申请/专利权人:株式会社迪思科
申请日:2020-07-07
公开(公告)日:2021-01-12
公开(公告)号:CN112216654A
主分类号:H01L21/78(20060101)
分类号:H01L21/78(20060101);H01L21/683(20060101)
优先权:["20190711 JP 2019-129633"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2022.06.28#实质审查的生效;2021.01.12#公开
摘要:提供被加工物的加工方法,将背面上层叠有材质不同的部件的被加工物高效地分割。被加工物的加工方法包含保持步骤和分割起点形成步骤。保持步骤是将被加工物的背面侧的部件保持于保持工作台的步骤。分割起点形成步骤是如下的步骤:在实施了保持步骤之后,从被加工物的正面侧按照使聚光点会聚于被加工物的内部的状态照射对于被加工物具有透过性的波长的激光光线,在被加工物的内部形成改质层,同时,通过从聚光点向背面侧泄漏的激光光线在层叠于被加工物的背面上的材质与被加工物不同的部件中形成分割起点。
主权项:1.一种被加工物的加工方法,在被加工物的背面上层叠有材质与被加工物不同的部件,其中,该被加工物的加工方法具有如下的步骤:保持步骤,利用保持工作台对被加工物的背面侧的该部件进行保持;以及分割起点形成步骤,在实施了该保持步骤之后,从被加工物的正面侧按照使聚光点会聚于被加工物的内部的状态照射对于被加工物具有透过性的波长的激光光线,在被加工物的内部形成改质层,同时,通过从该聚光点向背面侧泄漏的激光光线在该部件中形成分割起点。
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