申请/专利权人:爱思外集平台株式会社
申请日:2019-05-29
公开(公告)日:2021-01-12
公开(公告)号:CN112219116A
主分类号:G01N27/414(20060101)
分类号:G01N27/414(20060101);G01N27/30(20060101);G01N33/68(20060101);H01L21/027(20060101)
优先权:["20180531 KR 10-2018-0062487"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.03.28#授权;2021.01.29#实质审查的生效;2021.01.12#公开
摘要:本发明的基于RGO的生物传感器包括:源极和漏极,形成在所述基板上;还原的氧化石墨烯RGO通道,形成在源极与漏极之间;PDMS芯片,向RGO通道供给反应溶液;钝化层,对由PDMS芯片供给的反应溶液进行密封,以使其不接触源极和漏极;及栅电极。其中,钝化层由SU‑8光刻胶构成,栅电极直接接触到反应溶液而实现液相驱动。由SU‑8构成钝化层而能够便利稳定地实现基于PDMS芯片的反应溶液的供给。因栅电极的液相驱动,能够以‑1.0V~1.0V左右的栅压进行驱动,可以呈现具有较高灵敏度的场效应晶体管FET类型的生物传感器。
主权项:1.一种用于液相内生物材料检测的基于RGO的生物传感器,包括:基板;源极和漏极,形成在所述基板上;还原的氧化石墨烯通道,形成在所述源极与所述漏极之间;PDMS芯片,向所述还原的氧化石墨烯通道供给反应溶液;钝化层,对由所述PDMS芯片供给的反应溶液进行密封,以使其不接触所述源极和漏极;及栅电极,与由所述PDMS芯片供给而与所述还原的氧化石墨烯通道接触的反应溶液电性连接。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 爱思外集平台株式会社 基于RGO的生物传感器及其制造方法,生物材料检测方法
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