申请/专利权人：北京圣阳科技发展有限公司

申请日：2020-10-20

公开（公告）日：2021-01-12

公开（公告）号：CN112210762A

主分类号：C23C14/34(20060101)

分类号：C23C14/34(20060101);C23C14/06(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.01.29#实质审查的生效;2021.01.12#公开

摘要：本发明涉及一种铜锌锡硒CZTSe或铜锌锡硫CZTS四元靶材的制备方法。所述方法包含以下步骤：1使用Cu颗粒、Sn颗粒、Zn颗粒、Se颗粒或者S粉体按比例称量放置于石英管内；2将石英管抽真空密封后置于热处理炉中，由室温升温至高温并保温一段时间，制成CZTSe或CZTS化合物块体；3将块体破碎制成粒径为80微米以下的粉体；4把粉体置于石墨模具中热压烧结制成CZTSe或CZTS四元靶材。本方法原料易于获取，价格低廉，制备出的靶材成分与物相均匀，致密度高，工艺简单且容易控制，适于批量化生产。

主权项：1.一种铜锌锡硒CZTSe或铜锌锡硫CZTS四元靶材的制备方法，其特征在于，所述方法包含以下步骤：1将Cu颗粒、Sn颗粒、Zn颗粒、Se颗粒或者S粉体按比例称量放置于石英管内；2将石英管抽真空密封后置于热处理炉中，由室温升温至高温并保温一段时间，制成CZTSe或CZTS化合物块体；3将块体破碎制成粒径为80微米以下的粉体；4把粉体置于石墨模具中热压烧结制成CZTSe或CZTS四元靶材。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京圣阳科技发展有限公司 一种铜锌锡硒（CZTSe）或铜锌锡硫（CZTS）四元靶材的制备方法

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