申请/专利权人：苏州胜利精密制造科技股份有限公司

申请日：2020-02-18

公开（公告）日：2020-12-01

公开（公告）号：CN212051638U

主分类号：C23C14/54(20060101)

分类号：C23C14/54(20060101);C23C14/35(20060101);C23C14/50(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.12.01#授权

摘要：本实用新型公开了真空室内框架监控装置，包括固定在框架2底部的射频芯片3、及固定在真空室1底部的射频芯片读写器4，所述射频芯片读写器4经套封5固定在所述真空室1底部的外壁上，所述套封5与所述真空室1的外壁密封配合。本实用新型提供的真空室内框架监控装置，可监控真空室内框架的状态，提高生产效率。

主权项：1.真空室内框架监控装置，其特征在于：包括固定在框架2底部的射频芯片3、及固定在真空室1底部的射频芯片读写器4，所述射频芯片读写器4经套封5固定在所述真空室1底部的外壁上，所述套封5与所述真空室1的外壁密封配合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州胜利精密制造科技股份有限公司 真空室内框架监控装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD