申请/专利权人：西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司

申请日：2020-10-09

公开（公告）日：2021-01-05

公开（公告）号：CN112185863A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/677(20060101);F27D25/00(20100101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.01.22#实质审查的生效;2021.01.05#公开

摘要：本发明涉及一种炉管清洁方法，包括：将预设量的具有疏水性的硅片放入炉管中、并对炉管采用第一预设温度进行加热第一预设时间，使得硅片吸收炉管内的污染物。利用疏水性硅片对炉管进行清洗，去除炉管内的污染物，且不影响晶舟的寿命。本发明还涉及一种炉管清洁设备。

主权项：1.一种炉管清洁方法，其特征在于，包括：步骤S1：将预设量的具有疏水性的硅片放入炉管中、并对炉管采用第一预设温度进行加热第一预设时间，使得硅片吸收炉管内的污染物。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 炉管清洁方法及清洁设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD