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【发明公布】工件固持加热设备_瓦里安半导体设备公司_202011109040.1 

申请/专利权人:瓦里安半导体设备公司

申请日:2016-03-01

公开(公告)日:2021-01-15

公开(公告)号:CN112234000A

主分类号:H01L21/67(20060101)

分类号:H01L21/67(20060101)

优先权:["20150313 US 14/657,193"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2021.02.02#实质审查的生效;2021.01.15#公开

摘要:本申请揭露一种工件固持加热设备,其可用于在处理期间增进工件的温度均匀性。所述设备包含具有分开控制的边缘加热器的压板,边缘加热器能够独立地加热压板的外边缘。以此方式,可在压板的外边缘供应额外热量,从而帮助维持在全部压板上的恒定温度。此边缘加热器可安置于压板的外表面上,或在某些实施例中,可嵌入于压板中。在某些实施例中,将边缘加热器以及主要加热元件安置在两个不同平面中,其中边缘加热器比主要加热元件安置得更靠近压板的顶表面。

主权项:1.一种工件固持加热设备,其特征在于,包括:压板,其中所述压板包括顶表面、底表面以及在所述顶表面与所述底表面之间延伸的侧壁;主要加热元件,其安置在第一平面中且安置在所述压板中或贴附到所述压板的底表面上;以及第一边缘加热器,其嵌入于所述压板中且安置在第二平面中,其中所述第二平面比所述第一平面更靠近所述顶表面。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 瓦里安半导体设备公司 工件固持加热设备

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