申请/专利权人：日本电气硝子株式会社

申请日：2016-08-23

公开（公告）日：2021-01-05

公开（公告）号：CN107683265B

主分类号：C03C15/00(20060101)

分类号：C03C15/00(20060101)

优先权：["20150911 JP 2015-179730"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.01.05#授权;2018.04.13#实质审查的生效;2018.02.09#公开

摘要：在使上部结构体10的下表面10a与具有供气口22以及排气口26的下部结构体11的上表面11a对置配置而形成于对置的两个面10a、11a彼此之间的处理空间13内，利用从供气口22喷出并向排气口26吸入的处理气体5对沿着水平方向搬运的玻璃板3的下表面3a实施蚀刻处理，并且，使供气口22与排气口26在玻璃板搬运方向A上位于分离开的位置，组装于下部结构体11的特定搬运机构9从下方支承玻璃板3，以供进行该玻璃板3的搬运，将特定搬运机构9配置在除了供气口22与排气口26彼此之间的区域之外的区域。

主权项：1.一种玻璃板的制造方法，其在使具有供气口以及排气口的下部结构体的上表面与上部结构体的下表面对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面彼此之间的处理空间内，利用从所述供气口喷出并向所述排气口吸入的处理气体来对沿着水平方向搬运的玻璃板的下表面实施蚀刻处理，并且使所述供气口与所述排气口在玻璃板搬运方向上位于分离开的位置，且使组装于所述下部结构体的特定搬运辊从下方支承所述玻璃板，以供进行该玻璃板的搬运，所述玻璃板的制造方法的特征在于，所述特定搬运辊配置在除了所述供气口与所述排气口彼此之间的区域之外的区域，利用配置在所述上部结构体以及所述下部结构体的外部的搬运辊相对于所述处理空间搬入搬出所述玻璃板，所述特定搬运辊的直径小于所述搬运辊的直径。

全文数据：玻璃板的制造方法及其制造装置技术领域[0001]本发明涉及具有使用氟化氢等处理气体对玻璃板实施蚀刻处理的工序的玻璃板的制造方法及其制造装置。背景技术[0002]众所周知，在平板显示器FPD、智能手机、平板型PC等移动设备、其他的各种电子器件等中组装有各种板厚、尺寸的玻璃板，其中，平板显示器以液晶显示器、等离子显示器、有机EL显示器、场发射显示器等为代表。[0003]在用于制作这种成为最终产品的玻璃板的原来的玻璃板的制造工序中，可能产生因静电的带电而引起的问题。例如，在作业台上载置玻璃板而实施规定的处理时，可能产生因静电的带电而玻璃板贴附于作业面的事态。因此，在使完成规定的处理的玻璃板从作业台剥离时，可能导致该玻璃板的破损。[0004]作为上述问题的对策，正在进行如下的尝试:将氟化氢等处理气体喷涂于玻璃板而实施蚀刻处理，使该玻璃板的表面粗糙化，由此来解决上述的静电的带电所引起的问题。[0005]作为该具体例，根据专利文献1，公开了如下的方案：在沿着一定的搬运路径搬运的玻璃板通过处理空间时，利用从喷出嘴的喷出口喷出并向吸嘴的吸入口吸入的处理气体来对该玻璃板的下表面实施蚀刻处理。[0006]详细地说，在该文献公开的蚀刻装置中，在上部结构体上侧的结构部）的下表面与下部结构体下侧的结构部）的上表面相互间形成有用于对搬运中的玻璃板的下表面实施蚀刻处理的处理空间。在该情况下，上部结构体仅由顶板形成。另一方面，下部结构体通过将配置于玻璃板的搬运方向后侧搬运路径的上游侧的喷出嘴、配置于玻璃板的搬运方向前侧搬运路径的下游侧）的吸嘴、以及夹设于该两个喷嘴间的底板一体化而形成。而且，作为下部结构体的喷出嘴、底板以及吸嘴的各上表面成为共面状态。因此，在下部结构体的上表面形成有向处理空间喷出处理气体的喷出口和从处理空间吸入处理气体的吸入口。[0007]此外，该蚀刻装置具有在处理空间内从下方支承玻璃板并进行搬运的搬运辊。该搬运辊组装于下部结构体。详细而言，在下部结构体的底板的下方配设有在与玻璃板的下表面平行的方向且与玻璃板搬运方向正交的方向上延伸的辊轴，在该辊轴的轴向多个部位隔着规定的间隔而设置有搬运辊。而且，搬运辊的上端部通过底板的孔而比底板的上表面向上方突出，由此面对处理空间内。因此，搬运辊起到在处理空间内从下方支承玻璃板并进行搬运的作用。[0008]在先技术文献[0009]专利文献[0010]专利文献1:国际公开第2011105331号发明内容[0011]发明要解决的课题[0012]然而，在专利文献1公开的蚀刻装置中，在形成于下部结构体的上表面的喷出口与吸入口彼此之间的区域配置有搬运辊。当采用这样的搬运辊的配置方式时，从喷出口喷出并向吸入口吸入的处理气体的流动因搬运辊的存在而紊乱，因此，玻璃板的下表面与处理气体的反应变得不均匀。因此，可能导致玻璃板的下表面的粗糙化产生不均匀这样的问题。[0013]作为避免这种问题的对策，考虑从下部结构体去掉用于搬运玻璃板的搬运辊，从接近下部结构体的两侧的位置起分别朝向两侧外部地配置搬运辊。然而，在这种单纯的方法中，在从下部结构体去掉了搬运辊的部位，相邻的搬运辊彼此之间的距离过长，因此，产生以下所示的致命问题。[0014]g卩，伴随着近年来的玻璃板的薄壁化，玻璃板容易发生挠曲，因此，本来就需要缩短相邻的搬运辊彼此之间的距离。上述方法不但没有如此执行，结果还违背这样的需求。而且，如上所述，在由于接近下部结构体的两侧而配置的搬运辊彼此之间的距离过长而在玻璃板中产生了挠曲的情况下，导致玻璃板的下表面与下部结构体的上表面接触等事态。其结果是，不仅导致难以对玻璃板的下表面进行蚀刻处理，还可能导致玻璃板的下表面的损伤、以及阻碍玻璃板的顺畅的搬运等。[0015]根据以上的观点，本发明的课题在于，通过使处理空间周边的玻璃板的搬运方式适当化，从而在处理空间内对玻璃板的下表面实施蚀刻处理时，使玻璃板的下表面整个区域与处理气体的反应均匀化，从而不会对玻璃板的下表面的粗糙化产生障碍。[0016]用于解决课题的方案[0017]为了解决上述课题而创造的本发明是一种玻璃板的制造方法，其在使具有供气口以及排气口的下部结构体的上表面与上部结构体的下表面对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面彼此之间的处理空间内，利用从供气口喷出并向排气口吸入的处理气体来对沿着水平方向搬运的玻璃板的下表面实施蚀刻处理，并且使供气口与排气口在玻璃板搬运方向上位于分离开的位置，且使组装于下部结构体的特定搬运机构从下方支承玻璃板，以供进行该玻璃板的搬运，该玻璃板的制造方法的特征在于，特定搬运机构配置在除了供气口与排气口彼此之间的区域之外的区域。在此，“沿着水平方向搬运的玻璃板”不仅包括玻璃板沿着非倾斜方向即水平方向搬运的情况，还包括玻璃板沿着相对于水平面以上下30°以下的角度倾斜的方向搬运的情况（以下相同）。另外，这些情况下的玻璃板的姿势不仅包括玻璃板相对于搬运方向的两侧方成为非倾斜状态的姿势，还包括玻璃板从搬运方向的一侧方相对于另一侧方以30°以下的角度成为倾斜状态的姿势（以下相同）。[0018]根据这样的结构，从供气口朝向上方喷出且沿着玻璃板的下表面流通并向排气口吸入的处理气体的流动不再因特定搬运机构而发生紊乱。即，从下方支承玻璃板以供进行玻璃板的搬运的特定搬运机构设置在与处理气体的流通路径分离开的位置。因此，不会妨碍到处理气体的流动，不会发生处理气体的流动在中途变化等事态。由此，玻璃板的下表面整个区域与处理气体的反应均匀化，玻璃板的下表面的粗糙化不容易产生不均匀。而且，沿着水平方向搬运的玻璃板在下部结构体所存在的位置由特定搬运机构从下方支承，因此，与在下部结构体上完全没有设置玻璃板的支承位置的情况相比，能够缩短相邻的支承位置间的距离。由此，即便玻璃板为薄壁，也能够抑制被实施蚀刻处理的玻璃板发生不当的挠曲。其结果是，不仅能够确保对玻璃板的下表面的蚀刻处理的适当化，还能够避免玻璃板的下表面的损伤以及玻璃板的搬运的阻碍等不良情况。[0019]在上述的方法中优选的是，特定搬运机构配置在供气口与排气口彼此之间的区域的玻璃板搬运方向两侧。[0020]这样，由于在下部结构体的供气口侧以及排气口侧这双方配置特定搬运机构，因此，能够大幅缩短两个特定搬运机构的分开距尚。由此，可靠地阻止了由两个特定搬运机构从下方支承的玻璃板在两个特定搬运机构间因自重而发生大幅挠曲的事态。其结果是，使基于处理气体的对玻璃板的下表面的粗糙化更加适当。[0021]在以上的方法中优选的是，特定搬运机构是特定搬运棍。[0022]这样，能够可靠地实现从下方支承玻璃板以供进行该玻璃板的搬运这一特定搬运机构的作用。[0023]在该情况下的方法中优选的是，特定搬运辊是在与玻璃板的下表面平行且与玻璃板搬运方向正交的方向上排列有多个的自由辊。[0024]这样，不需要辊的驱动机构，因此，简化了向下部结构体的组装。[0025]在该情况下的方法中优选的是，多个自由辊分别独立且分别彼此分离开地配置。[0026]这样，实现了自由辊的小型化、制作容易化。[0027]在以上的方法中优选的是，具有搬运辊，该搬运辊配置在上部结构体以及下部结构体的外部，以便相对于处理空间搬入搬出玻璃板，特定搬运辊的直径小于搬运辊的直径。在该情况下，优选搬运辊的直径为特定搬运辊的直径的1.5倍〜10倍，更优选下限值为2倍且上限值为4倍。另外，优选搬运辊为被赋予旋转驱动力的驱动辊。[0028]这样，能够缩窄下部结构体上组装特定搬运辊的组装用空间，实现下部结构体的小型化。[0029]在以上的方法中优选的是，特定搬运辊在玻璃板搬运方向上排列有多个，并且搬运辊在玻璃板搬运方向上排列有多个，特定搬运辊的在玻璃板搬运方向上的排列间距小于搬运辊的在玻璃板搬运方向上的排列间距。[0030]这样，在相邻的搬运辊间能够允许稍许的玻璃板的挠曲，并且能够在相邻的特定搬运辊间严格地阻止玻璃板的挠曲。由此，能够削减小对玻璃板的下表面实施蚀刻处理的区域的搬运辊的个数，并且使实施蚀刻处理的区域的特定搬运辊的个数符合要求。[0031]在以上的方法中优选的是，同供气口与排气口彼此之间的区域相对应的下部结构体的上表面为单一的平面。[0032]这样，也难以发生处理气体的流动受到下部结构体的上表面的阻碍的事态，因此，基于处理气体的玻璃板的下表面的粗糙化更加适当。[0033]为了解决上述课题而创造的本发明的装置是一种玻璃板的制造装置，其在使具有供气口以及排气口的下部结构体的上表面与上部结构体的下表面对置配置而形成于对置的该上表面及该下表面这两个面彼此之间的处理空间内，利用从供气口喷出并向排气口吸入的处理气体对沿着水平方向搬运的玻璃板的下表面实施蚀刻处理，并且使供气口与排气口在玻璃板搬运方向上位于分离开的位置，且在下部结构体组装有特定搬运机构，该特定搬运机构从下方支承玻璃板以供进行该玻璃板的搬运，该玻璃板的制造装置的特征在于，特定搬运机构配置在除了供气口与排气口彼此之间的区域之外的区域。[0034]该玻璃板的制造装置具备与已述的本发明的玻璃板的制造方法实质上相同的构成要件。因此，针对该装置的说明事项也与针对已述的方法的说明事项实质上相同，因此，在此省略其说明。[0035]发明效果[0036]根据本发明，通过使处理空间周边的玻璃板的搬运方式适当化，从而在处理空间内对玻璃板的下表面实施蚀刻处理时，使玻璃板的下表面整个区域与处理气体的反应均匀化，难以对玻璃板的下表面的粗糙化产生障碍。附图说明[0037]图1是示出本发明的第一实施方式的玻璃板的制造装置的整体概要结构的纵剖主视图。[0038]图2是示出本发明的第一实施方式的玻璃板的制造装置的主要部分结构的放大纵剖主视图。[0039]图3是示出本发明的第一实施方式的玻璃板的制造装置的主要部分结构的放大纵剖侧视图。[0040]图4是示出作为本发明的第一实施方式的玻璃板的制造装置的构成要素的供气结构及其周边的放大纵剖侧视图。[0041]图5是示出作为本发明的第一实施方式的玻璃板的制造装置的构成要素的供气口的周边构造的主要部分放大纵剖主视图。[0042]图6是示出本发明的第二实施方式的玻璃板的制造装置的主要部分结构的放大纵剖主视图。具体实施方式[0043]以下，参照附图来说明本发明的实施方式的玻璃板的制造方法及其制造装置。[0044]〈第一实施方式[0045]首先，说明本发明的第一实施方式的玻璃板的制造装置的整体概要结构。图1是示出其整体概要结构的纵剖主视图。需要说明的是，在以下的说明中，将图1中的与纸面正交的方向称为宽度方向。如该图所示，玻璃板的制造装置1构成为，在将从搬入口2a搬入到腔室2内的玻璃板3沿着水平方向搬运的同时，在腔室2内的玻璃板3的搬运路径上设置的处理区域4中，利用作为处理气体5的氟化氢来实施蚀刻处理。然后，蚀刻处理后的玻璃板3从搬出口2b向腔室2外搬出。[0046]腔室2的外形形成为在宽度方向上为长条的长方体状，防止来自其内部空间的处理气体5的流出。而且，在该腔室2的侧壁部2c形成有已述的搬入口奴和搬出口2b。需要说明的是，腔室2的材质为对处理气体5氟化氢的耐腐蚀性优异的聚氯乙烯。[0047]在处理区域4配置有蚀刻装置6,该蚀刻装置6用于对沿着水平方向搬运的玻璃板3喷涂处理气体5而实施蚀刻处理。该蚀刻装置6以在与腔室2的顶棚壁2d之间形成间隙7的方式设置于腔室2的底部2e。[0048]此外，该玻璃板的制造装置1具有配置于腔室2内外的直径相对大的多个搬运辊8。这些搬运辊8设置规定间隔地装配于沿着宽度方向延伸的长条的辊轴8a的轴向多个部位。因此，这些搬运辊8不仅在沿着搬运路径的方向上配置有多个，也在宽度方向上配置有多个。而且，这些搬运辊8的全部或一部分被赋予旋转驱动力。[0049]此外，该玻璃板的制造装置1具有作为配置于蚀刻装置6内的直径相对小的多个特定搬运机构的特定搬运辊9。这些特定搬运辊9也不仅在沿着搬运路径的方向上配置有多个，还在宽度方向上配置有多个。而且，成为由这些特定搬运辊9和上述的搬运辊8沿着在水平方向上呈一直线状延伸的搬运路径对玻璃板3进行搬运的结构。在该情况下，搬运辊8的直径优选为特定搬运辊9的直径的1.5倍〜10倍，更优选为2倍〜4倍。_[0050]图1中，为了方便，将腔室2及其内部的右侧端部和左侧端部在中途断开，主要图示出其中央部。因此，虽然无法从图1中详细掌握，但特定搬运辊9的搬运方向上的排列间距小于搬运辊8的搬运方向上的排列间距。在该情况下，蚀刻装置6设置在从沿搬运方向排列的多个搬运辊8之中去掉搬运方向上的规定个数的搬运辊8的位置。而且，组装到蚀刻装置6的特定搬运辊9的搬运方向上的排列个数多于该所去掉的搬运辊8的搬运方向上的排列个数。[0051]图2是用于详细说明蚀刻装置6的结构的放大纵剖主视图。需要说明的是，在以下的说明中，将图2中的与纸面正交的方向称为宽度方向。另外，图2所示的箭头A方向是玻璃板3的搬运方向，将该箭头A方向仅称为搬运方向。因此，图2中的左侧是搬运方向前侧搬运路径的下游侧），右侧是搬运方向后侧搬运路径的上游侧）。[0052]如图2所示，蚀刻装置6具有配置于上侧的上部结构体1〇和配置于下侧的下部结构体11，该两个结构体10、11在宽度方向的两端被连结壁12连结而形成为一体。而且，在上部结构体10的下表面10a与下部结构体11的上表面11a彼此之间，形成有用于对搬运的玻璃板3的下表面实施基于处理气体5的蚀刻处理的处理空间13。需要说明的是，上部结构体1〇以及下部结构体11的材质为聚氯乙烯。另外，在上部结构体10和下部结构体11内置有用于防止因处理气体5引起的结露的产生的加热构件14例如加热器等）。[0053]上部结构体10由一张呈平板状的顶板15构成，该顶板15的下表面即上部结构体1〇的下表面l〇a为单一的平面。因此，顶板15的下表面不具有凹凸。即，仅顶板15的宽度方向长度方向）的两端部借助螺栓等固定于连结壁12,因此，在顶板15的下表面l〇a未形成因螺栓或螺栓孔等的存在而导致的凹凸。而且，该顶板15的下表面l〇a与被搬运的玻璃板3的下表面3a以及上表面3b平行。[0054]下部结构体11包括:呈平板状的底板16;供气结构17,其垂下地固定于底板16的搬运方向后部；以及排气结构18,其垂下地固定于底板16的搬运方向前部。在底板16的搬运方向后部形成有通向处理空间13的供气孔19,并且在供气结构17形成有通向供气孔I9的供气路20。因此，用于将处理气体5向上方引导并使其向处理空间13喷出的供气用通路21包括供气孔19和供气路20。而且，该供气用通路21的上端开口部成为形成于底板I6的上表面即下部结构体11的上表面1la的供气口22。另外，供气孔19具有收缩上部而减小了通路面积的供气小孔部19a，该供气小孔部19a的上端是己述的供气口22。在该情况下，底板16的上表面11a与顶板15的下表面10a平行。[0055]在底板16的搬运方向前部形成有通向处理空间13的排气孔23,并且在排气结构18形成有通向排气孔23的排气路24。因此，用于从处理空间13向下方吸入处理气体5并进行回收的回收用通路25包括排气孔23和排气路24。而且，该回收用通路25的上端开口部成为形成于下部结构体11的上表面11a的排气口26。需要说明的是，排气孔23具有收缩上部而减小了通路面积的排气小孔部23a，该排气小孔部23a的上端为已述的排气口26。而且，供气路20的下端以及排气路24的下端分别经由形成于腔室2的底壁2f的贯通孔27、28而通向腔室2外的管路省略图示）。[0056]在底板16的上部的搬运方向的多个部位（图例中在搬运方向的两个部位组装有从下方支承玻璃板3以供进行玻璃板3的搬运的特定搬运辊9。这些特定搬运辊9配置在下部结构体11的上部中的除了供气口22与排气口26彼此之间的区域之外的区域。详细而言，这些特定搬运辊9分别配置在该彼此之间的区域的搬运方向两侧。另外，与该彼此之间的区域对应的下部结构体11的上表面11a为单一的平面。此外，该单一的平面与下部结构体11的上表面11a中的比供气口22靠搬运方向后侧的平面以及比排气口26靠搬运方向前侧的平面成为共面状态。在此，严格上说，处理空间13是上部结构体10的下表面l〇a与下部结构体11的上表面1la之间的形成于供气口22与排气口26彼此间的分开范围内的空间。因此，特定搬运辊9不存在于处理空间13内。[0057]如图3中放大示出那样，在搬运方向的各个部位沿宽度方向配置有多个的特定搬运辊9以分别独立且分别在宽度方向上相互分离开的状态组装于下部结构体11的上部。详细而言，各特定搬运辊9是自由辊，未被赋予旋转驱动力。而且，各特定搬运辊9的辊轴9a旋转自如地保持于在底板I6的上部沿宽度方向隔开规定间隔而形成的凹部29。在本实施方式中，仅各特定搬运辊9的上部从下部结构体11的上表面11a向上方突出，各辊轴9a未从下部结构体11的上表面11a向上方突出。[0058]图4是以包含供气用通路21的流动中心轴线的方式切断供气结构17以及底板16而得到的放大纵剖侧视图。如该图所示，供气用通路21形成于包括构成供气结构17的第一板材〜第四板材17、171、17〇、171、以及底板16的搬运方向后部在内的五层构造体的内部。在位于最下层的第一板材17a形成有用于向该第一板材17a供给处理气体5的供给流路17aa。而且，通过使该第一板材17a与层叠于其上方的第二板材17b重合，从而形成从供给流路17aa供给的处理气体5的分支流路17ba。进一步地，通过使第二板材17b与层叠于其上方的第三板材17c重合，从而形成使上述的分支流路17ba进一步分支的分支流路17ca。在层叠于第三板材17c的上方的第四板材17d，形成有用于使分支后的分支流路17ca汇合的空间l7da。而且，在第四板材17d安装有多孔板ndc，该多孔板17dc上形成有用于使处理气体5通过的多个贯通孔l7db。在位于最上层的底板16形成有供气孔19,该供气孔19包括用于向处理空间13喷出处理气体5的已述的供气小孔部19a。[OO59]形成于底板I6的搬运方向后部的供气孔19及供气口22以及形成于底板16的搬运方向前部的排气孔23及排气口％均形成为在宽度方向上为长条的缝隙状。这些供气孔19、供气口22、排气孔23以及排气口26的宽度方向尺寸大于玻璃板3的宽度方向尺寸。[0060]图5是示出构成形成于底板16的供气孔19的上部的供气小孔部19a的周边构造的主要部分放大纵剖主视图。如该图所示，供气小孔部19a的搬运方向尺寸L由位于该供气小孔部1如的上下方向中间且在宽度方向上设置有多个的间隔件30调节为固定尺寸。即，在本实施方式中，包含供气小孔部19a的供气孔19是在搬运方向后部对底板16进行了分割的各分割底板的对置端面间的间隙，该间隙的大小由间隔件30调整。[0061]在此，供气小孔部19a中的从供气口22到间隔件30的深度尺寸D优选为10〜100mm的范围内。当该深度尺寸D过短时，由于间隔件30的存在而使供气小孔部19a内的处理气体5的流动发生紊乱，有可能导致基于蚀刻处理实现的玻璃板3的下表面3a的粗糙化产生不均匀。与此相对，当深度尺寸D过长时，难以对供气□22的搬运方向尺寸L进行微调节。因此，从供气口22向处理空间I3供给的处理气体5的供给量有可能过多或过少而无法使玻璃板3的下表面3a粗糙化成所希望的表面粗糙度。因此，从供气口22到间隔件30的深度尺寸D优选处于上述的数值范围内。[0062]接着，对具备以上结构的玻璃板的制造装置1的作用即玻璃板的制造方法进行说明。[0063]如图2所示，在将玻璃板3搬运到处理空间13的状态下，处理气体5在处理空间13如下述那样流通。即，流入到供气用通路21的处理气体5从供气口22朝向上方铅垂上方喷出，沿着玻璃板3的下表面3a朝向搬运方向前侧流动之后，被吸入到排气口26,通过回收用通路25而被回收。在该情况下，在处理气体5在处理空间13中流通时，在处理气体5的流通路径中不存在特定搬运辊9。因此，处理气体5的流动不会因特定搬运辊9而变得紊乱。即，由于特定搬运辊9设置在与处理气体5的流通路径分离开的位置，因此，不会妨碍到处理气体5的流动，不会发生处理气体5的流动在中途变化等事态。由此，玻璃板3的下表面3a整个区域与处理气体5的反应均匀化，玻璃板3的下表面3a的粗糙化不容易产生不均匀。此外，同供气口22与排气口26彼此之间的区域对应的下部结构体11的上表面11a为单一的平面，因此，处理气体5更加顺畅地流动，更加促进了玻璃板3的下表面3a整个区域与处理气体5的反应的均匀化。[0064]由于玻璃板3被组装于下部结构体11的上部的一对特定搬运辊9从下方支承，因此，能够缩短相邻的支承位置彼此之间的距离。由此，即便玻璃板3为薄壁例如板厚为300Um以下或200um以下），也能够抑制被实施蚀刻处理的玻璃板3发生不当的挠曲。其结果是，不仅能够确保对玻璃板3的下表面3a的蚀刻处理的适当化，还能够避免玻璃板3的下表面3a的损伤以及玻璃板3的搬运的阻碍等不良情况。[0065]另外，由于顶板15的下表面10a为不具有凹凸的单一的平面，因此，玻璃板3的上表面3b的粗糙化也不容易产生不均匀。即，处理气体5有时在处理空间13中绕到玻璃板3的上表面3b侧。在该情况下，当顶板15的下表面1〇a存在凹凸时，由于该凹凸而使绕到玻璃板3的上表面3b侧的处理气体5的流动发生紊乱，玻璃板3的上表面3b整个区域不再与处理气体5均匀地反应。但是，若顶板15的下表面10a不存在凹凸，则能够避免这样的不良情况，使玻璃板3的上表面3b的粗糙化变得均匀。[0066]〈第二实施方式〉[0067]接着，对本发明的第二实施方式的玻璃板的制造装置其制造方法进行说明。需要说明的是，在该第二实施方式的说明中，针对上述的第一实施方式中已经说明的构成要素，在参照附图中标注相同的标号而省略重复的说明，在此，仅针对与第一实施方式的不同点进行说明。[0068]如图6所示，该第二实施方式的玻璃板的制造装置1与上述的第一实施方式的玻璃板的制造装置1的不同之处在于，仅在下部结构体11中的上部的供气口22的搬运方向后侧组装有特定搬运辊9这一点、以及在下部结构体11中的搬运方向前端部的前侧以与该前侧邻近的方式配设有搬运辊8这一点。因此，在对玻璃板3实施蚀刻处理时，玻璃板3被特定搬运辊9和搬运辊8从下方支承。[0069]根据该第二实施方式的玻璃板的制造装置丨，仅在下部结构体^的搬运方向后侧存在的特定搬运辊9配置在除了供气口22与排气口26彼此之间的区域之外的区域。因此，特定搬运辊9不会扰乱处理气体5的流动，玻璃板3的下表面加的粗糙化不容易产生不均匀。而且，若在这样的位置组装特定搬运親9,则与在下部结构体11元全没有组装特定搬运棍9的情况相比，能够缩短玻璃板3的两个支承位置彼此之间的距离。因此，不会产生因玻璃板3在蚀刻处理时不当地挠曲而引起的己述问题。[0070]需要说明的是，在上述的第二实施方式中，仅在供气口22的搬运方向后侧组装特定搬运辊9,但也可以仅在排气口26的搬运方向前侧组装特定搬运辊9。[0071]另外，在以上的第一实施方式、第二实施方式中，玻璃板3的搬运方向为从供气口22朝向排气口26的方向，但与之相反地，即便玻璃板3的搬运方向为从排气口26朝向供气口22的方向，同样也能够应用本发明。[0072]此外，在以上的第一实施方式、第二实施方式中，在下部结构体11的上部，从供气口22至搬运方向后侧的端部的距离和从排气口26至搬运方向前侧的端部的距离短，因此只限于在这些部位组装有一个特定搬运辊9。但是，若加长这些部位的距离，则也能够在这些部位分别组装多个特定搬运辊9。[0073]此外，在以上的第一实施方式、第二实施方式中，将多个搬运辊8的全部或一部分设为被赋予旋转驱动力的驱动辊，将组装于下部结构体11的特定搬运辊9设为未被赋予旋转驱动力的自由辊，但该特定搬运辊9也可以是被赋予旋转驱动力的驱动辊。[0074]此外，在以上的第一实施方式、第二实施方式中，将组装于下部结构体11的特定搬运机构设为辊9，但除此以外也可以是不称为辊的旋转体等。[0075]此外，在以上的第一实施方式、第二实施方式中，供气结构17与排气结构18分体设置，且在搬运方向上相互分离开地配置，但这两者17、18也可以形成为一体。[0076]附图标记说明：[0077]1玻璃板的制造装置[0078]3玻璃板[0079]3a玻璃板的下表面[0080]3b玻璃板的上表面[0081]8搬运辊[0082]9特定搬运机构特定搬运棍）[0083]10上部结构体[0084]l〇a上部结构体的下表面[0085]11下部结构体[0086]11a下部结构体的上表面[0087]13处理空间[0088]15顶板[0089]16底板[0090]17供气结构[0091]18排气结构[0092]22供气口[0093]26排气口。

权利要求：1.一种玻璃板的制造方法，其在使具有供气口以及排气口的下部结构体的上表面与上部结构体的下表面对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面彼此之间的处理空间内，利用从所述供气口喷出并向所述排气口吸入的处理气体来对沿着水平方向搬运的玻璃板的下表面实施蚀刻处理，并且使所述供气口与所述排气口在玻璃板搬运方向上位于分离开的位置，且使组装于所述下部结构体的特定搬运机构从下方支承所述玻璃板，以供进行该玻璃板的搬运，所述玻璃板的制造方法的特征在于，所述特定搬运机构配置在除了所述供气口与所述排气口彼此之间的区域之外的区域。2.根据权利要求2所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，所述特定搬运机构配置在所述供气口与所述排气口彼此之间的区域的玻璃板搬运方向两侧。3.根据权利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，所述特定搬运机构是特定搬运辊。4.根据权利要求3所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，所述特定搬运辊是在与所述玻璃板的下表面平行且与玻璃板搬运方向正交的方向上排列有多个的自由辊。5.根据权利要求4所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，多个所述自由辊分别独立且分别彼此分离开地配置。6.根据权利要求3至5中任一项所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，具有搬运辊，该搬运辊配置在所述上部结构体以及所述下部结构体的外部，以便相对于所述处理空间搬入搬出所述玻璃板，所述特定搬运辊的直径小于所述搬运辊的直径。7.根据权利要求6所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，所述特定搬运辊在玻璃板搬运方向上排列有多个，并且所述搬运辊在玻璃板搬运方向上排列有多个，所述特定搬运辊的在玻璃板搬运方向上的排列间距小于所述搬运辊的在玻璃板搬运方向上的排列间距。8.根据权利要求1至7中任一项所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，同所述供气口与所述排气口彼此之间的区域相对应的所述下部结构体的上表面为单—的平面。9.一种玻璃板的制造装置，其在使具有供气口以及排气口的下部结构体的上表面与上部结构体的下表面对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面彼此之间的处理空间内，利用从所述供气口喷出并向所述排气口吸入的处理气体来对沿着水平方向搬运的玻璃板的下表面实施蚀刻处理，并且所述供气口与所述排气口在玻璃板搬运方向上位于分离开的位置，且在所述下部结构体组装有特定搬运机构，该特定搬运机构从下方支承所述玻璃板以供进行该玻璃板的搬运，所述玻璃板的制造装置的特征在于，所述特定搬运机构配置在除了所述供气口与所述排气口彼此之间的区域之外的区域。

百度查询： 日本电气硝子株式会社 玻璃板的制造方法及其制造装置

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