申请/专利权人:重庆臻宝实业有限公司
申请日:2020-09-22
公开(公告)日:2020-12-25
公开(公告)号:CN112133622A
主分类号:H01J37/32(20060101)
分类号:H01J37/32(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.09.05#授权;2021.01.12#实质审查的生效;2020.12.25#公开
摘要:本发明涉及上部电极技术领域,提供了一种上部电极气孔修复工艺,包括以下步骤:a将第一基板贴合在上部电极的表面上,并使得第一基板上的多个通孔与上部电极上的多个喷气孔一一对应,每个通孔的孔径都大于对应的喷气孔的孔径;b第一基板与上部电极的表面通过耐热双面胶粘接;c移动等离子溶射设备,使其喷涂口与第一基板上的某一个通孔对齐;d开启等离子溶射设备,将涂料喷洒在与该通孔对应的喷气孔的内壁及周围的上部电极表面上,完成该喷气孔的溶射作业,形成新的涂层保护膜;e继续移动等离子溶射设备,对其它喷气孔进行溶射作业。本发明提供的一种上部电极气孔修复工艺,能够修复损坏的喷气孔。
主权项:1.一种上部电极气孔修复工艺,其特征在于:包括以下步骤:a将第一基板贴合在上部电极的表面上,并使得第一基板上的多个通孔与所述上部电极上的多个喷气孔一一对应,每个所述通孔的孔径都大于对应的所述喷气孔的孔径;b所述第一基板与所述上部电极的表面通过耐热双面胶粘接;c移动等离子溶射设备,使其喷涂口与第一基板上的某一个通孔对齐;d开启等离子溶射设备,将涂料喷洒在与该通孔对应的喷气孔的内壁及周围的上部电极表面上,完成该喷气孔的溶射作业,形成新的涂层保护膜;e继续移动等离子溶射设备,对其它喷气孔进行溶射作业。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 重庆臻宝实业有限公司 上部电极气孔修复工艺
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