申请/专利权人：ASM知识产权私人控股有限公司

申请日：2018-07-26

公开（公告）日：2021-01-05

公开（公告）号：CN109423624B

主分类号：C23C16/455(20060101)

分类号：C23C16/455(20060101);C23C16/46(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：["20170831 KR 10-2017-0111040"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.01.05#授权;2019.03.29#实质审查的生效;2019.03.05#公开

摘要：本发明提供一种冷却装置、气体供应装置及衬底处理设备。所述冷却装置能够控制反应器的上部部分或更具体来说例如喷头的气体供应装置的温度的冷却装置。所述冷却装置包括被配置成均匀且有效地冷却所述气体供应装置的分隔件。

主权项：1.一种冷却装置，其特征在于，包括：第一分隔壁；第二分隔壁，环绕所述第一分隔壁；第三分隔壁，环绕所述第二分隔壁；以及分隔件，将所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间的空间分离成第一区域及第二区域，且将所述第二分隔壁与所述第一分隔壁之间的空间分离成第三区域及第四区域，其中所述分隔件被配置成将所述第一区域与所述第三区域彼此连接且将所述第二区域与所述第四区域彼此连接，其中所述分隔件包括本体、第一通道及第二通道，所述第一区域与所述第三区域通过所述分隔件的所述第一通道连接到彼此，所述第二区域与所述第四区域通过所述分隔件的所述第二通道连接到彼此，且所述第一通道与所述第二通道不彼此交会。

全文数据：冷却装置、气体供应装置及衬底处理设备技术领域一个或多个实施例涉及一种衬底处理设备，且更具体来说，涉及一种能够控制气体供应装置的温度的冷却装置、气体供应装置及衬底处理设备。背景技术衬底处理设备例如半导体衬底处理设备被加热到工艺温度，以有利于反应气体之间的化学反应。举例来说，环绕衬底的周边部分例如反应器壁或反应器盖体例如顶盖被加热到某一温度。如此一来，当整个反应器被加热且反应器被加热到的温度维持不变时，工艺可顺利地进行。然而，反应器的特定部分的温度可能在高温工艺中不受控制。在这种情况下，整个反应器的温度平衡可能被破坏，且因此工艺可重复性可能劣化。举例来说，当衬底支撑件的温度为500℃或高于500℃时，面对衬底支撑件的气体供应装置例如喷头的实际温度可能高于250℃，从而高于200℃的设定温度。此外，当温度得不到适当控制时，可发生呈下列形式的二次损坏：在工人因高温而被灼伤的情况下可能发生的安全问题、由主要部件例如阀门、计量器等的热冲击所致的故障、由密封构件例如O形环的硬化所致的腔室泄漏、所沉积薄膜的品质因外部空气的引入而劣化的问题等。发明内容一个或多个实施例包括一种用于控制反应器的上部部分、详细来说气体供应装置例如喷头的温度的装置。一个或多个实施例包括一种具有提高的冷却效率的冷却装置。其他方面将在以下说明中部分地阐述，且部分地，通过本说明将显而易见，或者可通过实践所呈现的实施例而获悉。根据一个或多个实施例，一种冷却装置包括：第一分隔壁；第二分隔壁，环绕所述第一分隔壁；第三分隔壁，环绕所述第二分隔壁；以及分隔件，将所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间的空间分离成第一区域及第二区域，且将所述第二分隔壁与所述第一分隔壁之间的空间分离成第三区域及第四区域，其中所述分隔件被配置成将所述第一区域与所述第三区域彼此连接且将所述第二区域与所述第四区域彼此连接。所述分隔件可包括本体、第一通道及第二通道，所述第一区域与所述第三区域可通过所述分隔件的所述第一通道连接到彼此，所述第二区域与所述第四区域可通过所述分隔件的所述第二通道连接到彼此，且所述第一通道与所述第四通道可不彼此交会。所述第一通道可处于所述分隔件的上部部分中，且所述第二通道可处于所述分隔件的下部部分中。所述分隔件可包括：本体；第一构件，位于所述分隔件的上部部分中且位于所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间；第二构件，位于所述分隔件的所述上部部分中且位于所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间；第三构件，位于所述分隔件的下部部分中且位于所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间；第四构件，位于所述分隔件的所述下部部分中且位于所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间；第一通道，由所述第一构件及所述第二构件形成；以及第二通道，由所述第三构件及所述第四构件形成，其中所述第一区域与所述第三区域通过所述第一通道连接到彼此，所述第二区域与所述第四区域通过所述第二通道连接到彼此，且所述第一通道与所述第二通道不彼此交会。所述第一构件、所述第二构件、所述第三构件及所述第四构件中的每一者的一个表面可接触所述第二分隔壁。所述第一构件及所述第三构件可接触所述第三分隔壁，且所述第二构件及所述第四构件可接触所述第一分隔壁。所述第一构件、所述第二构件、所述第三构件及所述第四构件可具有相同的高度，且所述第一通道与所述第二通道各自可具有相同的均匀的宽度。所述冷却装置还可包括用于引入冷却剂的入口。当所述入口位于所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间时，所述分隔件可使在所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间沿顺时针方向流动的所述冷却剂继续在所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间沿顺时针方向流动，且所述分隔件可使在所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间沿逆时针方向流动的所述冷却剂继续在所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间沿逆时针方向流动。当所述入口位于所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间时，所述分隔件可使在所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间沿顺时针方向流动的所述冷却剂继续在所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间沿顺时针方向流动，且所述分隔件可使在所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间沿逆时针方向流动的所述冷却剂继续在所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间沿逆时针方向流动。所述冷却装置还可包括排列在所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间或所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间的一个或多个凹槽。根据一个或多个实施例，一种冷却装置包括：至少一个入口；流体通道，冷却剂经过所述流体通道进行循环，所述冷却剂是经过至少一个入口被引入；分隔壁，将所述流体通道分离成第一区域及第二区域；以及分隔件，穿透所述分隔壁且跨越所述第一区域及所述第二区域延伸，其中所述至少一个入口将所述冷却剂引入到所述第一区域中，在所述第一区域中形成所述冷却剂的在不同的方向上流动的两个流，且所述第一区域中所述冷却剂的在不同的方向上流动的所述两个流通过所述分隔件被引入到所述第二区域中而不彼此冲突或混合。所述分隔件可使所述第一区域中沿顺时针方向流动的所述冷却剂继续在所述第二区域中沿顺时针方向流动，且所述分隔件可使所述第一区域中沿逆时针方向流动的所述冷却剂继续在所述第二区域中沿逆时针方向流动。根据一个或多个实施例，一种冷却装置包括：第一分隔壁；第二分隔壁，环绕所述第一分隔壁；第三分隔壁，环绕所述第二分隔壁；以及分隔件，将所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间的空间分离成第一区域及第二区域，且将所述第二分隔壁与所述第一分隔壁之间的空间分离成第三区域及第四区域，其中所述分隔件被配置成将所述第一区域与所述第三区域彼此连接。所述分隔件可包括本体及通道，且所述第一区域与所述第三区域通过所述分隔件的所述通道连接到彼此。所述分隔件可包括：本体；第一构件，位于所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间；第二构件，位于所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间；以及通道，由所述第一构件及所述第二构件形成，其中所述第一区域与所述第三区域通过所述通道连接到彼此。所述第一构件及所述第二构件中的每一者的一个表面可接触所述第二分隔壁。所述第一构件可接触所述第三分隔壁，且所述第二构件可接触所述第一分隔壁。所述第一构件及所述第二构件可具有相同的高度，且所述通道可具有均匀的宽度。当所述第一区域中的所述冷却剂的流动方向为顺时针方向时，所述分隔件可使所述第一区域中沿顺时针方向流动的所述冷却剂继续在所述第三区域中沿顺时针方向流动。当所述第一区域中的所述冷却剂的流动方向为逆时针方向时，所述分隔件可使所述第一区域中沿逆时针方向流动的所述冷却剂继续在所述第三区域中沿逆时针方向流动。根据一个或多个实施例，可提供一种包括上述冷却装置的气体供应装置。根据一个或多个实施例，一种衬底处理设备包括：腔室，具有被顶盖及外壁环绕的内部空间；至少一个反应器，位于所述顶盖中且包括气体供应装置；至少一个衬底支撑件，位于所述腔室的壁上且面对所述反应器；反应空间，形成在所述反应器与所述衬底支撑件之间；以及冷却装置，设置在所述反应器之上或者所述气体供应装置之上。附图说明结合附图阅读实施例的下述说明，这些和或其他方面将变得显而易见且更容易理解，在附图中：图1是根据实施例的冷却装置的示意性俯视图。图2是根据另一个实施例的冷却装置的示意性俯视图。图3是图1所示冷却装置的经修改实例的示意性俯视图。图4A是用于图1及图3所示冷却装置中的分隔件的透视图，且图4B示出所述分隔件设置在流体通道中。图5A到图5D是用于图2所示冷却装置中的分隔件在不同的方向上的透视图。图6A及图6B是用于图2所示冷却装置中的分隔件的透视图，其示出本体、第一通道、第二通道与分隔壁的排列关系。图7A及图7B是根据其他实施例的冷却装置的示意性俯视图。图8A是用于图7A及图7B所示冷却装置中的分隔件的透视图，且图8B示出图7A及图7B所示分隔件设置在流体通道中。图9A-1到图9A-3及图9B分别是根据另一个实施例的冷却装置的外观图及透视图，且图9C示出冷却装置中的冷却剂流动路径。图10A及图10B示意性地示出图9A-1到图9A-3所示冷却装置的盖体。图11是图9A-1到图9A-3所示冷却装置的剖视图。图12A及图12B是图9A-1到图9A-3所示冷却装置在由盖体覆盖之前的透视图。图13A及图13B是示出根据实施例的在冷却装置中流动的冷却剂的各种流动方向的示意性俯视图。图14A及图14B是根据其他实施例的冷却装置的示意性俯视图。图15A及图15B是根据其他实施例的冷却装置的示意性俯视图。图16是根据另一个实施例的包括冷却装置的衬底处理设备的示意性剖视图。具体实施方式提供实施例以向本发明概念所属领域的一般技术人员进一步全面解释本发明概念。然而，本发明概念不限于此，且应理解，在不背离以上权利要求的精神及范围的条件下，可在形式及细节上对本发明作出各种改变。即，关于特定结构或功能的说明可仅为了解释本发明概念的实施例而呈现。本说明书中使用的术语用于解释具体实施例，而不是用于限定本发明概念。因此，除非在上下文中另外明确规定，否则本说明书中的单数表达也包括复数表达。另外，例如“包括comprise”和或“包括comprising”等术语可被解释为表示某一特性、数量、步骤、操作、构成元件或其组合，但不可被解释为排除一个或多个其他特性、数量、步骤、操作、构成元件或其组合的存在或添加的可能性。在本说明书中，例如“第一”及“第二”等术语在本文中仅用于阐述各种构件、部件、区域、层和或部分，但构成元件不受这些术语的限制。显而易见的是，构件、部件、区域、层和或部分不受这些术语的限制。这些术语仅用于区分一个构成元件与另一个构成元件的目的。因此，在不背离本发明概念的正确范围的条件下，第一构件、部件、区域、层或部分可指第二构件、部件、区域、层或部分。以下，参照附图详细阐述本发明概念的这些实施例。在附图中，所示形状可根据例如制造技术和或公差进行修改。因此，本发明概念的实施例可不被解释为仅限于本说明书中所阐述的部件的特定形状，且可包括例如在制造期间产生的形状的变化。图1是根据实施例的冷却装置的示意性俯视图。参照图1，根据本实施例的冷却装置可包括第一分隔壁100、环绕第一分隔壁100的第二分隔壁200、环绕第二分隔壁200的第三分隔壁300、分隔件400a、入口500以及出口600。流体通道可由第一分隔壁100及第三分隔壁300形成。第二分隔壁200设置在第一分隔壁100与第三分隔壁300之间，以将流体通道分离成两个区域，即，内部区域18及外部区域19。在所示实施例中，内部区域18可由第一分隔壁100及第二分隔壁200形成，且外部区域19可由第二分隔壁200及第三分隔壁300形成。入口500可排列在第二分隔壁200与第三分隔壁300之间。入口500可将冷却剂引入到第二分隔壁200与第三分隔壁300之间，即，引入到外部区域19中，且可界定外部区域19中冷却剂的在不同的方向上流动的两个流。由于沉积工艺一般对温度敏感，因此气体供应装置图中未示出的温度不规则性可对沉积工艺产生影响。因此，如图1所示，入口500可界定外部区域19中冷却剂的在不同的方向例如，顺时针方向及逆时针方向上流动的两个流。因此，可防止气体供应装置的左侧与右侧之间的冷却不平衡，且可确保温度均匀性。分隔件400a可排列在流体通道的一个表面上，以将第二分隔壁200与第三分隔壁300之间的空间，即，外部区域19分离成第一区域A及第二区域B，且将第二分隔壁200与第一分隔壁100之间的空间，即，内部区域18分离成第三区域C及第四区域D。在这种情况下，通过分隔件400a将外部区域19分离成第一区域A及第二区域B并不意味着将外部区域19完全分离成两个独立区域，而是将外部区域19的一部分分离成第一区域A及第二区域B。换句话说，尽管外部区域19的第二区域B在冷却装置的一部分中与第一区域A分隔开，但其可在外部区域19的另一部分中连接到第一区域。举例来说，参照图1，尽管外部区域19在冷却装置的一部分中在附图的上部部分中被分隔件400a分离成第一区域A及第二区域B，但第一区域A及第二区域B可在冷却装置的另一部分中在附图的下部部分中连接到彼此。如此一来，在本说明书通篇中，表达“分离成两个区域”并不意味着将空间分离成两个完全独立的区域。在所示实施例中，分隔件400a可被配置成通过穿透第二分隔壁200而在第三分隔壁300与第一分隔壁100之间延伸。因此，分隔件400a可将外部区域19分离成第一区域A及第二区域B，且将内部区域18分离成第三区域C及第四区域D。分隔件400a可被配置成将第一区域A与第三区域C彼此连接且将第二区域B与第四区域D彼此连接。因此，分隔件400a可引导流体通道的外部区域19中的冷却剂流向内部区域18，或引导流体通道的内部区域18中的冷却剂流向外部区域19。在所示实施例中，分隔件400a可被配置成将第一区域A与第三区域C彼此连接，从而引导第一区域A中的冷却剂流向第三区域C。分隔件400a可改变冷却剂沿着流体通道流动的流动方向。举例来说，如图1所示，冷却剂在外部区域19的第一区域A中顺时针流动的流动方向可通过分隔件400a改变为内部区域18的第三区域C中的逆时针方向。同样地，冷却剂在外部区域19的第二区域B中逆时针流动的流动方向可通过分隔件400a改变为内部区域18的第四区域D中的顺时针方向。如此一来，分隔件400a可引导外部区域19中的冷却剂的两个流在内部区域18中沿不同的方向流动。在所示实施例中，外部区域19中冷却剂的在不同的方向顺时针方向、逆时针方向上流动的这两个流也可在内部区域18中沿不同的方向逆时针方向、顺时针方向流动。外部区域19中冷却剂的在不同的方向上流动的这两个流可通过分隔件400a在内部区域18中流动，而不存在它们之间的冲突或混合。换句话说，分隔件400a可防止外部区域19中冷却剂的在不同的方向上流动的这两个流彼此冲突。详细来说，在第一区域A中流动的冷却剂可通过分隔件400a在第三区域C中流动，而不在第二区域B或第四区域D中流动。举例来说，尽管分隔件400a可具有分隔壁结构，但作为另外一种选择，分隔件400a可具有如图4A及图4B所示的结构。在选择性或附加实例中，一个或多个凹槽图中未示出可排列在第一分隔壁100与第二分隔壁200之间和或第二分隔壁200与第三分隔壁300之间。凹槽可界定冷却剂的流动方向。此外，凹槽可通过增加冷却剂与冷却装置之间的接触面积来提高冷却效率。在内部区域18中流动的冷却剂可通过排列在第一分隔壁100与第二分隔壁200之间的出口600排出。图2是根据另一个实施例的冷却装置的示意性俯视图。根据本实施例的冷却装置可以是根据上述实施例的冷却装置的修改形式。因此可省略这些实施例之间的赘述。参照图2，冷却装置可包括第一分隔壁100、环绕第一分隔壁100的第二分隔壁200、环绕第二分隔壁200的第三分隔壁300、分隔件400b、入口500、以及出口600。分隔件400b可将第二分隔壁200与第三分隔壁300之间的空间分离成第一区域A及第二区域B，且将第二分隔壁200与第一分隔壁100之间的空间分离成第三区域C及第四区域D。在所示实施例中，分隔件400b被配置成通过穿透第二分隔壁200而在第三分隔壁300与第一分隔壁100之间延伸。分隔件400b可将第一区域A与第三区域C彼此连接且将第二区域B与第四区域D彼此连接。与其中第一区域A及第三区域C相对于分隔件400a位于同一侧的图1不同，在图2中，第一区域A与第三区域C相对于分隔件400b位于不同侧，且第二区域B与第四区域D也相对于分隔件400b位于不同侧。由于上述配置，与图1所示分隔件400a不同，图2所示分隔件400b可不改变冷却剂沿着流体通道流动的流动方向。举例来说，如图2所示，在外部区域19中沿顺时针方向流动的冷却剂通过分隔件400b在内部区域18中沿顺时针方向连续地流动，且在外部区域19中沿逆时针方向流动的冷却剂通过分隔件400b在内部区域18中沿逆时针方向连续地流动。在图1所示冷却装置中，在外部区域19中流动的冷却剂与分隔件400a冲突，而且冷却剂的流动方向通过分隔件400a而在内部区域18中改变。举例来说，如图1所示，在外部区域19中沿顺时针方向流动的冷却剂通过分隔件400a在内部区域18中沿逆时针方向流动。如此一来，当冷却剂与分隔件400a冲突且流动方向改变时，冷却剂的流动速度减小且冷却效率降低。此外，冷却剂循环速度可能得不到有效控制。因此，期望通过像图2所示分隔件400b那样配置冷却装置的分隔件来维持冷却剂的流动方向。图2所示分隔件400b的结构将参照图5A到图5D来进行详细阐述。图3是图1所示冷却装置的经修改实例的示意性俯视图。与图1不同，在图3所示冷却装置中，入口500排列在第一分隔壁100与第二分隔壁200之间，且出口600排列在第二分隔壁200与第三分隔壁300之间。与图1一样，分隔件400a可将第一区域A与第三区域C彼此连接且将第二区域B与第四区域D彼此连接。冷却剂可通过入口500被引入到流体通道的内部区域18中。引入的冷却剂被分离成冷却剂的沿着第一分隔壁100及第二分隔壁200在不同的方向上流动的两个流。冷却剂的这两个流可被引入到外部区域19中，而不因分隔件400a彼此冲突或混合。详细来说，在第三区域C中流动的冷却剂通过分隔件400a被引入到第一区域A中，且在第四区域D中流动的冷却剂通过分隔件400a被引入到第二区域B中。引入到外部区域19中的冷却剂可通过出口600排出。图4A是用于图1及图3所示冷却装置中的分隔件400a的透视图，且图4B示出图4A所示分隔件400a设置在流体通道中。分隔件400a可包括本体401a、第一通道402a及第二通道403a。第一通道402a及第二通道403a位于本体401a的彼此面对的相对表面，即，左表面及右表面处，且可以是形成在本体401a中的凹入部分。第一通道402a及第二通道403a的结构不限于图4A及图4B所示图示。举例来说，尽管第一通道402a及第二通道403a被示出为具有平坦表面的凹入部分，但作为另外一种选择，它们可以是具有圆形表面的凹入部分。参照图4B，第一区域A与第三区域C可通过分隔件400a的第一通道402a连接到彼此，且第二区域B与第四区域D可通过分隔件400a的第二通道403a连接到彼此。第一通道402a与第二通道403a可不彼此交会。因此，分隔件400a可防止冷却剂的在不同的方向上流动的这两个流彼此冲突。详细来说，在图1及图4B中，外部区域19中冷却剂的在不同的方向上流动的这两个流可被引入到内部区域18中，而不因第一通道402a及第二通道403a而彼此冲突或混合，且可在内部区域18中沿不同的方向流动，并且可通过出口600排出。图4B示出冷却剂从外部区域19通过第一通道402a及第二通道403a被引入到内部区域18中。分隔件400a可跨越外部区域19及内部区域18排列。在所示实施例中，分隔件400a通过穿透第二分隔壁200而从第三分隔壁300延伸到第一分隔壁100。本体401a与第二分隔壁200一起可防止在不同的方向上流动的冷却剂流彼此混合。图5A到图5D是从不同的方向看去的用于图2所示冷却装置中的分隔件400b的透视图。图5A是从右上方看去的用于图2所示冷却装置中的分隔件400b的透视图。图5B是从左上方看去的用于图2所示冷却装置中的分隔件400b的透视图。图5C是从左下方看去的用于图2所示冷却装置中的分隔件400b的透视图。分隔件400b可包括本体401b、第一构件111、第二构件222、第三构件333、第四构件444、第一通道402b及第二通道403b。第一构件111到第四构件444可单独制造且附装到本体401b，或者可与本体401b一体地形成。第一通道402b可由第一构件111及第二构件222形成。第二通道403b可由第三构件333及第四构件444形成。第一通道402b被配置成将第一区域A与第三区域C彼此连接，且第二通道403b被配置成将第二区域B与第四区域D彼此连接。换句话说，第一区域A与第三区域C可通过分隔件400b的第一通道402b连接到彼此，且第二区域B与第四区域D可通过分隔件400b的第二通道403b连接到彼此。第一通道402b与第二通道403b可不彼此交会。举例来说，第一通道402b及第二通道403b可位于本体401b的彼此面对的相对表面，即，上表面及下表面处。详细来说，如图所示，第一构件111及第二构件222设置在分隔件400b的上部部分中。因此，第一通道402b可形成在分隔件400b的上部部分中。第三构件333及第四构件444设置在分隔件400b的下部部分中。因此，第二通道403b可形成在分隔件400b的下部部分中。由此，分隔件400b可防止冷却剂的在不同的方向上流动的这两个流彼此冲突。第一通道402b及第二通道403b的结构不限于图5A到图5D所示图示。举例来说，第一通道402b及第二通道403b可具有倾斜结构。参照图2及图5A到图5D，外部区域19中冷却剂的在不同的方向上流动的这两个流中的一个可通过分隔件400b的上部部分中的第一通道402b被引入到内部区域18中，且另一个冷却剂流可通过分隔件400b的下部部分中的第二通道403b被引入到内部区域18中。换句话说，外部区域19中冷却剂的在不同的方向上流动的这两个流可通过分隔件400b的上部部分及下部部分被引入到内部区域18中，而不彼此冲突或混合，也可在内部区域18中沿不同的方向流动，且可通过出口600排出。图5D示出冷却剂从外部区域19通过第一通道402b及第二通道403b被引入到内部区域18中。图6A及图6B是用于图2所示冷却装置中的分隔件400b的透视图，其示出分隔件400b的本体401b、第一构件111、第二构件222、第三构件333、第四构件444、第一通道402b、第二通道403b以及第一分隔壁100到第三分隔壁300之间的相互排列关系。参照图2及图6A及图6B，本体401b可跨越外部区域19及内部区域18排列。举例来说，本体401b可通过穿透第二分隔壁200而从第三分隔壁300延伸到第一分隔壁100。形成在分隔件400b的上部部分中的第一构件111可位于第二分隔壁200与第三分隔壁300之间。形成在分隔件400b的上部部分中的第二构件222可位于第一分隔壁100与第二分隔壁200之间。形成在分隔件400b的下部部分中的第三构件333可位于第二分隔壁200与第三分隔壁300之间。形成在分隔件400b的下部部分中的第四构件444可位于第一分隔壁100与第二分隔壁200之间。为防止第一区域A中的冷却剂与流过第二通道403b的冷却剂混合且防止第二区域B中的冷却剂与流过第一通道402b的冷却剂混合，第二构件222与第三构件333之间的区域由图5A中的参考字母X表示及第一构件111与第四构件444之间的区域由图5B中的参考字母Y表示应被阻挡。为此，第二分隔壁200可被排列成覆盖区域X及区域Y。为完全阻挡区域X及区域Y，区域X的宽度x及区域Y的宽度y可小于或等于第二分隔壁200的厚度w3。在这种情况下，第一构件111、第二构件222、第三构件333及第四构件444中的每一者的一个表面可与第二分隔壁200接触。详细来说，第二分隔壁200可接触第一区域A中的第三构件333的一个表面、第二区域B中的第一构件111的一个表面、第三区域C中的第四构件444的一个表面及第四区域D中的第二构件222的一个表面。因此，分隔件400b与第二分隔壁200一起可防止在不同的方向上流动的冷却剂流彼此混合。分隔件400b的长度l可小于或等于第一分隔壁100与第三分隔壁300之间的距离。在一些实施例中，如图6A所示，分隔件400b的长度l可相同于第一分隔壁100与第三分隔壁300之间的距离。在这种情况下，第一构件111及第三构件333可接触第三分隔壁300，且第二构件222及第四构件444可接触第一分隔壁100。因此，分隔件400b与第一分隔壁100及第三分隔壁300一起可防止在内部区域18及外部区域19中沿不同的方向流动的冷却剂流彼此混合。举例来说，可防止在第一区域A中流动的冷却剂通过分隔件400b的侧表面流向第二区域B，且可防止在第三区域C中流动的冷却剂流向第四区域D。第一构件111和或第二构件222可接触冷却装置的盖体图中未示出。因此，分隔件400b与冷却装置的盖体一起可防止在内部区域18及外部区域19中沿不同的方向流动的冷却剂流彼此混合。举例来说，可防止在第一区域A中流动的冷却剂通过分隔件400b的上部部分流向第二区域B，且可防止在第三区域C中流动的冷却剂通过分隔件400b的上部部分流向第四区域D。流体的连续性方程被示出为可从质量守恒定律中得出的下列方程1。从连续性方程可以看到，流速随着截面积增大而减小，且流速随着截面积减小而增大。[方程1]Q＝A1×V1＝A2×V2，其中"Q"表示流率，"A1"表示第一点处的截面积，"V1"表示第一点处的流速，"A2"表示第二点处的截面积，且"V2"表示第二点处的流速。在图6A所示实施例中，第三分隔壁300与第二分隔壁200之间的距离w1可相同于第二分隔壁200与第一分隔壁100之间的距离w2。第一分隔壁100、第二分隔壁200及第三分隔壁300的高度可相同于"h"。在这种情况下，由于外部区域19的截面积w1×h与内部区域18的截面积w2×h相同，因此根据连续性方程，外部区域19中的流速"vo"可相同于内部区域18中的流速"vi"∵vovi＝w2×hw1×h＝1。因此，可更均匀地冷却反应器的上部部分。在图6B所示实施例中，第一构件111的高度"h1"、第二构件222的高度"h2"、第三构件333的高度"h3"及第四构件444的高度"h4"可相同。此外，第一通道402b可具有均匀的宽度，即，w4＝w4'，且第二通道可具有均匀的宽度，即，w5＝w5'。第一通道402b的宽度"w4"与第二通道的宽度"w5"可相同。在这种情况下，根据流体的连续性方程，冷却剂在穿过分隔件400b之前即，在第一区域A及第二区域B中的流速"v1"与冷却剂在穿过分隔件400b之后即，在第三区域C及第四区域D中的流速"v2"可相同∵v1v2＝h2×w4'h1×w4＝h3×w5h4×w5'＝1。因此，可更容易控制冷却剂循环速度。图7A及图7B是根据其他实施例的冷却装置的示意性俯视图。根据本实施例的冷却装置可以是根据上述实施例的冷却装置的修改形式，且因此省略了这些实施例之间的赘述。参照图7A，冷却装置可包括第一分隔壁100、环绕第一分隔壁100的第二分隔壁200、环绕第二分隔壁200的第三分隔壁300、分隔件400c、入口500及出口600。分隔件400c可将第二分隔壁200与第三分隔壁300之间的空间分离成第一区域A及第二区域B，且将第二分隔壁200与第一分隔壁100之间的空间分离成第三区域C及第四区域D。在所示实施例中，分隔件400c被配置成通过穿透第二分隔壁200而在第三分隔壁300与第一分隔壁100之间延伸。与图2所示分隔件400b不同，分隔件400c可将第一区域A与第三区域C彼此连接。由于上述配置，图7A所示分隔件400c可不改变冷却剂沿着流体通道流动的方向。举例来说，如图7A所示，在外部区域19中沿顺时针方向流动的冷却剂通过分隔件400c从第一区域A被引入到第三区域C中且还在内部区域18中沿顺时针方向流动。因此，当冷却剂的流动方向维持不变时，冷却剂循环速度可维持不变。图7A所示分隔件400c的结构参照图8A及图8B进行详细阐述。图7B示意性地示出图7A所示冷却装置的经修改实例。与图7A不同，图7B所示冷却装置可包括两个入口500a及500b、两个出口600a及600b、以及两个分隔件400c及400c'。如图7B所示，通过这两个入口500a及500b引入的冷却剂的两个流可通过分隔件400c及400c'被引入到内部区域18中，而不彼此冲突或混合，且可通过这两个出口600a及600b排出。图8A是用于图7A及图7B所示冷却装置的分隔件400c的透视图。图8B示出图7A及图7B所示分隔件400c设置在流体通道中。根据本实施例的分隔件400c可以是根据上述实施例的分隔件的修改形式。因此省略了这些实施例之间的赘述。分隔件400c可包括本体401c、第一构件405c及第二构件406c。第一构件405c与第二构件406c可形成通道402c。第一构件405c及第二构件406c可单独制造且附装到本体401c，或者可与本体401c一体地形成。参照图8B，第一区域A与第三区域C可通过分隔件400c的通道402c连接。本体401c可跨越外部区域19及内部区域18排列。在所示实施例中，本体401c可通过穿透第二分隔壁200而从第三分隔壁300延伸到第一分隔壁100。第一构件405c可位于第二分隔壁200与第三分隔壁300之间。第二构件406c可位于第一分隔壁100与第二分隔壁200之间。为防止在不同的方向上流动的冷却剂流彼此混合，例如，为防止第一区域A的冷却剂与第四区域D的冷却剂混合且防止第一区域A的冷却剂与第二区域B的冷却剂混合，第一构件405c及第二构件406c中的每一者的一个表面可与第二分隔壁200接触。详细来说，如图8B所示，第二分隔壁200可接触第四区域D中的第二构件406c的一个表面，且接触第二区域B中的第一构件405c的一个表面。因此，分隔件400c与第二分隔壁200一起可防止在不同的方向上流动的冷却剂流彼此混合。在一些实施例中，第一构件405c的高度h11与第二构件406c的高度h22可相同。此外，通道402c可具有均匀的宽度Wc。在这种情况下，根据连续性方程，冷却剂在穿过分隔件400c之前的流速"v1"与冷却剂在穿过分隔件400c之后的流速"v2"可相同∵v1v2＝h22×Wch11×Wc。因此，可更容易控制冷却剂循环速度。图9A-1到图9A-3及图9B分别是根据另一个实施例的冷却装置2的外观图及透视图，且图9C示出冷却装置2中的冷却剂流动路径。参照图9A-1到图9A-3，冷却装置2可包括冷却剂流过的流体通道9及覆盖流体通道9的盖体10。冷却剂可以是流体，特别是气体。反应气体入口3可穿透冷却装置2。一个或多个环形凹槽11可以某一间隔排列在流体通道9中。凹槽11可界定冷却剂的流动方向。另外，所述一个或多个凹槽11可增加冷却剂与流体通道9之间的接触面积，且因此可更有效地冷却反应器4的上部部分，具体来说，气体供应装置5参见图16。盖体10可包括用于向流体通道9供应冷却剂例如，空气的入口12。入口12可连接到冷却剂输入装置14。当使用的冷却剂是气体时，冷却剂输入装置14可以是风扇或与其对应的装置。在另一个实施例中，当使用液体冷却剂时，冷却剂输入装置14可以是液体供应器。此外，盖体10可包括被配置成排出冷却剂的出口13。在这种情况下，冷却剂可在沿着流体通道9的凹槽11冷却反应器4之后通过出口13排出。出口13可连接到冷却剂排出器图中未示出。冷却剂排出器可以是风扇或与其对应的装置。在选择性或附加实例中，沿相反的方向旋转的连接到入口12的风扇及连接到出口13的风扇可进一步有利于冷却剂在冷却装置2中的流动且可有效地控制冷却效率。举例来说，当沿相反的方向旋转时，连接到入口12的风扇及连接到出口13的风扇可使冷却剂在冷却装置2中的流动成为层流。因此，可更有效地控制反应器的上部部分的冷却效率。在选择性或附加实例中，连接到入口12的风扇及连接到出口13的风扇二者具有相同的转速可进一步有利于冷却剂在冷却装置2中的流动。作为另外一种选择，通过使连接到出口13的风扇的转速快于连接到入口12的风扇的转速，可加快供应到流体通道9的冷却剂的流出速度，且因此可进一步有效地控制反应器的上部部分的冷却效率。相反，通过使连接到出口13的风扇的转速慢于连接到入口12的风扇的转速，可延长冷却剂在流体通道中的停留时间。因此，可控制冷却效率，以使得反应器的上部部分的温度维持恒定。冷却剂输入装置14及冷却剂排出器可分别直接连接到入口12及出口13。在另一个实施例中，冷却剂输入装置14及冷却剂排出器可分别与入口12及出口13间隔开且可通过它们之间的冷却剂输送管线连接。绝缘体9-1进一步排列在流体通道9之上且因此可避免在高温工艺中热量从流体通道9传递到工人的危险。如上文或下文所述的分隔件20可排列在流体通道9的一个表面上。在所示实施例中，分隔件20可以是图5A到图5D所示的分隔件400b。图9B是图7A所示冷却装置2的透视图，其示出冷却装置2的内部。根据图9B，冷却装置2的盖体10可在其一个表面上包括冷却剂导板15、第一分隔壁16及第二分隔壁17中的至少一者。冷却剂导板15可被配置成引导通过入口12引入的冷却剂流向流体通道9的凹槽11且界定冷却剂在流体通道9中流动的方向。参照图9C，可以看到，冷却剂被供应到流体通道9以通过冷却剂导板15在不同的方向上流动。如上所述，在不同的方向上流动的冷却剂流可防止气体供应装置5被不均匀地冷却。第一分隔壁16可被配置成防止在两个方向上引入的冷却剂混合。在所示实施例中，第一分隔壁16可排列在两个入口12之间且可防止通过这两个入口12在两个方向上引入的冷却剂彼此混合。第二分隔壁17可将流体通道9分离成两个区域，即，内部区域18及外部区域19。分隔件20可排列在流体通道9的一个表面上。在所示实施例中，分隔件20可以是图5A到图5D所示的分隔件400b。在这种情况下，在流体通道9的外部区域19中沿着凹槽11流动的冷却剂可通过分隔件20被引导到内部区域18。具体来说，由于分隔件20由两个部件上部部件及下部部件构成，因此如图5A到图5D所示，外部区域19中冷却剂的在不同的方向上流动的这两个流可被引入到内部区域18中，而不彼此冲突。沿着凹槽11在内部区域18中流动的冷却剂可通过出口13排出到外部。图10A及图10B示意性地示出图9A-1到图9A-3所示冷却装置2的盖体10。图10A是盖体10的前侧视图，且图10B是盖体10的后侧视图。参照图10A及图10B，盖体10可包括入口12、出口13、冷却剂导板15、第一分隔壁16及第二分隔壁17。尽管图10A及图10B示出两个入口及一个出口分别被排列为入口12及出口13，但本公开不限于此。举例来说，一个入口及两个出口可分别被排列为入口12及出口13。冷却剂导板15排列在入口12周围以引导通过入口12引入的冷却剂流向流体通道9，且可被配置成界定冷却剂在流体通道9中流动的方向。如上所述，第一分隔壁16可排列在这两个入口12之间且可防止通过这两个入口12在两个方向上引入的冷却剂彼此混合。如图10B所示，第二分隔壁17可形成空的空间Z以使分隔件20能够跨越内部区域18及外部区域19延伸。图11是包括图9C所示冷却装置2的气体供应装置5的剖视图。参照图11，可以看到，流体通道9被冷却装置2的盖体10的第二分隔壁17分离成内部区域18及外部区域19。冷却装置2可设置在气体供应装置5之上。由于上文已经就图9A-1到图9A-3、图10A及图10B呈现了关于图11所示冷却装置2的每一部件的详细说明，因此省略了这些说明。图12A及图12B是图11所示冷却装置2在由盖体覆盖之前的透视图。图12A示出在提供分隔件20之前的冷却装置2。图12B示出分隔件20设置在流体通道9中。参照图12A及图12B，一个或多个环形凹槽以某一间隔排列在流体通道9中。由于上文已经就图9A-1到图9A-3、图10A及图10B呈现了关于图12A及图12B所示冷却装置2的每一部件的详细说明，因此省略了这些说明。根据本公开的其他实施例，考虑到冷却效率及不均匀温度分布，冷却剂导板、分隔壁、分隔件、入口、出口等的数量及排列形式可以是多样化的，且因此可提高冷却效率。就这一点来说，参照图13A到图15B提供详细说明。图13A及图13B是示出根据实施例的冷却剂在冷却装置中流动的各种流动方向的示意性俯视图。根据图13A及图13B，可通过改变冷却剂、冷却剂导板15、第一分隔壁16、分隔件20、入口12及出口13的数量和或排列形式来实施各种冷却剂流。作为第一实例，如图13A所示，冷却装置2可包括图5A到图5D所示分隔件400b。在这个实例中，冷却剂首先通过这两个入口12被引入到流体通道9的内部区域18中。冷却剂通过冷却剂导板15和或第一分隔壁16沿着内部区域18的凹槽在不同的方向上流动。在内部区域18中沿顺时针方向流动的冷却剂通过穿过分隔件400b的第二通道403b而在外部区域19中沿顺时针方向流动参见图5A。在内部区域18中沿逆时针方向流动的冷却剂通过穿过分隔件400b的第一通道402b而在外部区域19中沿逆时针方向流动。在外部区域19中沿不同的方向流动的冷却剂流通过出口13排出。根据本实例，可防止气体供应装置的左侧与右侧之间的冷却不平衡，且可确保温度均匀性。此外，如上所述，由于冷却剂的流动方向不因分隔件400b而改变，因此冷却剂的流动速度可不减小。因此，可有效地控制冷却循环。作为第二实例，如图13B所示，冷却装置2可包括图4A及图4B所示分隔件400a或分隔壁型分隔件。在这个实例中，冷却剂首先通过这两个入口12被引入到流体通道9的外部区域19中。冷却剂通过冷却剂导板15和或第一分隔壁16沿着外部区域19的凹槽在不同的方向上流动。在外部区域19中流动的冷却剂在通过分隔件400a沿着内部区域18的凹槽流动之后通过出口13排出参见图4A及图4B。图14A及图14B是根据其他实施例的冷却装置的示意性俯视图。根据这些实施例的冷却装置可以是根据上述实施例的冷却装置的修改形式。因此省略了这些实施例之间的赘述。参照图14A及图14B，冷却装置可包括第一分隔壁16、第二分隔壁17、第三分隔壁25、第一分隔件20及第二分隔件24。第三分隔壁25可排列在第二分隔壁17与反应气体入口3之间且可将流体通道9分离成第一内部区域18及第二内部区域26。冷却剂首先通过入口12被引入到流体通道9的外部区域19中。冷却剂通过冷却剂导板15和或第一分隔壁16沿着外部区域19的凹槽在不同的方向上流动。在外部区域19中沿相反的方向流动的冷却剂流通过第一分隔件20被引导成流向第一内部区域18，而不彼此冲突。引入到第一内部区域18中且沿相反的方向流动的冷却剂流通过第二分隔件24被引导流向第二内部区域26，而不彼此冲突，然后通过出口13排出。由于与上述冷却装置相比图14A及图14B所示冷却装置还包括第三分隔壁25及第二分隔件24，因此冷却剂可在流体通道9中再循环一次，且因此反应器的上部部分可更均匀地冷却。如从图14A及图14B可以看到，通过改变分隔件20及分隔壁的数量和或排列形式，可实施各种冷却剂流。因此，可进一步提高反应器的上部部分在高温工艺中的冷却效率。图15A及图15B是根据其他实施例的冷却装置的示意性俯视图。根据这些实施例的冷却装置可以是根据上述实施例的冷却装置的修改形式。因此省略了这些实施例之间的赘述。图15A及图15B所示冷却装置可仅使用入口15及15'以及冷却剂输入装置14及14'而不使用出口13及连接到出口13的冷却剂排出器来使冷却剂循环。详细来说，代替未提供的出口13，通过改变彼此相对的这两个冷却剂输入装置14及14'的旋转方向，例如，风扇的旋转方向，冷却剂可以在外部区域19及内部区域18中循环。换句话说，冷却剂可以通过使用两个风扇中的一个引入且通过另一个风扇排出，从而对反应器的上部部分进行冷却。在选择性或附加实例中，反应器的上部部分可通过周期性地改变这两个风扇的旋转方向循环冷却而得到冷却。本实施例可同样适用于上述冷却装置。图16是根据另一个实施例的包括冷却装置的衬底处理设备的示意性剖视图。本说明书中所阐述的衬底处理设备的实例可包括半导体或显示器衬底的沉积设备，但本公开不限于此。衬底处理设备可以是执行用于形成薄膜的材料的沉积所需的任何设备，或者可指用于均匀地供应用于刻蚀或抛光物体的材料的设备。在下文说明中，为了便于解释，假设衬底处理设备是半导体沉积设备。根据实施例的衬底处理设备可包括腔室1、多个反应器4、气体供应装置5、衬底支撑件6、反应气体入口3、冷却装置2、以及排出装置8。在图16中，腔室1可包括排列在腔室1的上部部分中的顶盖、形成腔室1的侧表面及下表面的外壁、以及位于顶盖与外壁之间的内部空间I。参照图16，反应器4设置在腔室1的上表面上。例如，反应器4可执行原子层沉积atomiclayerdeposition，ALD或化学气相沉积chemicalvapordeposition，CVD。衬底支撑件6可对应于气体供应装置5排列，且可被配置成与气体供应装置5一起形成反应空间R。当衬底支撑件6与气体供应装置5形成开放型的反应空间R，而不彼此不接触时，反应气体可通过连接到内部空间I的排出装置8排出。由于排出装置8，内部空间I可维持低于外部大气的压力状态。排出装置8可以是例如排出泵。在所示实施例中，衬底处理设备具有下端排出结构，但是本公开不限于此。尽管图16示出其中衬底支撑件6与气体供应装置5彼此分离的开放型的反应器4中的每一者，但在另一个实施例中，随着衬底支撑件6或反应器壁上升或下降，衬底支撑件6的周边部分与反应器壁具有面接触及面密封，从而形成反应空间R。如此一来，当反应器壁与反应器壁彼此接触形成封闭型反应空间时，单独的排出装置图中未示出可设置在反应器4中的每一者中，例如设置在每一反应器4的上部部分中。韩国专利第624030号公开了其一个实施例。气体供应装置5可在每一反应器4的反应空间R中面对衬底支撑件6排列在腔室1的顶盖上。气体供应装置5可例如以侧流型总成结构参见韩国专利第624030号或喷头型总成结构来实施。冷却装置2可设置在反应器4中的每一者之上或设置在气体供应装置5之上。在所示实施例中，冷却装置2可以是上述冷却装置中的一者。冷却装置2可单独制造且排列在反应器4中的每一者或气体供应装置5之上，或者冷却装置2可与反应器4中的每一者或与气体供应装置5一体地形成。反应气体入口3可排列在反应器4中的每一者之上。举例来说，反应气体入口3可连接到每一反应器4的气体供应装置5且可将反应气体引入到反应空间R中。在所示实施例中，反应气体入口3通过穿透冷却装置2而连接到气体供应装置5。高频等离子体产生供应设备图中未示出另外排列在反应器4中的每一者之上以在反应空间R中产生等离子体或向反应空间R供应自由基，以使得可在反应空间R中执行等离子体工艺。为概述所述配置中的一些配置，根据实施例的衬底处理设备阐述如下。－衬底处理设备可包括能够控制反应器的上部部分、详细来说气体供应装置例如喷头的温度的冷却装置。－冷却装置可包括被配置成均匀且有效地冷却气体供应装置的分隔件。－分隔件使冷却剂的两个流沿着流体通道9循环，而不会彼此冲突或混合。由于冷却剂流不彼此混合，因此可维持冷却剂循环速度，且因此可提高冷却效率。－图5A到图5D以及图8A及图8B所示分隔件防止不同冷却剂流的混合，且同时使冷却剂流沿着流体通道9循环，同时维持冷却剂的流动方向。因此，可在流体通道9中维持冷却剂循环速度，且可通过使用冷却剂输入装置容易地控制冷却剂循环速度。－可通过使根据本公开的实施例的冷却装置的冷却剂导板、分隔壁、分隔件等的数量和或排列形式多样化来提高冷却效率。－根据本公开，气体供应装置的温度可维持恒定。因此，可增强维护及修理工作期间的稳定性且可提高工艺的再现性。此外，可以防止反应器的部件在高温下的故障。上述公开内容提供了包括冷却装置的衬底处理设备的多个实施例及其代表性的优点。为简洁起见，仅阐述了有限数量的相关特征组合。然而，应理解，任何实例的特征可与任何其他实例的特征进行组合。此外，应理解，这些优点是非限制性的，且特定优点不是，也无需是任何特定实施例的特征。为了清楚地理解本公开，附图的每个部件的形状应被理解为是说明性的。应注意，本公开可被修改成除了所示形状之外的各种形状。应理解，本文阐述的实施例应仅被视为描述性的，而不是为了限制目的。对每一实施例中的特征或方面的说明通常应被视为可用于其他实施例中的其他类似特征或方面。虽然已经参照附图阐述了一个或多个实施例，但所属领域中的一般技术人员将理解，在不背离由以上权利要求界定的精神及范围的条件下，可在形式及细节上对其作出各种改变。

权利要求：1.一种冷却装置，其特征在于，包括：第一分隔壁；第二分隔壁，环绕所述第一分隔壁；第三分隔壁，环绕所述第二分隔壁；以及分隔件，将所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间的空间分离成第一区域及第二区域，且将所述第二分隔壁与所述第一分隔壁之间的空间分离成第三区域及第四区域，其中所述分隔件被配置成将所述第一区域与所述第三区域彼此连接且将所述第二区域与所述第四区域彼此连接。2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述分隔件包括本体、第一通道及第二通道，所述第一区域与所述第三区域通过所述分隔件的所述第一通道连接到彼此，所述第二区域与所述第四区域通过所述分隔件的所述第二通道连接到彼此，且所述第一通道与所述第二通道不彼此交会。3.根据权利要求2所述的冷却装置，其特征在于，所述第一通道处于所述分隔件的上部部分中，且所述第二通道处于所述分隔件的下部部分中。4.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述分隔件包括：本体；第一构件，位于所述分隔件的上部部分中且位于所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间；第二构件，位于所述分隔件的所述上部部分中且位于所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间；第三构件，位于所述分隔件的下部部分中且位于所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间；第四构件，位于所述分隔件的所述下部部分中且位于所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间；第一通道，由所述第一构件及所述第二构件形成；以及第二通道，由所述第三构件及所述第四构件形成，其中所述第一区域与所述第三区域通过所述第一通道连接到彼此，所述第二区域与所述第四区域通过所述第二通道连接到彼此，且所述第一通道与所述第二通道不彼此交会。5.根据权利要求4所述的冷却装置，其特征在于，所述第一构件、所述第二构件、所述第三构件、及所述第四构件中的每一者的一个表面接触所述第二分隔壁。6.根据权利要求4所述的冷却装置，其特征在于，所述第一构件及所述第三构件接触所述第三分隔壁，且所述第二构件及所述第四构件接触所述第一分隔壁。7.根据权利要求4所述的冷却装置，其特征在于，所述第一构件、所述第二构件、所述第三构件及所述第四构件具有相同的高度，且所述第一通道与所述第二通道各自具有相同的均匀的宽度。8.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置还包括用于引入冷却剂的入口，且，当所述入口位于所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间时，所述分隔件使在所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间沿顺时针方向流动的所述冷却剂继续在所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间沿顺时针方向流动，且所述分隔件使在所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间沿逆时针方向流动的所述冷却剂继续在所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间沿逆时针方向流动，且，当所述入口位于所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间时，所述分隔件使在所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间沿顺时针方向流动的所述冷却剂继续在所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间沿顺时针方向流动，且所述分隔件使在所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间沿逆时针方向流动的所述冷却剂继续在所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间沿逆时针方向流动。9.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，还包括排列在所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间或所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间的一个或多个凹槽。10.一种冷却装置，其特征在于，包括：流体通道，冷却剂经过所述流体通道进行循环，所述冷却剂是经过至少一个入口被引入；分隔壁，将所述流体通道分离成第一区域及第二区域；以及分隔件，穿透所述分隔壁且跨越所述第一区域及所述第二区域延伸，其中所述至少一个入口将所述冷却剂引入到所述第一区域中，在所述第一区域中形成所述冷却剂的在不同的方向上流动的两个流，且所述第一区域中所述冷却剂的在不同的方向上流动的所述两个流通过所述分隔件被引入到所述第二区域中而不彼此冲突或混合。11.根据权利要求10所述的冷却装置，其特征在于，所述分隔件使所述第一区域中沿顺时针方向流动的所述冷却剂继续在所述第二区域中沿顺时针方向流动，且所述分隔件使在所述第一区域中沿逆时针方向流动的所述冷却剂继续在所述第二区域中沿逆时针方向流动。12.一种冷却装置，其特征在于，包括：第一分隔壁；第二分隔壁，环绕所述第一分隔壁；第三分隔壁，环绕所述第二分隔壁；以及分隔件，将所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间的空间分离成第一区域及第二区域，且将所述第二分隔壁与所述第一分隔壁之间的空间分离成第三区域及第四区域，其中所述分隔件被配置成将所述第一区域与所述第三区域彼此连接。13.根据权利要求12所述的冷却装置，其特征在于，所述分隔件包括本体及通道，且所述第一区域与所述第三区域通过所述分隔件的所述通道连接到彼此。14.根据权利要求12所述的冷却装置，其特征在于，所述分隔件包括：本体；第一构件，位于所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间；第二构件，位于所述第一分隔壁与所述第二分隔壁之间；以及通道，由所述第一构件及所述第二构件形成，其中所述第一区域与所述第三区域通过所述通道连接到彼此。15.根据权利要求14所述的冷却装置，其特征在于，所述第一构件及所述第二构件中的每一者的一个表面接触所述第二分隔壁。16.根据权利要求14所述的冷却装置，其特征在于，所述第一构件接触所述第三分隔壁，且所述第二构件接触所述第一分隔壁。17.根据权利要求14所述的冷却装置，其特征在于，所述第一构件与所述第二构件具有相同的高度，且所述通道具有均匀的宽度。18.根据权利要求12所述的冷却装置，其特征在于，当所述第一区域中的冷却剂的流动方向为顺时针方向时，所述分隔件使所述第一区域中沿顺时针方向流动的所述冷却剂继续在所述第三区域中沿顺时针方向流动，且，当所述第一区域中的所述冷却剂的流动方向为逆时针方向时，所述分隔件使所述第一区域中沿逆时针方向流动的所述冷却剂继续在所述第三区域中沿逆时针方向流动。19.一种包括冷却装置的气体供应装置，其特征在于，所述冷却装置包括：第一分隔壁；第二分隔壁，环绕所述第一分隔壁；第三分隔壁，环绕所述第二分隔壁；以及分隔件，将所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间的空间分离成第一区域及第二区域，且将所述第二分隔壁与所述第一分隔壁之间的空间分离成第三区域及第四区域，其中所述分隔件被配置成将所述第一区域与所述第三区域彼此连接，或者将所述第一区域与所述第三区域彼此连接且将所述第二区域与所述第四区域彼此连接。20.一种衬底处理设备，其特征在于，包括：腔室，具有被顶盖及外壁环绕的内部空间；至少一个反应器，位于所述顶盖中且包括气体供应装置；至少一个衬底支撑件，位于所述腔室的壁上且面对所述反应器；反应空间，形成在所述反应器与所述衬底支撑件之间；以及冷却装置，设置在所述反应器之上或者所述气体供应装置之上，其中所述冷却装置包括：第一分隔壁；第二分隔壁，环绕所述第一分隔壁；第三分隔壁，环绕所述第二分隔壁；以及分隔件，将所述第二分隔壁与所述第三分隔壁之间的空间分离成第一区域及第二区域，且将所述第二分隔壁与所述第一分隔壁之间的空间分离成第三区域及第四区域，其中所述分隔件被配置成将所述第一区域与所述第三区域彼此连接，或者将所述第一区域与所述第三区域彼此连接且将所述第二区域与所述第四区域彼此连接。

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