申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司

申请日：2019-05-28

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN112352360A

主分类号：H01S3/08(20060101)

分类号：H01S3/08(20060101);H01S3/1055(20060101);H01S3/106(20060101);G03F7/20(20060101);H01S3/225(20060101);H01S3/081(20060101)

优先权：["20180614 DE 102018209602.3"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.03.02#实质审查的生效;2021.02.09#公开

摘要：本发明涉及一种用于减小激光器1的输出束3的光谱带宽的组件5。所述组件5具有布置在激光谐振器内的扩束光学件6。所述扩束光学件的功能为在至少一个扩展横截面的维度中增加谐振器内部激光束7的束横截面Q，使得至少一个谐振器内部扩展激光束部分9产生。所述组件还具有光栅8，其具有用于所述谐振器内部激光束7的回反射的组件。在所述扩展横截面的维度中作用的束限制的光阑10布置在所述扩展激光束部分9的束路径中。这制造一种光学组件，其中由于谐振器内部激光束的局部功率密度，因此减小或避免在激光操作期间由于光学组件的光学部件的加热而导致的不希望的热效应。

主权项：1.一种用于减小激光器1的输出束3的光谱带宽的光学组件5；14；17-包括扩束光学单元6，所述扩束光学单元布置在激光谐振器内，用于在至少一个扩展横截面维度中增加束横截面Q1且减小谐振器内部激光束7的发散度，使得至少一个谐振器内部扩展激光束部分9出现，-包括光栅8，所述光栅具有用于所述谐振器内部激光束7的回反射布置，-包括束限制的光阑10，所述束限制的光阑在所述扩展横截面维度中作用在所述扩展激光束部分9的束路径中，-包括附加的输入束限制的光阑12，所述附加的输入束限制的光阑位于所述谐振器内部激光束7的束路径中、在所述扩束光学单元6的远离所述光栅8的一侧上，-其中，所述附加的输入束限制的光阑12的宽度选择为使得在所述扩展激光束部分9中布置的所述束限制的光阑10由所述谐振器内部激光束7过度曝光，并且使得所述光栅上所用的束横截面的宽度由在所述扩展激光束部分9中布置的所述束限制的光阑10限定，-其中，所述扩束光学单元6的调节范围和所述输入束限制的光阑12的输入孔径的宽度相互匹配，使得在最小扩展的情况下所述束限制的光阑10被完全照明，并且所述束限制的光阑10随着扩展增加而被过度曝光。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 用于减小激光器的输出束的光谱带宽的光学组件

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