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【实用新型】分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机_常州铭赛机器人科技股份有限公司_202021418358.3 

申请/专利权人:常州铭赛机器人科技股份有限公司

申请日:2020-07-17

公开(公告)日:2021-01-19

公开(公告)号:CN212381419U

主分类号:H05B3/26(20060101)

分类号:H05B3/26(20060101);H01L21/67(20060101);B05C5/02(20060101);B05C13/00(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.01.19#授权

摘要:本实用新型公开了一种分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机,分区加热的晶圆加热装置包括:发热支撑台、加热管、加热盘、至少两个热电偶、温控器,发热支撑台内限定有加热腔;加热管伸入加热腔以进行加热;加热盘贴合于发热支撑台且位于发热支撑台的上方,加热盘的上表面形成为加热面,加热盘接收加热管的热量并由加热面传递给晶圆,加热盘上设有至少两个加热区;至少两个热电偶分别设在至少两个加热区以检测每个加热区的温度;温控器与加热管和热电偶相连,温控器根据热电偶检测的温度控制加热管加热。该分区加热的晶圆加热装置及晶圆加热方法具有使晶圆受热均匀,加热过程平稳的优点。

主权项:1.一种分区加热的晶圆加热装置,其特征在于,包括:发热支撑台,所述发热支撑台内限定有加热腔;加热管,所述加热管伸入所述加热腔以进行加热;加热盘,所述加热盘贴合于所述发热支撑台且位于发热支撑台的上方,所述加热盘的上表面形成为加热面,所述加热盘接收所述加热管的热量并由所述加热面传递给晶圆,所述加热盘上设有至少两个加热区;至少两个热电偶,至少两个所述热电偶分别设在至少两个所述加热区以检测每个所述加热区的温度;温控器,所述温控器与所述加热管和所述热电偶相连,所述温控器根据所述热电偶检测的温度控制所述加热管加热。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 常州铭赛机器人科技股份有限公司 分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机

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