧，第一出口304和第二出口306对称分设于腔室301的第二侧和第三侧，且第二侧和第三侧相对设置。各入口和各出口如此分布，能够使过滤器30中清洗液的流向和自清洁液体的流向恰好相反，从而实现自清洁液体对滤芯302的反向冲洗，进而能使过滤器30的自清洁更加彻底和高效，清洗效果也更好。优选的，本实施例中，如图6所示，过滤器30为两套，两套过滤器30并联连接；过滤单元3还包括切换结构，切换结构用于切换两套过滤器30中的其中一套开启，另一套关闭。切换结构的设置，能使过滤单元3不会因为其中一套过滤器30堵塞而停止过滤作业，确保过滤单元3能够持续进行过滤工作。本实施例中，过滤单元3还包括监测控制模块，切换结构包括第一开关31和第二开关32，第一开关31和第二开关32分别连接其中一套过滤器30的第一入口303和第一出口304；切换结构还包括第三开关33和第四开关34，第三开关33和第四开关34分别连接另一套过滤器30的第一入口303和第一出口304；监测控制模块连接第一开关31、第二开关32、第三开关33和第四开关34，监测控制模块用于控制第一开关31、第二开关32、第三开关33和第四开关34的开启和关闭，以在监测到一套过滤器30的清洗液输出流量未达到设定流量值时控制关闭该套过滤器30并开启另一套过滤器30。其中，该基板清洗装置布置两套过滤器30，当其中一套过滤器30发生堵塞无法继续工作时，可进行过滤器30切换实现连续生产，提高设备稼动率。两套过滤器30在过滤时的切换原理为：启用其中一套过滤器30，第一开关31和第二开关32自动打开，第三开关33和第四开关34自动关闭。当生产中监测控制模块监测到该套过滤器30的清洗液输出流量未达到设定流量值时，表明该套过滤器30滤芯堵塞，此时自动打开第三开关33和第四开关34，关闭第一开关31和第二开关32，自动从一套过滤器30切换为另一套过滤器30进行过滤作业，继续维持生产。然后自动使发生堵塞的过滤器30开启自清洁模式。本实施例中，切换结构还包括第五开关和第六开关，第五开关和第六开关分别连接其中一套过滤器的第二入口和第二出口；切换结构还包括第七开关和第八开关，第七开关和第八开关分别连接另一套过滤器的第二入口和第二出口；监测控制模块连接第五开关、第六开关、第七开关和第八开关，监测控制模块还用于控制第五开关、第六开关、第七开关和第八开关的开启和关闭，以在监测到开启的过滤器的清洗液输出流量未达到设定流量值时控制该过滤器进行自清洁。两套过滤器在自清洁时的切换原理为：当其中一套过滤器的清洗液输出流量未达到设定流量值时，监测控制模块控制与该套过滤器的第二入口和第二出口连接的第五开关和第六开关自动打开，使该套发生堵塞的过滤器开启自清洁模式。当另一套过滤器的清洗液输出流量未达到设定流量值时，同理，监测控制模块控制与另一套过滤器的第二入口和第二出口连接的第七开关和第八开关自动打开，从而使该套发生堵塞的过滤器开启自清洁模式。在过滤器的自清洁过程中，通过设置自清洁液体的冲洗流量和冲洗时间，能够在过滤器清洁干净后自动控制其自清洁模式关闭，即第五开关和第六开关关闭，或者第七开关和第八开关关闭。当然也可以通过在自清洁过程中实时监测该过滤器的清洗液输出流量是否达到设定流量值，从而确定是否关闭该过滤器的自清洁模式。需要说明的是，两套过滤器的过滤作业和自清洁作业各自独立进行，互不影响，堵塞的过滤器自清洁完毕后自动处于备用状态，待另一套过滤器堵塞后再次启用。本实施例中的过滤器全程为自动化清洁和清洁确认，操作方便，自动化程度高。本实施例中基板清洗装置的工作流程具体为：1、基板清洗装置开始工作时，启用一套过滤器。2、清洗腔内输出的清洗液先进入粉碎部内，以对清洗液中的较大尺寸固体异物进行粉碎处理，粉碎部中输出的清洗液流入分离部内进行固液分离。3、清洗过程中，当监测到当前启用的过滤器的清洗液输出流量未达到设定流量值时，自动切换为另一套过滤器。4、当过滤器切换完成后，自动对堵塞的过滤器即其清洗液输出流量未达到设定流量值的过滤器进行自清洁，当清洁完成后该过滤器处于备用状态。5、后续当另一套过滤器发生堵塞时，按照上述步骤3和4进行过滤器在线切换和自清洁。6、当全部基板清洗作业结束后，进行整个基板清洗装置的清洁作业，包括对分离部中的子管道进行清洁。该基板清洗装置能实现全面自动化监控过滤器使用情况，清洗过程中不需要人员干预作业，装置可以自动实现过滤器切换和过滤器自清洁功能，从而有效提高了装置稼动率，并减少了人员清洗作业，进而能够实现产线精细化、自动化管理。另外需要说明的是，过滤单元中的过滤器也可以仅设置一套，只是该套过滤器在堵塞时，需要停止过滤作业，然后进行过滤器自清洁，在自清洁完毕后，再使该套过滤器开始过滤作业。该基板清洗装置，通过设置预处理单元，可将清洗液中的尺寸较大的固体异物粉碎为尺寸较小的固体颗粒，并能将尺寸较小的固体颗粒与液体分离开，从而有效避免大量的尺寸较大的固体异物直接流入过滤单元导致其堵塞，有效延长了过滤单元的使用寿命，通过设置过滤单元，能够对经预处理单元预处理后的清洗液进行进一步过滤，从而过滤掉清洗液中尺寸更小的固体异物，使再次回流输入至清洗腔中的清洗液更加清洁，提高了基板清洗装置的清洗质量。本发明实施例还提供一种基板生产设备，包括上述实施例中的基板清洗装置。通过采用上述实施例中的基板清洗装置，提高了该基板生产设备的稼动率，并且减少了设备维护的工作量和耗材的使用量，能够全面实现产线精细化和自动化管理。可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

权利要求：1.一种基板清洗装置，包括清洗腔和连接所述清洗腔的过滤系统，所述过滤系统用于对所述清洗腔内的清洗液进行过滤，并将过滤后的清洗液提供给所述清洗腔，其特征在于，所述过滤系统包括预处理单元和过滤单元，所述预处理单元连接所述清洗腔和所述过滤单元，所述过滤单元连接所述清洗腔；所述预处理单元用于对所述清洗腔内输出的清洗液中的固体进行粉碎，并将粉碎后的固体与液体进行分离；所述过滤单元用于对所述预处理单元输出的清洗液进行过滤，并将过滤后的清洗液输入至所述清洗腔内。2.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述预处理单元包括粉碎部和分离部，所述粉碎部连接所述分离部；所述粉碎部用于将所述清洗腔内输出的清洗液中的固体粉碎为较其原体积小的固体颗粒；所述分离部用于将清洗液中的所述固体颗粒与液体分离。3.根据权利要求2所述的基板清洗装置，其特征在于，所述粉碎部包括壳体、设置于所述壳体内的轴、设置于所述轴上的叶轮以及设置于所述壳体外的驱动件；所述壳体上开设有第一开口和第二开口，清洗液能从所述第一开口进入到所述壳体内，并能从所述第二开口输出至所述分离部；所述驱动件用于驱动所述轴自转，以使所述轴带动所述叶轮转动，从而实现对清洗液中固体的粉碎。4.根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于，所述分离部包括腔体和过滤管道；所述过滤管道包括位于所述腔体外的主管道和位于所述腔体内的子管道，所述主管道与所述子管道连通；所述主管道连接所述第二开口，所述子管道的自由端端部封闭，且所述子管道的管壁上开设有多个第三开口；所述第三开口的口径小于所述固体颗粒的最小直径。5.根据权利要求4所述的基板清洗装置，其特征在于，所述子管道的数量为多个。6.根据权利要求1-5任意一项所述的基板清洗装置，其特征在于，所述过滤单元包括过滤器，所述过滤器包括腔室和设置在所述腔室中的滤芯；所述滤芯用于过滤清洗液中的固体；所述腔室壁上开设有第一入口、第一出口、第二入口和第二出口，所述第一入口用于向所述腔室内输入清洗液；所述第一出口用于输出经所述滤芯过滤后的清洗液；所述第二入口用于输入自清洁液体，以对所述滤芯进行清洁；所述第二出口用于输出自清洁液体。7.根据权利要求6所述的基板清洗装置，其特征在于，所述第一入口和所述第二入口设置于所述腔室的第一侧，所述第一出口和所述第二出口对称分设于所述腔室的第二侧和第三侧，且所述第二侧和所述第三侧相对设置。8.根据权利要求7所述的基板清洗装置，其特征在于，所述过滤器为两套，两套所述过滤器并联连接；所述过滤单元还包括切换结构，所述切换结构用于切换两套所述过滤器中的其中一套开启，另一套关闭。9.根据权利要求8所述的基板清洗装置，其特征在于，所述过滤单元还包括监测控制模块，所述切换结构包括第一开关和第二开关，所述第一开关和所述第二开关分别连接其中一套所述过滤器的所述第一入口和所述第一出口；所述切换结构还包括第三开关和第四开关，所述第三开关和所述第四开关分别连接另一套所述过滤器的所述第一入口和所述第一出口；所述监测控制模块连接所述第一开关、所述第二开关、所述第三开关和所述第四开关，所述监测控制模块用于控制所述第一开关、所述第二开关、所述第三开关和所述第四开关的开启和关闭，以在监测到一套所述过滤器的清洗液输出流量未达到设定流量值时控制关闭该套所述过滤器并开启另一套所述过滤器。10.根据权利要求9所述的基板清洗装置，其特征在于，所述切换结构还包括第五开关和第六开关，所述第五开关和所述第六开关分别连接其中一套所述过滤器的所述第二入口和所述第二出口；所述切换结构还包括第七开关和第八开关，所述第七开关和所述第八开关分别连接另一套所述过滤器的所述第二入口和所述第二出口；所述监测控制模块连接所述第五开关、所述第六开关、所述第七开关和所述第八开关，所述监测控制模块还用于控制所述第五开关、所述第六开关、所述第七开关和所述第八开关的开启和关闭，以在监测到开启的所述过滤器的清洗液输出流量未达到设定流量值时控制该所述过滤器进行自清洁。11.一种基板生产设备，其特征在于，包括权利要求1-10任意一项所述的基板清洗装置。

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