申请/专利权人：阿自倍尔株式会社

申请日：2020-07-21

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN112345149A

主分类号：G01L7/08(20060101)

分类号：G01L7/08(20060101);G01L9/00(20060101)

优先权：["20190808 JP 2019-146074"]

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2022.12.02#发明专利申请公布后的视为撤回;2021.03.02#实质审查的生效;2021.02.09#公开

摘要：本发明的课题在于进一步降低堆积物对压力传感器的膜片的影响。本发明的压力传感器具备在膜片102的可动区域102a上形成的可动电极104和与可动电极104相对地形成的固定电极105。膜片102的受压面由难以吸附气体分子的材料构成。可以是膜片102的整体由难以吸附气体分子的材料构成，也可以是膜片102的受压面的表面由难以吸附气体分子的材料构成。构成膜片102的材料为氮化物、硼化物、碳化物中的至少一种。

主权项：1.一种压力传感器，其特征在于，具备：膜片，其能够位移，通过受压面承受测定对象的气体的压力；以及测定部，其测定所述膜片的位移，所述膜片的所述受压面的一部分或整体由难以化学吸附所述气体的分子的材料构成。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 阿自倍尔株式会社 压力传感器

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