申请/专利权人：皮考逊公司

申请日：2020-07-08

公开（公告）日：2021-01-19

公开（公告）号：CN112239858A

主分类号：C23C16/455(20060101)

分类号：C23C16/455(20060101);C23C16/50(20060101);C23C16/40(20060101);H01L21/02(20060101)

优先权：["20190717 US 62/875,111"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.02.05#实质审查的生效;2021.01.19#公开

摘要：本发明提供制造耐腐蚀涂覆物品的方法，耐腐蚀涂覆物品及其用途。本发明提供一种由异形基底制造耐腐蚀涂覆物品的方法，包括：在化学沉积的装置中，将保形第一涂层沉积在异形基底上，第一涂层作为第一金属化合物提供，以及在第一涂层的顶部上沉积作为第二金属化合物提供的第二涂层；在等离子体加工的装置中，将含卤素等离子体递送到异形基底上以产生耐腐蚀第三涂层；其中第三涂层由卤素掺杂的第二金属化合物组成。该方法使能够沉积三重涂层用于保护在等离子体加工设备诸如等离子体增强化学气相沉积PECVD装置或等离子体蚀刻器中使用的物品。

主权项：1.一种用于由异形基底10制造耐腐蚀涂覆物品100的方法，所述方法包括：在用于化学沉积的装置R1中，将保形第一涂层1沉积在所述异形基底10上，所述第一涂层1作为第一金属化合物Me1提供，以及在所述第一涂层1的顶部上沉积作为第二金属化合物Me2提供的第二涂层2，在用于等离子体加工的装置R2中，将含卤素等离子体递送到涂覆有所述第一涂层和第二涂层的所述异形基底10上以产生耐腐蚀第三涂层3，3A，其中在所述第二涂层2的顶部上形成涂覆物的所述第三涂层3由卤素掺杂的第二金属化合物Hl-Me2组成。

全文数据：

权利要求：

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