申请/专利权人:湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请日:2020-09-25
公开(公告)日:2021-01-05
公开(公告)号:CN112176308A
主分类号:C23C14/50(20060101)
分类号:C23C14/50(20060101);C23C14/35(20060101)
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2022.02.01#实质审查的生效;2021.01.05#公开
摘要:本发明公开了一种耐高温基片夹具,包括由左、右立柱和上、下横梁连成一个整体的框架,在上、下横梁上分别设置有用于装载基片的卡槽,在左、右立柱分别设置有翻板机构,翻板机构包括固定在左立柱右立柱上的固定座,固定座上通过销轴转动连接有压板,在左立柱右立柱上嵌入安装有耐高温磁铁,压板与耐高温磁铁相对应部位为能被磁铁吸引的金属材质,压板与基片接触部位为PEEK材质。本发明的耐高温基片夹具采用钛合金材质的整体框架,更加耐高温,卡槽、压板选用比金属质软又能耐高温的PEEK材质,不会造成玻璃基片表面划伤,翻板机构操作便捷,基片装卸方便,中间连杆及PEEK材质的隔套可对玻璃基片起到有效的保护作用。
主权项:1.一种耐高温基片夹具,其特征在于:包括由左、右立柱和上、下横梁连成一个整体的框架,在上、下横梁上分别设置有用于装载基片的卡槽,在左、右立柱分别设置有翻板机构,所述翻板机构包括固定在左立柱右立柱上的固定座,所述固定座上通过销轴转动连接有压板,在左立柱右立柱上嵌入安装有耐高温磁铁,所述压板与耐高温磁铁相对应部位为能被磁铁吸引的金属材质,压板与基片接触部位为PEEK材质。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 湖南玉丰真空科学技术有限公司 一种耐高温基片夹具
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