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【发明公布】一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备_许华清_202011067225.0 

申请/专利权人:许华清

申请日:2020-10-05

公开(公告)日:2021-01-05

公开(公告)号:CN112176288A

主分类号:C23C14/24(20060101)

分类号:C23C14/24(20060101);C23C14/14(20060101)

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2021.01.22#实质审查的生效;2021.01.05#公开

摘要:本发明公开了一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其结构包括基片、喷洒装置、抽气泵、真空室、抽真空管、真空泵、操作面板,本发明改进后进行使用时,输出管将蒸发源材料导向分流管上,分流管将蒸发源材料等量稳定的通过每个出口进行喷洒,拉绳通过导接板将输入到通孔上,拉绳稳定的卡接在两根定位转杆之间,转轮带动卡齿进行旋转活动,使得拉绳可以快速稳定的进行收卷,能实现活动件的角度与金属薄膜相平行,可以将蒸发源材料均匀的喷洒在金属薄膜的每个位置上,保证蒸镀后的金属薄膜的厚度一致、层次均匀,提高金属薄膜的良品率和电容器的使用质量。

主权项:1.一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其结构包括基片1、喷洒装置2、抽气泵3、真空室4、抽真空管5、真空泵6、操作面板7,所述喷洒装置2通过真空室4与基片1连为一体,所述抽气泵3穿插连接在真空室4内部,所述真空泵6通过真空管5与真空室4相接通,所述真空泵6通过电线与操作面板7电连接,其特征在于:所述喷洒装置2包括有喷嘴21、导管22、调节槽23、固定板24、加热器25、活动件26,所述喷嘴21安装在导管22上,所述加热器25两端与活动件26相扣接,所述调节槽23与固定板24采用活动卡合方式配合,所述调节槽23通过固定板24安装在真空室4顶部。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 许华清 一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备

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