申请/专利权人：东泰高科装备科技有限公司

申请日：2019-07-10

公开（公告）日：2021-01-12

公开（公告）号：CN112210826A

主分类号：C30B25/08(20060101)

分类号：C30B25/08(20060101);C30B25/14(20060101);C30B29/40(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.02.21#授权;2022.03.15#实质审查的生效;2021.01.12#公开

摘要：本发明提供了一种气相外延室，包括：壳体；生长室，生长室设置在壳体内，以用于盛放衬底；反应装置，反应装置设置在壳体内，反应装置用于容纳反应物，以使反应物在反应装置内混合反应，生成用于使衬底上生成延生层的气体；匀气装置，匀气装置与反应装置连通，匀气装置与生长室连通，反应装置内生成的气体进入匀气装置，匀气装置将气体吹向衬底的不同部位，以使衬底生长出外延层。本发明的气相外延室解决了现有技术中的氢化物气相外延室生产的外延片质量较低的问题，节约了衬底外延的成本。

主权项：1.一种气相外延室，其特征在于，包括：壳体10；生长室20，所述生长室20设置在所述壳体10内，以用于盛放衬底；反应装置30，所述反应装置30设置在所述壳体10内，所述反应装置30用于容纳反应物，以使反应物在所述反应装置30内反应以生成用于使所述衬底上生成延生层的气体；匀气装置40，包括至少两个进气口，所述匀气装置40的至少一个进气口与所述反应装置30连通，所述匀气装置40的出气口与所述生长室20连通。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东泰高科装备科技有限公司 气相外延室

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