申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2020-07-08

公开（公告）日：2021-01-19

公开（公告）号：CN112239852A

主分类号：C23C14/34(20060101)

分类号：C23C14/34(20060101)

优先权：["20190718 JP 2019-133148"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.11.14#授权;2021.02.05#实质审查的生效;2021.01.19#公开

摘要：本发明提供靶结构和成膜装置。靶结构包括：靶；冷却套，其具有供热交换介质流通的流路；和背板，上述靶与上述冷却套的一个面接合，上述冷却套的另一个面与上述背板在周围部接合，在比上述周围部靠内侧处具有不接合的非接合区域。本发明能够抑制靶的接合部剥离。

主权项：1.一种靶结构，其特征在于，包括：靶；冷却套，其具有供热交换介质流通的流路；和背板，所述靶与所述冷却套的一个面接合，所述冷却套的另一个面与所述背板在周围部接合，在比所述周围部靠内侧处具有不接合的非接合区域。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 靶结构和成膜装置

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