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【实用新型】一种可自动夹紧的真空镀膜旋转基片台_磐石创新(江苏)电子装备有限公司_202020558463.0 

申请/专利权人:磐石创新(江苏)电子装备有限公司

申请日:2020-04-15

公开(公告)日:2021-01-12

公开(公告)号:CN212335276U

主分类号:C23C14/50(20060101)

分类号:C23C14/50(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.01.12#授权

摘要:本实用新型涉及一种可自动夹紧的真空镀膜旋转基片台,包括夹紧法兰,样品台,水冷法兰,密封法兰,升降法兰,电机支架,主动同步带轮,从动同步带轮,弹簧,电机,磁流体,第一导杆,真空室顶板,第二导杆,升降轴组件;夹紧法兰的两端分别固定设置在相互平行的第一导杆、第二导杆的底部;第一导杆和第二导杆自上而下依次设置有升降法兰、密封法兰和水冷法兰;升降轴组件能够抵压或远离升降法兰,在抵压升降法兰时能够使得夹紧法兰与水冷法兰分离;在远离升降法兰时能够在弹簧的作用下使得夹紧法兰带动样品台上升并与水冷法兰相贴合。其具有结构设计合理,可实现基片快速自动夹紧,并且与水冷基片台完全贴合以达到更好的水冷效果等优点。

主权项:1.一种可自动夹紧的真空镀膜旋转基片台,其特征在于:该真空镀膜旋转基片台包括夹紧法兰1、样品台2、水冷法兰3、密封法兰4、升降法兰5、电机支架6、主动同步带轮7、从动同步带轮8、弹簧9、电机10、磁流体组件、第一导杆12、真空室顶板13、第二导杆14、升降轴组件15;其中,所述夹紧法兰的两端分别固定设置在相互平行的第一导杆、第二导杆的底部;所述第一导杆和第二导杆自上而下依次设置有升降法兰、密封法兰和水冷法兰;所述样品台放置在所述夹紧法兰与水冷法兰之间;所述水冷法兰安装在密封法兰上,所述密封法兰与磁流体组件连接;所述弹簧套设在第一导杆、第二导杆上,并且位于所述密封法兰和升降法兰之间;所述主动同步带轮安装在电机上,所述电机通过电机支架固定在真空室顶板上,所述磁流体组件与真空室顶板固定,所述从动同步带轮固定在磁流体组件上;所述主动同步带轮与从动同步带轮传动连接;所述升降轴组件能够抵压或远离升降法兰,在抵压升降法兰时能够使得夹紧法兰与水冷法兰分离;在远离升降法兰时能够在弹簧的作用下使得夹紧法兰带动样品台上升并与水冷法兰相贴合。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 磐石创新(江苏)电子装备有限公司 一种可自动夹紧的真空镀膜旋转基片台

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