申请/专利权人：长江存储科技有限责任公司

申请日：2020-10-28

公开（公告）日：2021-01-19

公开（公告）号：CN112240728A

主分类号：F28F27/02(20060101)

分类号：F28F27/02(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.04.19#授权;2021.02.05#实质审查的生效;2021.01.19#公开

摘要：本发明提供一种改善冷却系统水流虚假报警的方法和半导体处理设备，属于半导体集成电路制造设备领域，用于改善冷却系统水流虚假报警的问题。所述改善冷却系统水流虚假报警的方法，所述面板的冷却系统内安装有常开阀门和常闭阀门，所述常开阀门和或所述常闭阀门由流体驱动启闭，在所述常开阀门和或所述常闭阀门的本体或其流体供应管道上设置自动泄压结构。本发明方法和半导体处理设备可以使常开阀门和常闭阀门开关速度可以长期保持稳定，而且可以极大降低面板水流虚假报警出现的频率，提高机台正常工作时间。

主权项：1.一种改善冷却系统水流虚假报警的方法，所述面板的冷却系统内安装有常开阀门和常闭阀门，其特征在于，所述常开阀门和或所述常闭阀门由流体驱动启闭，在所述常开阀门和或所述常闭阀门的本体或其流体供应管道上设置自动泄压结构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长江存储科技有限责任公司 改善冷却系统水流虚假报警的方法和半导体处理设备

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