申请/专利权人：郑州格矽科技发展有限公司

申请日：2020-09-03

公开（公告）日：2021-01-12

公开（公告）号：CN112209384A

主分类号：C01B33/107(20060101)

分类号：C01B33/107(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2023.03.24#发明专利申请公布后的驳回;2021.01.29#实质审查的生效;2021.01.12#公开

摘要：本发明涉及一种生产高纯三氯氢硅和四氯化硅的装置及工艺，包括依次连接的三氯氢硅和四氯化硅合成单元、三氯氢硅和四氯化硅提纯单元、三氯氢硅和四氯化硅分离单元，三氯氢硅精制单元和四氯化硅精制单元分别与三氯氢硅和四氯化硅分离单元连接。采用本发明的装置合成过程中HCl100％完全反应，不需要后系统的氯化氢回收装置，及副产氢气水洗处理装置，实现氢气深冷后直接回收利用，实现在线生产，不停止装置即可排出系统不反应的微硅粉，保证装置的长期稳定运行，可以实现装置的余热回收，装置中添加了干法除尘器，实现三氯氢硅装置干法除尘，消除微硅粉进入后序洗涤塔装置，消除后系统因微硅粉堵塞，保证装置的长期稳定运行。

主权项：1.一种生产高纯三氯氢硅和四氯化硅的装置，其特征在于，包括依次连接的三氯氢硅和四氯化硅合成单元、三氯氢硅和四氯化硅提纯单元、三氯氢硅和四氯化硅分离单元，三氯氢硅精制单元和四氯化硅精制单元分别与所述的三氯氢硅和四氯化硅分离单元连接。

全文数据：

权利要求：

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