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【发明公布】一种石英坩埚夹持旋转升降水平移动装置_上海汉虹精密机械有限公司_202010915197.7 

申请/专利权人:上海汉虹精密机械有限公司

申请日:2020-09-03

公开(公告)日:2021-01-12

公开(公告)号:CN112208005A

主分类号:B28D1/22(20060101)

分类号:B28D1/22(20060101);B28D7/04(20060101);B28D7/00(20060101);B65G47/90(20060101)

优先权:

专利状态码:失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态:2022.10.18#发明专利申请公布后的视为撤回;2021.01.29#实质审查的生效;2021.01.12#公开

摘要:本发明公开了一种石英坩埚夹持旋转升降水平移动装置,目的是石英坩埚切断工序中,有搬运,测量,切割,清洗等多个工位,全程需要夹持坩埚进行作业,根据工序要求,坩埚旋转,升降,水平移动到预定位置。此机构用电动三爪卡盘夹持坩埚,用伺服电机扭矩控制模式控制夹紧力。另一端通过气动离合器的开启连接上旋转电机带动该机构旋转。此机构安装在升降板上,通过旋转型丝杆,配合四根导向轴做升降运动。此机构通过齿轮齿条和导轨的组合可以实现长距离水平搬运移动。

主权项:1.一种石英坩埚夹持旋转升降水平移动装置,其特征在于:包括一对导轨24,所述导轨24上架放有夹持旋转升降水平移动机构;所述夹持旋转升降水平移动机构包括上方的固定板14和下方的升降板13;所述升降板13上设置有三爪卡盘1,夹持机构和旋转机构;所述升降板13能够上下移动,进而带动三爪卡盘1上下移动;所述夹持机构能够带动三爪卡盘1的三个卡爪同步夹持和释放石英坩埚20;所述旋转机构能够带动三爪卡盘1旋转,进而带动三爪卡盘1夹持的石英坩埚20旋转;所述固定板14上设置有水平移动机构,所述水平移动机构能够带动所述夹持旋转升降水平移动机构整体沿导轨24直线运动。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海汉虹精密机械有限公司 一种石英坩埚夹持旋转升降水平移动装置

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