【发明公布】修整方法_株式会社迪思科_202010644248.7 

申请/专利权人:株式会社迪思科

申请日:2020-07-07

发明/设计人:蔡卓萧

公开(公告)日:2021-01-12

代理机构:北京三友知识产权代理有限公司

公开(公告)号:CN112208013A

代理人:乔婉;于靖帅

主分类号:B28D5/00(20060101)

地址:日本东京都

分类号:B28D5/00(20060101);B28D5/02(20060101)

优先权:["20190711 JP 2019-129382"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2021.01.12#公开

摘要:提供修整方法,能够抑制平坦化修整所需的时间。修整方法具有如下的步骤:位置检测步骤ST4,利用拍摄单元对保持工作台上所保持的修整板进行拍摄,对修整板的外周缘的位置进行检测;定位步骤ST6,将从修整板的一端朝向另一端的方向定位成与主轴的轴心平行,并且根据通过位置检测步骤ST4而检测的修整板的外周缘的位置,在修整板的一端的外侧将切削刀具的下端定位于向修整板切入的切入深度;以及修整步骤ST7,在实施了定位步骤ST6之后,使切削刀具相对于修整板相对移动而从修整板的一端向另一端进行切削,从而对切削刀具的前端进行平坦化。

主权项:1.一种修整方法,是对固定于主轴的前端的切削刀具的平坦化修整方法,其中,该修整方法具有如下的步骤:位置检测步骤,利用拍摄构件对保持工作台上所保持的修整板进行拍摄,对该修整板的外周缘的位置进行检测;定位步骤,将从该修整板的一端朝向另一端的方向定位成与该主轴的轴心平行,并且根据通过该位置检测步骤而检测的该修整板的外周缘的位置,在该修整板的一端的外侧将该切削刀具的下端定位于向该修整板切入的规定的高度位置;以及修整步骤,在实施了该定位步骤之后,使该切削刀具相对于该修整板相对移动而从该修整板的该一端向另一端进行切削,从而对该切削刀具的前端进行平坦化。

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