申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2020-07-06

公开（公告）日：2021-01-12

公开（公告）号：CN112216588A

主分类号：H01J37/32(20060101)

分类号：H01J37/32(20060101)

优先权：["20190709 KR 10-2019-0082604"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.07.23#实质审查的生效;2021.01.12#公开

摘要：提供了基板处理装置。基板处理装置包括基板支承部、等离子体生成部和电力供应部，其中：基板支承部支承基板，并且能够通过静电力固定基板；等离子体生成部生成用于使基板的电荷放电的放电用等离子体；电力供应部向基板支承部和等离子体生成部供应电力，其中，电力供应部向等离子体生成部在使基板的电荷放电时供应具有波动图案的电力。

主权项：1.基板处理装置，包括：基板支承部，支承基板，并且能够通过静电力固定所述基板；等离子体生成部，生成用于使所述基板的电荷放电的放电用等离子体；以及电力供应部，向所述基板支承部和所述等离子体生成部供应电力，其中，所述电力供应部在通过向所述等离子体生成部供应电力而使所述基板的电荷放电时向所述等离子体生成部供应具有波动图案的电力。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 基板处理装置和方法

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