申请/专利权人:台州市博信电子有限公司
申请日:2020-06-29
公开(公告)日:2021-01-05
公开(公告)号:CN212288211U
主分类号:B28D5/00(20060101)
分类号:B28D5/00(20060101);B28D7/00(20060101);B28D7/04(20060101);G01N23/20(20180101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.01.05#授权
摘要:本实用新型提供了一种晶棒定角粘接机,属于半导体设备技术领域。它解决了现有晶棒与料板的定角和粘接精度不高的问题。本晶棒定角粘接机,包括工作台、X射线光路的发射与接收机构和用于使料板呈水平放置并定位的扫描机架,扫描机架设置在工作台上,扫描机架能够相对工作台转动,扫描机架上设有矫正基准立板且矫正基准立板能够相对扫描机架转动,矫正基准立板上设有柔性吸盘且柔性吸盘能够将放置在料板上的晶棒吸附并使晶棒贴靠在矫正基准立板的垂直基准面上,扫描机架上设有压块且压块能够将晶棒压紧在料板上。本定角粘接机通过多次的扫描、矫正、验证形成一个闭环式的循环矫正定角过程,能够保证精确的对晶棒实现定角,提高了定角和粘接的精度。
主权项:1.一种晶棒定角粘接机,包括工作台11、X射线光路的发射与接收机构和用于使料板10呈水平放置并定位的扫描机架2,所述扫描机架2设置在所述工作台11上,其特征在于,所述扫描机架2能够相对工作台11转动,所述扫描机架2上设有矫正基准立板5且所述矫正基准立板5能够相对扫描机架2转动,所述矫正基准立板5上设有柔性吸盘7且柔性吸盘7能够将放置在料板10上的晶棒吸附并使晶棒贴靠在矫正基准立板5的垂直基准面上,所述扫描机架2上设有压块9b且压块9b能够将晶棒压紧在料板10上。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 台州市博信电子有限公司 一种晶棒定角粘接机
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