申请/专利权人：南京森林警察学院

申请日：2020-11-16

公开（公告）日：2021-01-12

公开（公告）号：CN112213331A

主分类号：G01N21/95(20060101)

分类号：G01N21/95(20060101);G01N21/01(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.12.12#授权;2021.01.29#实质审查的生效;2021.01.12#公开

摘要：本发明属于测试计量技术及仪器技术领域，尤其是一种基于机器视觉的表面波长级点缺陷表征装置及方法，装置包括上位机、照明模块、成像模块、电动扫描平移台、运动控制器以及为上述部件供电的电源模块，电动扫描平移台为立式的，具有纵向导轨，成像模块安装于纵向导轨上，待测光学元件位于成像模块下方，照明模块位于待测光学元件侧部，运动控制器分别线路连接上位机、照明模块、成像模块、电动扫描平移台；本发明通过机器视觉技术获得不同聚焦状态时的缺陷散射图像，进而基于数据库查找及进化算法反演缺陷形状与参数，适用于精密光学元件表明波长级缺陷的质检工作。

主权项：1.一种基于机器视觉的表面波长级点缺陷表征装置，其特征在于：包括上位机（1）、照明模块（2）、成像模块（3）、电动扫描平移台（4）、运动控制器（6）以及电源模块（7），所述电动扫描平移台（4）为立式的，具有纵向导轨，所述成像模块（3）安装于纵向导轨上，待测光学元件（5）位于成像模块（3）下方，所述照明模块（2）位于待测光学元件（5）侧部，所述运动控制器（6）分别线路连接上位机（1）、照明模块（2）、成像模块（3）、电动扫描平移台（4）；所述上位机（1）、照明模块（2）、成像模块（3）、电动扫描平移台（4）、运动控制器（6）均由电源模块（7）供电。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京森林警察学院 一种基于机器视觉的表面波长级点缺陷表征装置及方法

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