【发明公布】一种砷烷在线检测装置和检测方法_东泰高科装备科技有限公司_201910623198.1 

申请/专利权人:东泰高科装备科技有限公司

申请日:2019-07-11

发明/设计人:孟亚飞;胡光有;彭小磊;赵青松;南建辉

公开(公告)日:2021-01-12

代理机构:北京康信知识产权代理有限责任公司

公开(公告)号:CN112213403A

代理人:梁文惠

主分类号:G01N30/02(20060101)

地址:102209 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室

分类号:G01N30/02(20060101);G01N30/62(20060101);G01N30/72(20060101);G01N30/74(20060101)

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2021.01.12#公开

摘要:本发明提供了一种砷烷在线检测装置和检测方法。该在线检测装置包括:砷烷浓度检测器;水分检测器,与砷烷浓度检测器相连;气质联用仪,与水分检测器相连,气质联用仪配置第一色谱柱、第二色谱柱、脉冲放电氦离子化检测器和质量选择检测器,第一色谱柱用于分离砷烷中的氧气、一氧化碳和二氧化碳,第二色谱柱用于分离砷烷中的硅烷、锗烷、磷烷、羰基硫和硫化氢,脉冲放电氦离子化检测器用于检测砷烷中的氧气、一氧化碳和二氧化碳,质量选择检测器用于检测砷烷中的硅烷、锗烷、磷烷、羰基硫和硫化氢。上述在线检测装置可以实时对砷烷中各组分的准确检测。

主权项:1.一种砷烷在线检测装置,其特征在于,包括:砷烷浓度检测器10;水分检测器20,与所述砷烷浓度检测器10相连;气质联用仪50,与所述水分检测器20相连,所述气质联用仪50配置第一色谱柱53、第二色谱柱56、脉冲放电氦离子化检测器54和质量选择检测器57,所述第一色谱柱53用于分离所述砷烷中的氧气、一氧化碳和二氧化碳,所述第二色谱柱56用于分离所述砷烷中的硅烷、锗烷、磷烷、羰基硫和硫化氢,所述脉冲放电氦离子化检测器54用于检测所述砷烷中的氧气、一氧化碳和二氧化碳,所述质量选择检测器57用于检测所述砷烷中的硅烷、锗烷、磷烷、羰基硫和硫化氢。

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