申请/专利权人:上海钰兰车船装潢有限公司
申请日:2020-06-15
公开(公告)日:2021-01-08
公开(公告)号:CN212322957U
主分类号:H01L21/67(20060101)
分类号:H01L21/67(20060101);F25D17/02(20060101);B08B1/00(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.01.08#授权
摘要:本实用新型涉及真空腔体领域,特别涉及一种真空密封腔体工件,包括腔室,所述腔室的内部设置有工作部件,所述腔室的外壁一侧设置有进气口,所述腔室的另一侧外壁上设置有真空抽气口,所述腔室的顶部设置有端盖,该真空密封腔体,在真空密封腔体工作时,通过向冷却液入口投入冷却液,冷却液在冷却壳体与腔室之间流动,与被加热的腔室换热,使得热量被利用,观察窗被腔室内部加热蒸发的物质覆盖时,通过转动握扣,带动转动杆转动,从而带动刷板在观察窗上刷动,刮除观察窗上的覆盖物,使得观察效率提高,从而提高工作效率,待真空密封腔体完成工作,通过冷却液的流动,加速腔室的冷却,提高工作效率。
主权项:1.一种真空密封腔体工件,其特征在于:包括腔室3,所述腔室3的内部设置有工作部件11,所述腔室3的外壁一侧设置有进气口6,所述腔室3的另一侧外壁上设置有真空抽气口12,所述腔室3的顶部设置有端盖1,所述端盖1通过腔室门法兰2与腔室3固定连接,所述腔室3和端盖1的顶部均焊接有加强筋4,所述腔室3的外部设置有冷却壳体8,所述冷却壳体8通过加强筋4与腔室3固定连接,所述加强筋4的边缘与冷却壳体8的连接处开设有流道5,所述冷却壳体8的一侧外壁上设置有冷却液入口7,所述冷却壳体8的另一侧外壁上设置有冷却液出口13,所述冷却壳体8的底部设置有排水阀门10。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 上海钰兰车船装潢有限公司 一种真空密封腔体工件
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