申请/专利权人：极光先进雷射株式会社

申请日：2020-06-12

公开（公告）日：2021-01-12

公开（公告）号：CN212341675U

主分类号：G03F7/20(20060101)

分类号：G03F7/20(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.01.12#授权

摘要：本申请实施例提供一种定位测量装置、定位调节装置以及激光系统。所述定位测量装置包括：第1部件，其具有供入射的激光通过的第1开口，并使所述入射的激光的光束直径减小并且输出所述激光；第1光学元件，其对所述激光的至少一部分进行反射；第2部件，其被配置在所述第1部件与所述第1光学元件之间，具有供所述激光通过的第2开口；第2光学元件，其将所述第1光学元件反射的所述激光朝向所述第1光学元件进行反射；以及测量部，其对在所述第2部件上生成的光的位置进行测量。由此，能够容易地提高定位的测量精度，而不必扩大激光系统内的空间或者不必使用高灵敏度的光传感器。

主权项：1.一种定位测量装置，其特征在于，所述定位测量装置包括：第1部件，其具有供入射的激光通过的第1开口，使所述入射的激光的光束直径减小并且输出所述激光；第1光学元件，其对所述激光的至少一部分进行反射；第2部件，其被配置在所述第1部件与所述第1光学元件之间，具有供所述激光通过的第2开口；第2光学元件，其将所述第1光学元件反射的所述激光朝向所述第1光学元件进行反射；其中，反射回所述第1光学元件的所述激光朝向所述第2部件照射，并且所述第2部件对来自所述第1光学元件的所述激光产生反应并生成波长与所述激光不同的光；以及测量部，其对在所述第2部件上生成的光的位置进行测量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 极光先进雷射株式会社 定位测量装置、定位调节装置以及激光系统

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