申请/专利权人：CVT股份有限公司

申请日：2019-05-23

公开（公告）日：2021-01-12

公开（公告）号：CN112218974A

主分类号：C23C14/56(20060101)

分类号：C23C14/56(20060101);C23C14/14(20060101);C23C14/24(20060101);C23C14/26(20060101)

优先权：["20180606 DE 102018113528.9"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.02.17#授权;2021.05.11#实质审查的生效;2021.01.12#公开

摘要：一种用于在PVD金属化设备中蒸镀金属的蒸镀器主体1，其具有：上侧3，上侧具有第一和第二纵向边缘5‑1，5‑2以及第一和第二横向边缘7‑1，7‑2，横向边缘横向于纵向边缘延伸；和第一和第二纵向沟槽11‑1，11‑2，纵向沟槽构成在上侧3中，其中第一纵向沟槽11‑1相邻于且沿着第一纵向边缘5‑1延伸，并且第二纵向沟槽11‑2相邻于且沿着第二纵向边缘5‑2延伸，其中纵向沟槽11‑1，11‑2的端部距横向边缘7‑1，7‑2具有一定间距，并且其中由蒸镀器主体1的上侧3形成的内置的蒸镀面13由纵向沟槽11‑1，11‑2在纵向侧直接限界。

主权项：1.一种用于在PVD金属化设备中蒸镀金属的蒸镀器主体1，包括：上侧3，所述上侧具有：第一纵向边缘和第二纵向边缘5-1，5-2以及第一横向边缘和第二横向边缘7-1，7-2，所述横向边缘横向于所述纵向边缘延伸；以及第一纵向沟槽和第二纵向沟槽11-1，11-2，所述纵向沟槽构成在所述上侧3中，其中所述第一纵向沟槽11-1相邻于且沿着所述第一纵向边缘5-1延伸，并且所述第二纵向沟槽11-2相邻于且沿着所述第二纵向边缘5-2延伸，其中所述纵向沟槽11-1，11-2的端部距所述横向边缘7-1，7-2具有一定间距，并且其中由所述蒸镀器主体1的所述上侧3形成的内置的蒸镀面13由所述纵向沟槽11-1，11-2在纵向侧直接限界。

全文数据：

权利要求：

百度查询： CVT股份有限公司 蒸镀器主体

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