【发明授权】玻璃膜的制造方法_日本电气硝子株式会社_201780018169.1 

申请/专利权人:日本电气硝子株式会社

申请日:2017-04-21

发明/设计人:鉴继薰;猪饲直弘;秋山修二

公开(公告)日:2021-01-12

代理机构:中科专利商标代理有限责任公司

公开(公告)号:CN108883964B

代理人:刘文海

主分类号:C03B33/08(20060101)

地址:日本国滋贺县

分类号:C03B33/08(20060101);B23K26/38(20140101)

优先权:["20160531 JP 2016-108678"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.01.12#授权;2018.12.18#实质审查的生效;2018.11.23#公开

摘要:玻璃膜G的搬运装置14具备支承切断后的玻璃膜G的第一部分Gc的第一支承部21、支承玻璃膜G的第二部分Gd的第二支承部22、以及在第一支承部21与第二支承部22之间设置在激光照射装置19的下方位置的开口部23。在玻璃膜G的切断工序中,在开口部23使玻璃膜G以向下方凸出的方式变形,并且在开口部23的范围内以与玻璃膜G的顶部GT不一致的方式照射由激光照射装置19产生的激光LB。

主权项:1.一种玻璃膜的制造方法,包括利用搬运装置沿规定的方向搬运带状的玻璃膜的搬运工序、以及一边通过所述搬运工序搬运所述玻璃膜一边利用切断部将所述玻璃膜熔断为第一部分和第二部分的切断工序,所述玻璃膜的制造方法的特征在于,所述切断部具备激光照射装置、支承所述第一部分的第一支承部、支承所述第二部分的第二支承部、以及在所述第一支承部与所述第二支承部之间设置在所述激光照射装置的下方位置的开口部,在所述切断工序中,在所述开口部使所述玻璃膜以向下方凸出的方式变形,并且在所述开口部的范围内以与所述玻璃膜的顶部不一致的方式照射由所述激光照射装置产生的所述激光。

全文数据:玻璃膜的制造方法技术领域[0001]本发明涉及制造例如能够呈卷状卷绕的玻璃膜的方法。背景技术[0002]众所周知,液晶显示器、等离子体显示器以及有机EL显示器等平板显示器FPD中使用的板玻璃、有机EL照明中使用的板玻璃、作为触摸面板的构成要素的强化玻璃等的制造中使用的玻璃板、以及太阳电池的面板等中使用的玻璃板的薄壁化日益推进。[0003]例如在专利文献1中,公开了厚度为几百um以下的玻璃膜薄板玻璃)。这种玻璃膜通常如在该文献所记载那样通过采用所谓的溢流下拉法的成形装置来连续成形。[0004]通过溢流下拉法连续成形的长条的玻璃膜例如在其搬运方向从铅垂方向转换为水平方向后,通过搬运装置的横向搬运部水平搬运部继续向下游侧搬运。在该搬运途中,玻璃膜的宽度方向两端部耳部被切断除去。之后,玻璃膜通过卷绕辊呈卷状卷绕,从而构成为玻璃卷。[0005]作为将玻璃膜的宽度方向两端部切断的技术,在专利文献丨中公开了激光切割。在激光切^中,在通过金刚石刀具等裂纹形成机构在玻璃膜形成初始裂纹后,向该部分照射激光进行加热,之后,通过冷却机构对被加热了的部分进行冷却,利用在玻璃膜产生的热应力而使初始裂纹发展而将玻璃膜切断。[0006]作为其他切断方法,可以使用向玻璃膜照射激光而将其一部分熔断的激光熔断。如图10A以及图11所示,在激光熔断中,一边通过搬运装置丨〇丨将玻璃膜G沿规定的方向(在图11中用附图标记X表示的方向搬运,一边向玻璃膜G的规定位置照射位置0照射激光照射装置102的激光LB。[0007]搬运装置101具备分离地配置的第一搬运体l〇la以及第二搬运体l〇lb。激光LB的照射位置〇设置在第一搬运体101a与第二搬运体l〇lb之间。向玻璃膜G喷吹辅助气体AG,以使熔融玻璃不飞濺且使熔融的玻璃不作为渣滓而残留。[0008]如图10B所示,通过激光LB的照射,玻璃膜G被熔断为第一部分G1和第二部分G2。通过该熔断而产生的熔融玻璃G3向第一搬运体101a与第二搬运体l〇lb之间的空间掉落,并在其下方位置被回收。[0009]在先技术文献[0010]专利文献[0011]专利文献1:日本特开2012-240883号公报发明内容[0012]发明要解决的课题[0013]然而,本发明者为了利用激光熔断将玻璃膜高精度地切断而深入研究的结果是,发现了以下的问题。即,如图10A所示,在将玻璃膜G的宽度方向Y上的第一搬运体101a与第二搬运体l〇lb的距离设为L时,向第一搬运体101a与第二搬运体l〇lb的中间位置与各搬运体101a、101b相距L2的位置照射激光LB。于是,如图11所示,发现熔断部分103未形成为直线状,而以蜿蜒行进的方式形成。若像这样熔断部分103蜿蜒行进,则无法得到精度高的切断面。[0014]本发明是鉴于上述的情况而完成的,其目的在于提供能够利用激光熔断将玻璃膜高精度地切断的玻璃膜的制造方法。[0015]用于解决课题的方案[0016]本发明用于解决上述的课题,涉及一种玻璃膜的制造方法,包括利用搬运装置沿规定的方向搬运带状的玻璃膜的搬运工序、以及一边通过所述搬运工序搬运所述玻璃膜一边利用切断部将所述玻璃膜熔断为第一部分和第二部分的切断工序,所述玻璃膜的制造方法的特征在于,所述切断部备激光照射装置、支承所述第一部分的第一支承部、支承所述第二部分的第二支承部、以及在所述第一支承部与所述第二支承部之间设置在所述激光照射装置的下方位置的开口部,在所述切断工序中,在所述开口部进行吸引而使所述玻璃膜以向下方凸出的方式变形,并且在所述开口部的范围内以与所述玻璃膜的项部不一致的方式照射由所述激光照射装置产生的所述激光。[0017]根据本发明者的见解,发现当一边搬运玻璃膜一边使玻璃膜以向下方凸出的方式变形时,由于搬运的影响而导致其顶部沿横向变动。认为在玻璃膜的熔断部分产生蜿蜒行进现象的原因在于向该顶部的变动范围内照射激光。在本发明中,在通过开口部的吸引而使玻璃膜以向下方凸出的方式变形的情况下,通过以与变形后的玻璃膜的顶部不一致的方式向该顶部的变动范围外的位置照射激光,由此能够防止熔断部分的蜿蜒行进现象的产生,能够将玻璃膜高精度地切断。[0018]在本发明所涉及的玻璃膜的制造方法中,优选为,所述搬运装置具备包含所述第一支承部、所述第二支承部以及所述开口部的平台,在所述切断工序中,通过在所述开口部处进行吸引而使所述玻璃膜以向下方凸出的方式变形。[0019]玻璃膜在被搬运的过程中具有在其一部分产生褶皱的倾向。若将产生褶皱的部分熔断,则无法得到精度高的切断面。在本发明中,将平台的开口部用作吸引孔,使玻璃膜以向下方凸出的方式变形,消除该褶皱,从而能够将该玻璃膜高精度地切断溶断)。[0020]在本发明所涉及的玻璃膜的制造方法中,优选为,所述第一部分为非产品部,所述第二部分为产品部,所述激光向所述玻璃膜的照射位置以与所述玻璃膜的所述顶部不一致的方式向靠近所述第一支承部的位置偏移。这样,通过以与变形后的玻璃膜的顶部不一致的方式向该项部的变动范围外的位置照射激光,能够防止熔断部分的蜿蜒行进现象的产生,能够将玻璃膜高精度地切断。另外,能够增加产品部的有效宽度。[0021]根据本发明所涉及的玻璃膜的制造方法,优选为,在将从所述第一支承部至所述激光的所述照射位置的距离设为L1,将从所述第二支承部至所述激光的所述照射位置的距离设为L2时,设定为L1:L2=3:7〜4.5:5.5。由此,能够可靠地防止因照射激光而产生的熔断部的蜿蜒行进现象,能够将玻璃膜高精度地切断。[0022]在本发明所涉及的玻璃膜的制造方法中,优选为,在所述切断工序中,在通过所述激光将所述玻璃If恪断后,从所述第一部分的宽度方向端部以及所述第二部分的宽度方向端部产生丝状剥离物。通过从第一部分以及第二部分产生丝状剥离物,能够均匀且高精度地形成之后形成的第一部分以及第二部分的切断面。[0023]在本发明所涉及的玻璃膜的制造方法中,优选为,所述第二支承部在比所述第一支承部高的位置支承所述产品部。由此,由第二支承部支承的玻璃膜的产品部在比由第一支承部支承的非产品部高的位置被支承。因此,由于这种位置关系,促进从非产品部产生的丝状剥离物向产品部的下方移动。因此,从非产品部产生的丝状剥离物不会与产品部的上表面接触,由此能够防止产品部的损伤。[0024]发明效果[0025]根据本发明,能够利用激光熔断将玻璃膜高精度地切断。附图说明[0026]图1是示出第一实施方式所涉及的玻璃膜的制造装置的整体结构的侧视图。[0027]图2是示出玻璃膜的制造装置的主要部分的俯视图。[0028]图3是切断部的平台的俯视图。[0029]图4是图3的IV-IV线剖视图。[0030]图5A是用于对在玻璃膜的熔断部分产生蜿蜒行进现象的原理进行说明的剖视图。[0031]图5B是用于对在玻璃膜的溶断部分产生蜿蜒行进现象的原理进行说明的剖视图。[0032]图5C是用于对在玻璃膜的熔断部分产生蜿蜒行进现象的原理进行说明的剖视图。[0033]图6是示出玻璃膜被熔断后的状态的剖视图。[0034]图7是示出第二实施方式所涉及的玻璃膜的制造装置的主要部分的剖视图。[0035]图8是示出玻璃膜被熔断后的状态的剖视图。[0036]图9是示出从产品部以及非产品部产生丝状剥离物的状态的剖视图。[0037]图10A是用于对剥落现象进行说明的玻璃膜的剖视图。[0038]图10B是用于对剥落现象进行说明的玻璃膜的剖视图。[0039]图11是示出将玻璃膜溶断的过程的俯视图。具体实施方式[0040]以下,参照附图对本发明的具体实施方式进行说明。图1至图5示出本发明所涉及的玻璃膜的制造方法以及制造装置的第一实施方式。[0041]图1是示意性示出玻璃膜的制造装置的整体结构的简要侧视图。如图i所示,制造装置1具备:成形部2,其成形玻璃膜G;方向转换部3,其将玻璃膜G的进行方向从纵向下方转换为横向X;横向搬运部4,其在方向转换后沿横向X搬运玻璃膜G;切断部5,其在通过该横向搬运部4沿横向X搬运玻璃膜G的同时将玻璃膜G的宽度方向端部耳部Ga、Gb作为非产品部Gc而切断;卷绕部6,其将通过该切断部5切断除去非产品部Gc而成的产品部Gd呈卷状卷绕而构成玻璃卷R。需要说明的是,在本实施方式中,产品部Gd的厚度为300mi以下,优选为100Wn以下。[0042]成形部2具备:成形体7,其在上端部形成有溢流槽7a,且剖视观察时呈大致楔形;冷却辊8,其配置在成形体7的正下方,从表背两侧夹持从成形体7溢出的熔融玻璃的宽度方向两端部;以及退火炉,其配备在冷却辊8的正下方。[0043]成形部2使从成形体7的溢流槽7a的上方溢流的熔融玻璃沿着两侧面分别流下,并在下端汇合而成形出膜状的熔融玻璃。冷却辊8限制熔融玻璃的宽度方向收缩从而形成规定宽度的玻璃膜G。退火炉9用于对玻璃膜G实施除应变处理。该退火炉9具有在上下方向上配设为多级的退火辊1〇。[0044]在退火炉9的下方配设有从表背两侧夹持玻璃膜G的宽度方向两端部的支承辊11。在支承辊11与冷却辊8之间、或者支承辊11与任一位置的退火辊10之间对玻璃膜G施加张力。[0045]方向转换部3设置于支承辊11的下方位置。在方向转换部3中,引导玻璃膜G的多个弓丨导辊12呈弯曲状地排列。这些引导辊12将沿铅垂方向搬运的玻璃膜G向横向引导。[0046]横向搬运部4配置在方向转换部3的进行方向前方下游侧)。该横向搬运部4具有第一搬运装置13和第二搬运装置14。第一搬运装置13配置在方向转换部3的下游侧,第二搬运装置14配置在第一搬运装置13的下游侧。[0047]第一搬运装置13具有环状的搬运带15以及该搬运带15的驱动装置16。第一搬运装置13使搬运带15的上表面与玻璃膜G接触,从而向下游侧连续地搬运通过方向转换部3后的玻璃膜G。驱动装置16是用于驱动搬运带15的辊,具有链轮等驱动体16a以及使该驱动体16a旋转的马达未图示)。[0048]第二搬运装置14作为切断部5的一部分而构成。第二搬运装置14具有搬运玻璃膜G的多个在本例中为三个搬运带17a〜17c、以及各搬运带17a〜17c的驱动装置18。如图2所示,搬运带17a〜17c包括与玻璃膜G的宽度方向一端部Ga侧的部分接触的第一搬运带17a、与玻璃膜G的宽度方向另一端部Gb侧的部分接触的第二搬运带17b、以及与玻璃膜G的宽度方向中央部接触的第三搬运带17c。驱动装置18具有用于驱动各搬运带17a〜17c的辊、链轮等驱动体18a、以及使该驱动体18a旋转的马达未图示)。[0049]如图2所示,各搬运带17a〜17c在玻璃膜G的宽度方向Y上分离地配置。由此,在第一搬运带1¾与第三搬运带17c之间、第二搬运带与第三搬运带17c之间形成有间隙。[0050]如图1至图3所示,切断部5除第二搬运装置14以外,还具备设置于该第二搬运装置14的上方位置的激光照射装置19、以及支承玻璃膜G的一部分的平台20。[0051]激光照射装置19构成为朝向下方照射例如C02激光、YAG激光或其他激光LB。对玻璃膜G向规定的位置照射位置0照射激光LB。在本实施方式中,以将玻璃膜G的宽度方向两端部Ga、Gb切断的方式配置有两台激光照射装置19。如图2所示,激光LB的照射位置〇设定为,与第二搬运装置14中的第一搬运带Wa与第三搬运带17c之间的间隙以及第二搬运带17b与第三搬运带17c之间的间隙对应。[0052]如图3以及图4所示,平台2〇配置在激光照射装置19的下方位置。在本实施方式中,与两台激光照射装置19对应地设置有两台平台20。其中,一方的平台20配置在第二搬运装置14中的第一搬运带17a与第三搬运带17c之间的间隙。另一方的平台20配置在第二搬运带17b与第三搬运带17c之间的间隙。[0053]平台2〇为金属制,具有支承非产品部Gc的第一支承部21、支承产品部Gd的第二支承部22、以及形成在第一支承部21与第二支承部22之间的开口部23。[0054]第一支承部21以及第二支承部22在其上部具有树脂板24、25。第一支承部21以及第二支承部22通过各树脂板24、25而使在平台2〇上通过的玻璃膜G的一部分容易滑动。第一支承部21通过在其上部设置的树脂板24的上表面24a来支承玻璃膜G非产品部GC。以下,将该上表面24a称作第一支承部21的支承面。同样地,设置于第二支承部22的树脂板25的上表面25a也成为支承玻璃膜G产品部Gd的支承面。[0055]开口部23具有规定的宽度尺寸以及长度尺寸,沿着玻璃膜G的搬运方向X构成为长条状。开口部23构成为上下贯通平台20的孔。在该开口部23连接有吸引泵26。通过该结构,开口部23作为对通过平台20的玻璃膜G进行吸引的吸引孔而发挥功能。[0056]如图3以及图4所示,在开口部23的上方设置有激光照射装置19。由此,激光照射装置19能够在开口部23的范围内向玻璃膜G照射激光LB。[0057]如图4所示,激光LB向玻璃膜G的照射位置0比第一支承部21与第二支承部22的中间位置MP向靠近第一支承部21的位置偏移。对于该偏移,在将从第一支承部21至激光LB的照射位置0的距离设为L1,将从第二支承部22至激光LB的照射位置0的距离设为L2时,优选11D。由此,能够尽可能地降低玻璃膜G的顶部GT的横向偏移的影响,能够抑制熔断部分29的蜿蜒行进现象。[0072]如上述那样,在玻璃膜G变形的状态下,向玻璃膜G的照射位置0照射来自激光照射装置19的激光LB。如上述那样,该照射位置0向呈凸状变形的玻璃膜G的顶部GT的变动范围D外的、靠近第一支承部21的位置偏移。通过向该照射位置0照射激光LB,从而如图6所示,玻璃膜G被熔断为非产品部Gc和产品部Gd。在该情况下,玻璃膜G的熔断部分29不会蜿蜒行进,而是沿着玻璃膜G的搬运方向X呈直线状地延展。由熔断产生的熔融玻璃Ge经由开口部23而被吸引,并在开口部23的下方位置被回收。需要说明的是,向玻璃膜G喷射辅助气体AG,以使得熔融玻璃Ge不飞派并且熔融玻璃不作为渣滓而附着于激光照射装置19的透镜。[0073]需要说明的是,非产品部Gc由第二搬运装置14的第一搬运带17a以及第二搬运带17b向下游侧搬运,在卷绕部6的上游侧由未图示的回收装置回收。[0074]在卷绕工序中,一边从保护片供给部28向产品部Gd供给保护片28a,一边通过卷绕部6的卷绕辊27将由第二搬运装置14搬运来的产品部Gd呈卷状卷绕。通过卷绕辊27卷绕规定长度的产品部Gd,从而完成玻璃卷R。[0075]根据以上说明的本实施方式所涉及的玻璃膜G的制造方法,不在第一支承部21与第二支承部22的中间位置MP向玻璃膜G照射激光LB,而在与呈凸状变形的玻璃膜G的顶部GT不一致的位置、即该顶部GT的变动范围D外的位置中的、靠近第一支承部21的位置照射位置〇向玻璃膜G照射激光LB。由此,通过防止由于以与玻璃膜G的顶部GT—致的方式照射激光LB而产生的熔断部分1〇3的蜿蜒行进现象,能够将玻璃膜G高精度地切断。[0076]图7至图9示出玻璃膜的制造方法所涉及的第二实施方式。在本实施方式中,平台20的方式与第一实施方式不同。在本实施方式中,如图7所示,第二支承部22的支承面25在弟一义眾部il的叉承面24a高的位置处支承玻璃膜G产品部Gd。[0077]、f本实施方式中,第一支承部21的支承面24a与第二支承部22的支承面25a的高低差优选设定为约1mm,但并不局限于此,能够根据玻璃膜G的厚度而适当设定。该高低差的设定例如通过重叠在第二支承部22的上部设置的多个树脂板25来进行。与第一实施方式同样地,玻璃膜G在开口部23的范围内被吸引而以向下方凸出的方式变形。由激光照射装置19产生的激光LB的照射位置〇从第一支承部u与第二支承部22的中间点吧以规定距离〇D向靠近第一支承部21的位置偏移。[0078]本实施方式的其他结构与第一实施方式相同,对与第一实施方式相同的构成要素标注相同的附图标记。[0079]以下,对本实施方式的玻璃膜G的制造方法进行说明。在本实施方式中,利用所谓的剥落现象而将玻璃膜G切断。具体而言,与第一实施方式同样地,一边搬运玻璃膜G,一边如图8所示朝着向靠近第一支承部21的位置偏移了的照射位置〇照射激光LB,从而将玻璃膜G熔断为非产品部Gc和产品部Gd。由此产生的熔断部分29与第一实施方式同样地不蜿蜒行进而呈直线状地延展。[OOSO]熔断部分29参照图8因玻璃膜G向下游侧搬运而远离照射位置〇从而被冷却。在熔断部分29中,因被冷却而产生热应变,由此产生的应力作为拉力作用于未熔断的部分。通过该作用,如图9所示,从非产品部Gc的宽度方向端部以及产品部Gd的宽度方向端部分离出丝状剥离物Gf。通常,将像这样丝状剥离物Gf从玻璃膜G非产品部Gc以及产品部Gd的端部剥离掉落的现象称作剥落现象。由于产生丝状剥离物Gf,从而在玻璃膜G形成均匀的切断面。丝状剥离物Gf例如通过卷绕于棒状的回收构件或者通过传送带进行搬运而被不断裂地回收。[0081]在本实施方式中,通过将平台20的第二支承部22的支承面25a的位置设定为比第一支承部21的支承面25a高,从而能够使从该第二支承部22所支承的产品部Gd产生的丝状剥离物Gf向上方移动,使从第一支承部21所支承的非产品部Gc产生的丝状剥离物Gf向下方移动。即,如图9所示,从产品部Gd侧产生的丝状剥离物Gf位于从非产品部Gc侧产生的丝状剥离物Gf的上侧。[0082]因此,促进非产品部Gc侧的丝状剥离物Gf向产品部Gd侧的下方的移动。另外,由于在上方没有障碍物,因此从产品部Gd侧产生的丝状剥离物Gf以远离产品部Gd接近非产品部Gc的方式向上方移动。这样,各丝状剥离物Gf以远离产品部Gd的产品面上表面的方式移动,因此不会使产品部Gd损伤。因此,在本实施方式所涉及的玻璃膜G的制造方法中,能够不损伤产品部Gd而将玻璃膜G高精度地切断。[0083]本发明者进行了用于确认本发明的效果的试验。在该试验中,作为比较例,准备带状的玻璃膜G,通过平台20的开口部23吸入该玻璃膜G,并且将激光LB向该玻璃膜G的照射位置0设定为位于向下方呈凸状变形的玻璃膜G的顶部GT的位置变动范围内来进行了切断。另夕卜,作为实施例,准备带状的玻璃膜G,与比较例同样地通过开口部23吸入该玻璃膜G,向处于向下方呈凸状变形的玻璃膜G的顶部GT的位置变动范围外的、向靠近第一支承部21的方向偏移的位置照射激光LB,而进行了该玻璃膜G的切断。[0084]在该试验中,将平台20的第一支承部21与第二支承部22的距离L设为20111^在该试验中,将吸引栗26的吸气量设定为5〇〇lmin。通过吸引玻璃膜G,而将激光LB的照射位置0咼度位置设疋在比不吸引的情况靠下方的位置。在该试验中,激光LB的照射位置0设定在比第一支承部21的支承面25a靠下方〇.15ram的位置。[OOSS]对各例进行比较,比较例所涉及的玻璃膜G的熔断部分(相当于图11的熔断部分103蜿蜒行进,无法得到直线状的切断面,相对于此,实施例所涉及的玻璃膜G与比较例相比,其熔断部分29不蜿蜒行进而能够得到直线状的切断面。[0086]需要说明的是,本发明不限定于上述实施方式的结构,也不限定于上述的作用效果。本发明能够在不脱离本发明的主旨的范围进行各种变更。[0087]在上述的实施方式中,示出将玻璃膜G切断为非产品部Gc和产品部Gd的例子,但并不限定于此。也可以将玻璃膜G切断为两个以上的部分,将它们全部或者一部分设为产品部Gd〇[OOSS]在上述的实施方式中,示出了通过卷绕部6卷绕玻璃膜G从而制造玻璃卷R的例子,但并不限定于此。即,卷绕工序可以省略,对于不构成为卷状的玻璃膜G也可以应用本方法。[0089]在上述的实施方式中,示出了使激光LB向玻璃膜G照射的照射位置0从中间位置MP向靠近第一支承部21的位置偏移的例子,但并不限定于此。也可以使激光LB的照射位置0向靠近第二支承部22的位置偏移而将玻璃膜G熔断。[0090]在上述的实施方式中,示出了将第二支承部22的支承面25a设定在比第一支承部21的支承面25a高的位置的例子,但并不限定于此。例如,也可以将第一支承部21的支承面25a设定在比第二支承部22的支承面25a高的位置。另外,也可以将第一支承部21的支承面24a和第二支承部22的支承面25a设定在相同的高度位置。[0091]在上述的实施方式中,示出了使用具备第一支承部21、第二支承部22以及开口部23的平台20将玻璃膜G切断的例子,但并不限定于此。在本发明所涉及的切断工序中,也可以不使用平台20而将玻璃膜G切断。在该情况下,在第二搬运装置14中的第一搬运带17a与第三搬运带17c之间以及第二搬运带17b与第三搬运带17c之间将玻璃膜G切断。[0092]具体而言,第三搬运带17c成为第一支承部,第一搬运带17a以及第二搬运带17b成为第二支承部。另外,第三搬运带17c与第一搬运带17a之间的间隙、以及第三搬运带17c与第二搬运带17b之间的间隙作为开口部而使用。另外,可以将第三搬运带17c中的玻璃膜G的支承位置设定为比第一搬运带17a以及第二搬运带17b中的玻璃膜G的支承位置高。[0093]在上述的实施方式中,示出了借助平台20的开口部23通过吸引泵26进行吸引,从而使玻璃膜G以向下方凸出的方式变形的例子,但并不限定于此。也可以不通过吸引泵26进行吸引,而是利用玻璃膜G的自重,在开口部23的范围内使玻璃膜G以向下方凸出的方式变形。[0094]附图标记说明[0095]19激光照射装置[0096]20平台[0097]21第一支承部[0098]22第二支承部[0099]23开口部[0100]G玻璃膜[0101]Gc非产品部[0102]Gd产品部[0103]Ge丝状剥离物[0104]LB激光[0105]0激光的照射位置[0106]MP中间位置

权利要求:1.一种玻璃膜的制造方法,包括利用搬运装置沿规定的方向搬运带状的玻璃膜的搬运工序、以及一边通过所述搬运工序搬运所述玻璃膜一边利用切断部将所述玻璃膜溶断为第一部分和第二部分的切断工序,所述玻璃膜的制造方法的特征在于,_所述切断部具备激光照射装置、支承所述第一部分的第一支承部、支承所述第二部分的第二支承部、以及在所述第一支承部与所述第二支承部之间设置在所述激光照射装置的下方位置的开口部,在所述切断工序中,在所述开口部使所述玻璃膜以向下方凸出的方式变形,并且在所述开口部的范围内以与所述玻璃膜的顶部不一致的方式照射由所述激光照射装置产生的所述激光。2.根据权利要求1所述的玻璃膜的制造方法,其中,所述搬运装置具备包含所述第一支承部、所述第二支承部以及所述开口部的平台,在所述切断工序中,通过在所述开口部处进行吸引而使所述玻璃膜以向下方凸出的方式变形。3.根据权利要求1或2所述的玻璃膜的制造方法,其中,所述第一部分为非产品部,所述第二部分为产品部,所述激光向所述玻璃膜的照射位置以与所述玻璃膜的所述顶部不一致的方式向靠近所述第一支承部的位置偏移。4.根据权利要求3所述的玻璃膜的制造方法,其中,在将从所述第一支承部至所述激光的所述照射位置的距离设为L1,将从所述第二支承部至所述激光的所述照射位置的距离设为12时,设定为1112=3:7〜4.5:5.5。5.根据权利要求1至4中任一项所述的玻璃膜的制造方法,其中,在所述切断工序中,在通过所述激光将所述玻璃膜熔断后,从所述第一部分的宽度方向端部以及所述第二部分的宽度方向端部产生丝状剥离物。6.根据权利要求5所述的玻璃膜的制造方法,其中,所述第二支承部在比所述第一支承部高的位置支承所述产品部。

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