申请/专利权人：凯斯科技股份有限公司

申请日：2020-06-12

公开（公告）日：2020-12-01

公开（公告）号：CN212062414U

主分类号：H01L21/687(20060101)

分类号：H01L21/687(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：["20190614 KR 10-2019-0070766"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.12.01#授权

摘要：公开了一种基板支架及包括该支架的基板支撑装置。根据一个实施例的基板支架可包括：旋转部，其以旋转轴为中心旋转；支撑部，其以包裹在所述旋转部的圆周方向上的外面的形式连接于所述旋转部，通过外面支撑基板的边缘；第一紧固连接部，其形成于所述旋转部的外面；第二紧固连接部，其形成于与所述旋转部接触的所述支撑部的接触面，与所述第一紧固连接部紧固连接。

主权项：1.一种基板支架，包括：旋转部，其以旋转轴为中心旋转；支撑部，其以包裹在所述旋转部的圆周方向上的外面的形式连接于所述旋转部，通过外面支撑基板的边缘；第一紧固连接部，其形成于所述旋转部的外面；第二紧固连接部，其形成于与所述旋转部接触的所述支撑部的接触面，与所述第一紧固连接部紧固连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 凯斯科技股份有限公司 基板支架及包括该支架的基板支撑装置

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