申请/专利权人：宜兴市海创工业技术研究院有限公司

申请日：2019-07-01

公开（公告）日：2021-01-05

公开（公告）号：CN112179900A

主分类号：G01N21/84(20060101)

分类号：G01N21/84(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2024.01.19#发明专利申请公布后的视为撤回;2021.01.22#实质审查的生效;2021.01.05#公开

摘要：本发明公开了一种石墨烯图像分析装置及其分析方法，包括卤素灯光源、起偏器、载物台、显微物镜、半透半反镜、四分之一波片、检偏器、CCD相机、计算机平台、电机驱动装置、旋转电机以及直线电机，所述卤素灯光源的光线射过所述起偏器时经过所述起偏器进行偏振态的调制成为偏振光经过所述半透半反镜后通过显微物镜入射到待测石墨烯样品上，所述偏振光的背向散射光经过所述显微物镜和半透半反镜后再经过四分之一波片和所述检偏器，最终在所述CCD相机上成像，所述载物台在Z轴方向上下移动进行调焦，所述载物台在X轴和Y轴方向移动找到需要检测的石墨烯图像，所述计算机模块通过所述电机驱动装置控制所述旋转电机带动所述起偏器旋转，并在每次旋转到位后控制所述CCD相机同步成像。

主权项：1.一种石墨烯图像分析装置,其特征是：包括卤素灯光源1、起偏器2、载物台3、显微物镜4、半透半反镜5、四分之一波片6、检偏器7、CCD相机8、计算机平台9、电机驱动装置10、旋转电机11以及直线电机12，所述卤素灯光源1的光线射过所述起偏器2时经过所述起偏器2进行偏振态的调制成为偏振光经过所述半透半反镜5后通过所述显微物镜4入射到待测石墨烯样品上，所述偏振光的背向散射光经过所述显微物镜4和所述半透半反镜5后再经过所述四分之一波片6和所述检偏器7，最终在所述CCD相机8上成像，所述载物台3在Z轴方向上下移动进行调焦，所述载物台3在X轴和Y轴方向移动找到需要检测的石墨烯图像，所述计算机模块9通过所述电机驱动装置10控制所述旋转电机11带动所述起偏器2旋转，并在每次旋转到位后控制所述CCD相机8同步成像。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宜兴市海创工业技术研究院有限公司 一种石墨烯图像分析装置及其分析方法

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