申请/专利权人：成都中电熊猫显示科技有限公司

申请日：2020-06-22

公开（公告）日：2020-12-01

公开（公告）号：CN212060870U

主分类号：G03F7/38(20060101)

分类号：G03F7/38(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.12.01#授权

摘要：本实用新型提供一种干燥装置。干燥装置包括罩体、底座和支撑架组件，罩体用于和底座共同围合成可收容基板的密闭腔体。支撑架组件设置在密闭腔体内，支撑架组件包括支撑架和位于支撑架上的多个支撑件，支撑件的顶端用于支撑基板，至少部分支撑件可相对于支撑架移动。本实用新型的干燥装置在实现对具有不同布局形式的基板支撑的同时，能够减少或者避免减压干燥工艺中基板由于亮度不均匀而产生的各种痕迹现象。

主权项：1.一种干燥装置，其特征在于，包括罩体、底座和支撑架组件，所述罩体用于和所述底座共同围合成可收容基板的密闭腔体，所述支撑架组件设置在所述密闭腔体内，所述支撑架组件包括支撑架和位于所述支撑架上的多个支撑件，所述支撑件的顶端用于支撑所述基板，至少部分所述支撑件可相对于所述支撑架移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 成都中电熊猫显示科技有限公司 一种干燥装置

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