【发明公布】衬底处理装置及衬底处理方法_株式会社斯库林集团_201980036610.8 

申请/专利权人:株式会社斯库林集团

申请日:2019-06-20

发明/设计人:藤原直澄;山口佑;尾辻正幸;加藤雅彦;佐佐木悠太;髙桥弘明

公开(公告)日:2021-01-12

代理机构:北京律盟知识产权代理有限责任公司

公开(公告)号:CN112219265A

代理人:陈甜甜

主分类号:H01L21/304(20060101)

地址:日本京都

分类号:H01L21/304(20060101);F26B5/06(20060101);F26B5/16(20060101)

优先权:["20180629 JP 2018-124745"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2021.01.12#公开

摘要:本发明的衬底处理方法包含:混合干燥辅助物质供给步骤,将混合干燥辅助物质供给至衬底的表面,所述混合干燥辅助物质由干燥辅助物质、第1溶剂、以及与所述干燥辅助物质及所述第1溶剂不同的药剂相互混合所得;固化膜形成步骤,通过使所述第1溶剂从存在于所述衬底表面的所述混合干燥辅助物质蒸发且使所述混合干燥辅助物质中包含的所述干燥辅助物质固化,而形成包含所述干燥辅助物质及所述药剂的固化膜;及去除步骤,将所述固化膜中包含的所述干燥辅助物质去除。

主权项:1.一种衬底处理装置,包含:衬底保持单元,保持衬底;混合干燥辅助物质供给单元,用来对所述衬底保持单元保持的衬底的表面供给混合干燥辅助物质,所述混合干燥辅助物质由干燥辅助物质、第1溶剂、以及与所述干燥辅助物质及所述第1溶剂不同的药剂相互混合所得;蒸发单元,用来使所述第1溶剂从所述衬底保持单元保持的衬底的表面蒸发;去除单元,用来将所述干燥辅助物质从所述衬底保持单元保持的衬底的表面去除;及控制装置,控制所述混合干燥辅助物质供给单元、所述蒸发单元及所述去除单元;且所述控制装置执行:混合干燥辅助物质供给步骤,通过所述混合干燥辅助物质供给单元对所述衬底的表面供给所述混合干燥辅助物质;固化膜形成步骤,通过利用所述蒸发单元使所述第1溶剂从存在于所述衬底的表面的所述混合干燥辅助物质蒸发而形成包含所述干燥辅助物质及所述药剂的固化膜;及去除步骤,将所述固化膜中包含的所述干燥辅助物质去除。

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