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【实用新型】一种镜头调倍结构、照明镜头以及直写曝光机_苏州微影激光技术有限公司_202020894309.0 

申请/专利权人:苏州微影激光技术有限公司

申请日:2020-05-25

公开(公告)日:2021-01-12

公开(公告)号:CN212341674U

主分类号:G03F7/20(20060101)

分类号:G03F7/20(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.01.12#授权

摘要:本实用新型公开了一种镜头调倍结构、照明镜头以及直写曝光机,涉及直写式曝光技术领域。该镜头调倍结构包括第一透镜、第一镜筒、第二透镜、第三透镜和调节组件,其中第一透镜活动设置于第一镜筒内且第一透镜与第一镜筒同轴设置,第二透镜和第三透镜沿第一镜筒的轴向间隔且相对设置于第一镜筒内,第二透镜和第三透镜均与第一透镜同轴设置且与第一镜筒固接,第一透镜位于第二透镜和第三透镜之间;调节组件包括调节件和设置于第一镜筒上的滑槽,调节件滑动穿设于滑槽内且能够带动第一透镜在第二透镜和第三透镜之间移动。通过调节件在滑槽里移动带动第一透镜在第二透镜和第三透镜之间运动,以达到镜头调倍的目的,结构简单且调节方便。

主权项:1.一种镜头调倍结构,其特征在于,包括:第一透镜1和第一镜筒2,所述第一透镜1活动设置于所述第一镜筒2内且所述第一透镜1与所述第一镜筒2同轴设置;第二透镜3和第三透镜9,所述第二透镜3和所述第三透镜9沿所述第一镜筒2的轴向间隔且相对设置于所述第一镜筒2内,所述第二透镜3和所述第三透镜9均与所述第一透镜1同轴设置且与所述第一镜筒2固接,所述第一透镜1位于所述第二透镜3和所述第三透镜9之间;调节组件,包括调节件5和设置于所述第一镜筒2上的滑槽6,所述调节件5滑动穿设于所述滑槽6内且能够带动所述第一透镜1在所述第二透镜3和所述第三透镜9之间移动。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 苏州微影激光技术有限公司 一种镜头调倍结构、照明镜头以及直写曝光机

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