申请/专利权人:长江存储科技有限责任公司
申请日:2020-09-01
公开(公告)日:2021-01-05
公开(公告)号:CN112179863A
主分类号:G01N21/35(20140101)
分类号:G01N21/35(20140101);G01N21/01(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.10.19#授权;2021.01.22#实质审查的生效;2021.01.05#公开
摘要:本发明实施例提供了一种透射采样装置和方法,通过入射窗口以第一入射角进入的第一光线经过透射采样装置的第一反射镜及所述透射采样装置的第二反射镜的多次反射,以及经过待采样薄膜的多次透射后,通过出射窗口射出,并进入所述透射采样装置的光接收子装置,以实现所述待采样薄膜的吸收光谱的采集;其中,所述第一反射镜和所述第二反射镜平行,所述待采样薄膜位于所述第一反射镜及所述第二反射镜之间,且与所述第一反射镜及所述第二反射镜均平行;所述第一反射镜上设置有所述入射窗口,所述第二反射镜上设置有所述出射窗口;所述第一反射镜和所述第二反射镜的反射效率大于预设效率;所述第一入射角小于预设角度。
主权项:1.一种透射采样装置,其特征在于,包括:平行设置的第一反射镜和第二反射镜以及光接收子装置;其中,待采样薄膜位于所述第一反射镜及所述第二反射镜之间,且与所述第一反射镜及所述第二反射镜均平行;所述第一反射镜上设置有入射窗口,所述第二反射镜上设置有出射窗口;通过所述入射窗口以第一入射角进入的第一光线经过所述第一反射镜及所述第二反射镜的多次反射,以及经过所述待采样薄膜的多次透射后,通过所述出射窗口射出,并进入所述光接收子装置,以实现所述待采样薄膜的吸收光谱的采集;所述第一反射镜和所述第二反射镜的反射效率大于预设效率;所述第一入射角小于预设角度。
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权利要求:
百度查询: 长江存储科技有限责任公司 透射采样装置及方法
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