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【实用新型】半导体转塔式真空旋转仓体_苏州杰锐思智能科技股份有限公司_202020467963.3 

申请/专利权人:苏州杰锐思智能科技股份有限公司

申请日:2020-04-02

公开(公告)日:2021-01-12

公开(公告)号:CN212333949U

主分类号:B65G47/91(20060101)

分类号:B65G47/91(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.01.12#授权

摘要:本实用新型公开了半导体转塔式真空旋转仓体,包括:真空仓体包括多个气路,在真空仓体上设有多个气路;气流分配块包括多个气流分配单体,多个气流分配单体与真空仓体的多个气路一一对应的设置且能够相对于真空仓体旋转,以实现料件的吸放动作。本实用新型结构简单,气流分配块包括的多个气流分配单体与真空仓体的气路一一对应,当实际工况变更需要增加或者减少气路数量时,设变为需要的气路数量即可,能够适用于不同工况,而且真空仓体上的气路短,气流稳定,正负压切换可以非常及时,不会有真空或正压残余的现象。

主权项:1.半导体转塔式真空旋转仓体,其特征在于,包括:真空仓体,包括多个气路,在真空仓体上设有多个气路;气流分配块,包括多个气流分配单体,多个气流分配单体与真空仓体的多个气路一一对应的设置且能够相对于真空仓体旋转,使得多个气流分配单体连通或不连通真空仓体上的多个气路,以实现料件的吸放动作。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 苏州杰锐思智能科技股份有限公司 半导体转塔式真空旋转仓体

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