【发明公布】一种基于机器视觉的表面波长级点缺陷表征装置及方法_南京森林警察学院_202011276395.X 

申请/专利权人:南京森林警察学院

申请日:2020-11-16

发明/设计人:翟春婕;王新猛;刘云恒;吴玉强;田素诚

公开(公告)日:2021-01-12

代理机构:南京经纬专利商标代理有限公司

公开(公告)号:CN112213331A

代理人:马严龙

主分类号:G01N21/95(20060101)

地址:210046 江苏省南京市栖霞区文澜路28号

分类号:G01N21/95(20060101);G01N21/01(20060101)

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2021.01.12#公开

摘要:本发明属于测试计量技术及仪器技术领域,尤其是一种基于机器视觉的表面波长级点缺陷表征装置及方法,装置包括上位机、照明模块、成像模块、电动扫描平移台、运动控制器以及为上述部件供电的电源模块,电动扫描平移台为立式的,具有纵向导轨,成像模块安装于纵向导轨上,待测光学元件位于成像模块下方,照明模块位于待测光学元件侧部,运动控制器分别线路连接上位机、照明模块、成像模块、电动扫描平移台;本发明通过机器视觉技术获得不同聚焦状态时的缺陷散射图像,进而基于数据库查找及进化算法反演缺陷形状与参数,适用于精密光学元件表明波长级缺陷的质检工作。

主权项:1.一种基于机器视觉的表面波长级点缺陷表征装置,其特征在于:包括上位机(1)、照明模块(2)、成像模块(3)、电动扫描平移台(4)、运动控制器(6)以及电源模块(7),所述电动扫描平移台(4)为立式的,具有纵向导轨,所述成像模块(3)安装于纵向导轨上,待测光学元件(5)位于成像模块(3)下方,所述照明模块(2)位于待测光学元件(5)侧部,所述运动控制器(6)分别线路连接上位机(1)、照明模块(2)、成像模块(3)、电动扫描平移台(4);所述上位机(1)、照明模块(2)、成像模块(3)、电动扫描平移台(4)、运动控制器(6)均由电源模块(7)供电。

全文数据:

权利要求:

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