申请/专利权人：朗姆研究公司

申请日：2019-06-06

公开（公告）日：2021-01-12

公开（公告）号：CN112218975A

主分类号：C23C16/02(20060101)

分类号：C23C16/02(20060101);C23C16/14(20060101);C23C16/40(20060101);C23C16/455(20060101);C23C16/04(20060101);C23C16/54(20060101);H01L21/02(20060101)

优先权：["20180607 US 62/682,061"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.06.04#实质审查的生效;2021.01.12#公开

摘要：提供了处理衬底表面以减少可能在后续操作中产生或提供的物质扩散的方法。根据多种实施方案，衬底表面可以是例如氧化物表面或金属或金属化合物膜，并且可以是在形貌特征中的覆盖膜或衬里膜的表面。处理表面的示例可包括暴露于一种或多种化学物质和或热退火。在一些实施方案中，该处理增大了膜表面的晶界的粗糙度。这可以减小可用于扩散的空间，并增大穿过膜的扩散路径的曲折度。在一些实施方案中，处理可涉及形成化合物分子，例如，氧化含有金属的薄膜而形成氧化物。经处理的表面不易于让物质例如卤素物质扩散。

主权项：1.一种方法，其包括：处理衬底上的表面以增大所述表面上的晶界的粗糙度；以及在增大所述晶界的所述粗糙度之后，在所述表面上沉积膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 朗姆研究公司 减少跨膜界面的扩散

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD