【发明公布】基板处理装置和基板传送装置_细美事有限公司_202010677474.5 

申请/专利权人:细美事有限公司

申请日:2020-07-14

发明/设计人:权五烈;李廷焕;朴修永

公开(公告)日:2021-01-19

代理机构:北京中博世达专利商标代理有限公司

公开(公告)号:CN112242336A

代理人:车今智

主分类号:H01L21/677(20060101)

地址:韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号

分类号:H01L21/677(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权:["20190717 KR 10-2019-0086540"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2021.01.19#公开

摘要:本发明提供了一种基板处理装置和基板传送装置。基板处理装置包括:多个装载端口,所述多个装载端口上放置有载体,所述载体具有接收在其中的基板;多个工艺腔室,所述多个工艺腔室在所述基板上执行工艺;以及传送机械手,所述传送机械手在所述装载端口和所述工艺腔室之间传送所述基板。所述传送机械手沿着传送通道为可移动的,所述传送通道具有沿着第一方向形成的纵向方向,所述装载端口和所述工艺腔室在所述传送通道的一侧和相对侧上沿着所述第一方向布置,并且所述传送机械手在放置于所述装载端口上的所述载体与所述工艺腔室之间传送所述基板。

主权项:1.一种基板处理装置,其包括:多个装载端口,所述多个装载端口上放置有载体,所述载体具有接收在其中的基板;多个工艺腔室,其配置为在所述基板上执行工艺;以及传送机械手,其配置为在所述装载端口和所述工艺腔室之间传送所述基板,其中,所述传送机械手沿着传送通道为可移动的,所述传送通道具有沿着第一方向形成的纵向方向,其中,所述装载端口和所述工艺腔室在所述传送通道的一侧和相对侧上沿着所述第一方向布置,并且其中,所述传送机械手在放置于所述装载端口上的所述载体与所述工艺腔室之间传送所述基板。

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权利要求:

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