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【发明公布】超纯水制造装置及超纯水制造方法_野村微科学股份有限公司_201980033935.0 

申请/专利权人:野村微科学股份有限公司

申请日:2019-05-24

公开(公告)日:2021-01-08

公开(公告)号:CN112203988A

主分类号:C02F1/42(20060101)

分类号:C02F1/42(20060101);B01D19/00(20060101);B01D61/00(20060101);C02F1/32(20060101);C02F1/44(20060101)

优先权:["20180613 JP 2018-112880"]

专利状态码:失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态:2023.12.12#发明专利申请公布后的驳回;2021.04.27#实质审查的生效;2021.01.08#公开

摘要:目的是提供一种在离子交换树脂的更换时也能够持续地制造确保了希望的水质的超纯水的超纯水制造装置。本发明的超纯水制造装置具备多个分支流路、多个离子交换装置、多个开闭阀及开度变更部。多个分支流路使被处理水的流路分支并在下游侧合流。多个离子交换装置分别设在多个分支流路上,分别具有离子交换树脂。多个开闭阀分别设在各个分支流路上的各个离子交换装置的前后。开度变更部将开闭阀的开度根据所设定的时间的经过而变更。

主权项:1.一种超纯水制造装置,具备:多个分支流路,使被处理水的流路分支,并在下游侧合流;多个离子交换装置,分别设在上述多个分支流路上,分别具有离子交换树脂;多个开闭阀,分别设在各个上述分支流路上的各个上述离子交换装置的前后;以及开度变更部,将上述开闭阀的开度根据所设定的时间的经过而变更。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 野村微科学股份有限公司 超纯水制造装置及超纯水制造方法

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