申请/专利权人:索尼公司
申请日:2019-04-23
公开(公告)日:2021-01-19
公开(公告)号:CN112243535A
主分类号:H01L27/11502(20060101)
分类号:H01L27/11502(20060101);H01L27/11585(20060101)
优先权:["20180606 JP 2018-108634"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2021.04.30#实质审查的生效;2021.01.19#公开
摘要:一种铁电存储装置,具备铁电体膜和一对电极,所述铁电体膜是:A具有萤石型晶体结构,B包含长度nm大于厚度nm的板状雏晶,C厚度为1nm以上且30nm以下,并且D长度与厚度之比为2以上且小于100;所述一对电极与该铁电体膜连接。
主权项:1.一种铁电存储装置,具备铁电体膜和一对电极,所述铁电体膜是:A具有萤石型晶体结构,B包含长度nm大于厚度nm的板状雏晶,C所述厚度为1nm以上且30nm以下,并且D所述长度与所述厚度的比率为2以上且小于100,所述一对电极与所述铁电体膜连接。
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