申请/专利权人：武汉柔显科技股份有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司

申请日：2020-10-28

公开（公告）日：2021-01-05

公开（公告）号：CN112180684A

主分类号：G03F7/039(20060101)

分类号：G03F7/039(20060101);G03F7/004(20060101);G03F7/32(20060101);G03F7/40(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.01.22#实质审查的生效;2021.01.05#公开

摘要：本发明提供能够在曝光后通过碱显影且曝光敏感度良好、图案分辨率高的正型感光性树脂组合物、由该正型感光性树脂组合物固化后得到的固化膜和该固化膜的图案加工方法。本发明的正型感光性树脂组合物，其含有a碱溶性树脂100重量份、b光产酸剂10‑30重量份、c热交联剂20‑60重量份和d有机溶剂，上述a碱溶性树脂的主链结构中包含具有结构式a1的结构单元和具有结构式a2的结构单元，结构式a2的结构单元的一部分为结构式a3的结构单元与二胺的反应的产物。

主权项：1.一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有以下成分：a碱溶性树脂，100重量份，所述碱溶性树脂的主链结构中包含具有结构式a1的结构单元和具有结构式a2的结构单元；b光产酸剂，10-30重量份；c热交联剂，20-60重量份；d有机溶剂； 在上述结构式a1和结构式a2中，X表示四酸的反应残基，P和Q表示二胺的反应残基；所述X、Y、P、Q中至少有一种基团含有氟原子，所述氟原子占所述a碱溶性树脂的质量比为5-25％，所述X、Y、P、Q中至少有一种基团还含有羟基、羧基、磺酸基中的一种或多种；所述结构式a2是由具有结构式a3结构的二酐的甲叉衍生物制得； 所述二酐的甲叉衍生物中R1表示包含以下结构二酐的反应残基：2,2-双3,4-二羧酸苯基六氟丙烷二酐，3，3’，4，4’-二苯基醚四甲酸二酐，3，3',4，4'-联苯四甲酸二酐，氟代均苯四甲酸二酐，2，2’-双三氟甲基-4，4’-二氨基联苯，环丁烷四甲酸二酐。

全文数据：

权利要求：

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