申请/专利权人:深圳市原速光电科技有限公司
申请日:2020-04-27
公开(公告)日:2021-01-12
公开(公告)号:CN212335294U
主分类号:C23C16/46(20060101)
分类号:C23C16/46(20060101);C23C16/455(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.01.12#授权
摘要:本实用新型提供了一种冷水辊及原子层沉积设备,其中冷水辊内设置有第一流道和第二流道。本实用新型技术方案通过在冷水辊的轴心位置开设第一流道,但第一流道不贯穿冷水辊,并在冷水辊的内部开设第二流道,当卷料的料条贴附在冷水辊的外周壁上,随着水流不断的经过第二流道,给冷水辊的外周壁进行快速降温,有效降低料条的温度,且本实用新型冷水辊的结构简单,将本实用新型冷水辊设置在具有较高气密性要求的设备上后,仅需将冷水辊上具有入水接口和出水接口的一端进行气密性保护即可,无需两端气密性保护,减少冷水辊另一端泄气的风险,进行有效提高整机的气密性。
主权项:1.一种冷水辊,其特征在于,所述冷水辊的轴心位置设置有第一流道,所述冷水辊的内部还设置有第二流道,所述冷水辊的一端设置有入水接口和出水接口,所述第一流道与所述入水接口连通,所述第二流道与所述出水接口连通,所述第一流道和所述第二流道连通;其中,冷却液体依次从所述入水接口进入所述第一流道内,再经过第二流道流至所述出水接口,并流出所述第二流道。
全文数据:
权利要求:
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