申请/专利权人：天津迈刻微科电子科技有限公司

申请日：2020-09-15

公开（公告）日：2021-01-12

公开（公告）号：CN112216597A

主分类号：H01J63/06(20060101)

分类号：H01J63/06(20060101);H01J63/02(20060101);H01J9/00(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.01.29#实质审查的生效;2021.01.12#公开

摘要：本发明属于紫外光源技术领域，具体涉及一种微型紫外光源及制备方法。本发明中的微型紫外光源包括依次设置的光窗板、紫外阴极材料层、加速电极层、绝缘间隔体和微型电子源片，绝缘间隔体的中间设有中空腔体，微型电子源片的中部和中空腔体相对应，微型电子源片和加速电极层之间真空设置。通过使用本技术方案中的微型紫外光源，微型电子源片用于产生电子束，由于加速电极层与微型电子源片之间具有很强的正电势差，微型电子源片发射的电子在中空腔体内加速向加速电极层方向移动，具有一定能量的电子穿过加速电极层轰击紫外阴极荧光材料层，从而产生紫外线，紫外线再透过光窗板进入到外界，提高了工作效率。

主权项：1.一种微型紫外光源，其特征在于，包括依次设置的光窗板、紫外阴极材料层、加速电极层、绝缘间隔体和微型电子源片，其中，所述绝缘间隔体的中间设有中空腔体，所述微型电子源片的中部和所述中空腔体相对应，其中，所述微型电子源片和所述加速电极层之间真空设置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津迈刻微科电子科技有限公司 微型紫外光源及制备方法

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