申请/专利权人：天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司

申请日：2020-05-12

公开（公告）日：2021-01-12

公开（公告）号：CN212330687U

主分类号：B24B41/00(20060101)

分类号：B24B41/00(20060101);B08B13/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.01.12#授权

摘要：本实用新型提供一种硅片存放装置，具有水槽，在所述水槽内设有用于承载并控制片篮的控制单元，所述控制单元带动所述片篮在所述水槽内升降或倾斜。本实用新型存放装置，尤其是适用于抛光过程中临时存放因设备异常暂停而导致无法继续流转的硅片，结构简单，易于控制，不仅可保护硅片的完整性，而且可防止硅片暴漏在空气中而报废，保证硅片流转的连续性，提升抛光机的稼动率，提高生产效率，降低生产成本。

主权项：1.一种硅片存放装置，其特征在于，具有水槽，在所述水槽内设有用于承载并控制片篮的控制单元，所述控制单元带动所述片篮在所述水槽内升降或倾斜；所述控制单元具有托板、用于控制所述托板倾斜的转轴以及用于推动所述托板升降的顶轴；所述转轴置于所述托板和所述顶轴上端面之间且分别与所述托板和所述顶轴连接；所述顶轴置于所述水槽内侧并使所述托板悬空设置。

全文数据：

权利要求：

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