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【发明授权】光半导体元件_三菱电机株式会社_201780088584.4 

申请/专利权人:三菱电机株式会社

申请日:2017-03-23

公开(公告)日:2021-01-08

公开(公告)号:CN110431720B

主分类号:H01S5/026(20060101)

分类号:H01S5/026(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.01.08#授权;2019.12.03#实质审查的生效;2019.11.08#公开

摘要:半导体激光器2具有n型半导体衬底1和在n型半导体衬底1之上依次层叠的n型包覆层4、有源层5以及p型包覆层6。光波导3具有芯层9和包覆层10,该芯层9位于n型半导体衬底1之上且设置于半导体激光器2的光输出侧,没有掺杂杂质,与有源层5相比禁带宽度大,该包覆层10设置于芯层9之上,与p型包覆层6相比载流子浓度低。半导体激光器2具有载流子注入区域X1以及在载流子注入区域X1和光波导3之间设置的非载流子注入区域X2。

主权项:1.一种光半导体元件,其特征在于,具备:半导体激光器,其具有n型半导体衬底和在所述n型半导体衬底之上依次层叠的n型包覆层、有源层以及p型包覆层;光波导,其具有芯层和包覆层,该芯层位于所述n型半导体衬底之上并且设置于所述半导体激光器的光输出侧,没有掺杂杂质,与所述有源层相比禁带宽度大,该包覆层设置于所述芯层之上,与所述p型包覆层相比载流子浓度低;以及电极,所述半导体激光器具有:载流子注入区域;以及非载流子注入区域,其设置于所述载流子注入区域和所述光波导之间,所述电极在所述n型半导体衬底的下表面设置于所述载流子注入区域,没有设置于所述非载流子注入区域以及所述光波导。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 三菱电机株式会社 光半导体元件

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