申请/专利权人：磐石创新(江苏)电子装备有限公司

申请日：2020-04-15

公开（公告）日：2021-01-12

公开（公告）号：CN212335277U

主分类号：C23C14/50(20060101)

分类号：C23C14/50(20060101);C23C16/458(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.01.12#授权

摘要：本实用新型涉及一种可自动翻面的真空镀膜基片台，包括样品固定架、基片台、固定轴套、轴承端盖、过渡轴套、齿轮压垫、主动齿轮、磁流体、上法兰、支杆、电机支板、电机、联轴器、从动齿轮、升降拨动杆组件、真空室顶板、轴承；样品固定架设在基片台上；电机设置在电机支板上并且电机的输出轴通过联轴器与磁流体的导磁回转轴一端连接；主动齿轮通过齿轮压垫固定在磁流体的导磁回转轴上；从动齿轮与主动齿轮相啮合；主动齿轮带动从动齿轮使基片台转动，在基片台转动的同时，升降拨动杆组件能够与样品固定架驱动连接用于样品固定架的翻转。其具有结构设计合理、操作使用方便、加工成本低、镀膜效率高的优点。

主权项：1.一种可自动翻面的真空镀膜基片台，其特征在于：该真空镀膜基片台包括样品固定架1、基片台2、固定轴套3、轴承端盖4、过渡轴套5、齿轮压垫6、主动齿轮7、磁流体组件、上法兰9、支杆10、电机支板11、电机12、联轴器13、从动齿轮14、升降拨动杆组件15、真空室顶板16、轴承17；其中，所述样品固定架设在基片台上；所述从动齿轮和基片台分别固定设置在过渡轴套的上侧、下侧；所述轴承端盖设置在轴承上，所述过渡轴套通过轴承端盖固定设置在固定轴套上；所述固定轴套的顶端设置有上法兰；所述上法兰设置在真空室的顶板上面；所述支杆均匀间隔设置在电机支板的底部；所述磁流体组件设置在支杆围成的空腔中；所述电机设置在电机支板上并且电机的输出轴通过联轴器与磁流体组件的导磁回转轴一端连接；所述磁流体组件的导磁回转轴另一端依次穿过上法兰、真空室顶板；所述主动齿轮通过齿轮压垫固定在磁流体组件的导磁回转轴上；所述从动齿轮与主动齿轮相啮合；所述主动齿轮带动从动齿轮使基片台转动，在基片台转动的同时，所述升降拨动杆组件能够与样品固定架驱动连接用于样品固定架的翻转。

全文数据：

权利要求：

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