申请/专利权人：江苏中天科技股份有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所

申请日：2020-09-10

公开（公告）日：2021-01-12

公开（公告）号：CN212341087U

主分类号：G01N27/30(20060101)

分类号：G01N27/30(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.01.12#授权

摘要：本申请提供一种微纳传感装置，用于在线检测水体的pH值，包括：阳极键合封装形成的玻璃基片与硅基片，所述玻璃基片上设有参比电极；所述硅基片上开设有储液池以及与所述储液池相通的微纳米孔用以稳定所述参比电极；所述硅基片上还装设有铂对电极与氢离子敏感场效应晶体管，所述铂对电极与所述氢离子敏感场效应晶体管构成pH值测量回路，通过所述氢离子敏感场效应晶体管检测输出电压，并根据所述输出电压与所述参比电极的差值确定所述水体的pH值。通过本申请，能够提高pH值在线测量的效率。

主权项：1.一种微纳传感装置，用于在线检测水体的pH值，其特征在于，包括：阳极键合封装形成的玻璃基片与硅基片，所述玻璃基片上设有参比电极；所述硅基片上开设有储液池以及与所述储液池相通的微纳米孔用以稳定所述参比电极；所述硅基片上还装设有铂对电极与氢离子敏感场效应晶体管，所述铂对电极与所述氢离子敏感场效应晶体管构成pH值测量回路，通过所述氢离子敏感场效应晶体管检测输出电压，并根据所述输出电压与所述参比电极的基准电压的差值确定所述水体的pH值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏中天科技股份有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 微纳传感装置

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