申请/专利权人：赫得纳米科技(昆山)有限公司

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2021-01-19

公开（公告）号：CN212370468U

主分类号：B05B16/40(20180101)

分类号：B05B16/40(20180101);B05B14/43(20180101);B05B14/48(20180101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.01.19#授权

摘要：本实用新型公开了一种ITO薄膜均匀镀膜装置，包括镀膜箱、过滤箱、镀膜装置、注液装置和过滤装置；将ITO薄膜经过镀膜箱内部的镀膜池内，通过注液口和镀膜液喷淋管注入镀膜液对ITO薄膜进行喷淋镀膜，喷淋多余的镀膜液经过镀膜池内部的注液板流入到排液口处，在经过排液口向外侧排出，此时，过滤箱主要用于对镀膜箱内的粉尘进行吸附过滤，空气会依次沿着下导流通道和上导流通道之间的V型流道流动，从而被吸附和冷却，吸附效果高且冷却效果也好；无纺布表面可植入绒毛，导热板和冷却管均可为铝制或铜制，增加导热性，冷却管可以外接接冷却水，下过滤网可以避免其他大尺寸物体进入过滤箱内，上过滤网避免其他物体进入抽真空泵内，起到保护作用。

主权项：1.一种ITO薄膜均匀镀膜装置，包括镀膜箱、过滤箱、镀膜装置、注液装置和过滤装置；其特征在于，所述镀膜箱1的上端设有过滤箱11，且镀膜箱1的内部上端设有注液装置，镀膜箱1的内部下端设有镀膜装置，且过滤箱11的内部设有过滤装置；所述镀膜装置包括镀膜池3、支撑板2、注液板4和排液口5；所述镀膜箱1内部下端的左侧设有支撑板2，且镀膜箱1内部下端的右侧设有镀膜池3，镀膜池3的内部下侧设有倾斜状的注液板4，且镀膜池3的右端下侧与注液板4的对应处设有排液口5，且排液口5的一侧端部贯穿延伸至镀膜箱1的外端下侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 赫得纳米科技(昆山)有限公司 一种ITO薄膜均匀镀膜装置

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